[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202110204196.6 | 申请日: | 2021-02-23 |
公开(公告)号: | CN113394196A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 瀬户基司 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L23/498;H01L25/18;G11C16/10;G11C16/24;G11C16/26 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式的半导体存储装置具备:半导体衬底,具备第1面及第2面;第1电极及第2电极,设置在半导体衬底的第1面侧;第3电极及第4电极,设置在半导体衬底的第2面侧;第1贯通电极,沿第1方向延伸且连接于第1电极及第3电极;第2贯通电极,沿第1方向延伸且连接于第2电极及第4电极;以及第1绝缘层,设置在半导体衬底与第1贯通电极之间及半导体衬底与第2贯通电极之间。另外,第1绝缘层具备:第1部分,设置在半导体衬底与第1贯通电极之间;以及第2部分,设置在半导体衬底与第2贯通电极之间。进而,半导体衬底在第2面侧设置着:N型的第1杂质区域,隔着第1部分而与第1贯通电极的外周面对向;以及N型的第2杂质区域,隔着第2部分而与第2贯通电极的外周面对向,且与第1杂质区域相分离。另外,在第1杂质区域与第2杂质区域之间,与第1杂质区域接触而设置着P型的第3杂质区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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