[发明专利]基板图案填充组合物及其使用在审
| 申请号： | 202080029342.X | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113785041A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 堀场优子;久保木博子;长原达郎 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制图案倒塌的基板图案填充组合物及使用其的方法。一种基板图案填充组合物，包括(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂。还提供了使用其的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 填充 组合 及其 使用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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