[发明专利]半导体装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202110684011.6 申请日: 2021-06-21
公开(公告)号: CN115116977A 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 大川直树 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/495;H01L21/56
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 夏斌
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的实施方式涉及半导体装置及其制造方法。根据一个实施方式,半导体装置具备第1导电部、半导体元件、第1端子以及金属层。上述半导体元件设置于上述第1导电部之上。上述第1端子在与从上述第1导电部朝向上述半导体元件的第1方向垂直的第2方向上远离上述第1导电部。上述第1端子包括第1部分以及设置在上述第1部分与上述第1导电部之间的第2部分。上述第2部分的下表面位于比上述第1部分的下表面靠下方的位置,且位于比设置在上述第1导电部与上述第2部分之间的第1绝缘部的下表面靠下方的位置。上述金属层设置于上述第1部分的上述下表面以及上述第2部分的上述下表面。
搜索关键词: 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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