[发明专利]基板图案填充组合物及其使用在审
| 申请号： | 202080029342.X | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113785041A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 堀场优子;久保木博子;长原达郎 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 填充 组合 及其 使用 | ||
1.一种基板图案填充组合物，包含(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂；其中
(A)第一溶质具有氨基、羟基和羰基中的至少一种，条件是第一溶质每个分子最多有一个羟基；
(B)第二溶质具有氨基、羟基和羰基中的至少一种，条件是第二溶质每个分子最多有一个羟基；
(A)第一溶质和(B)第二溶质是不同的物质；并且
优选地，(A)第一溶质和/或(B)第二溶质分别独立地包含5元或6元的烃环或杂环。
2.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，由填充在基板图案中的基板图案填充组合物形成膜，通过使(A)第一溶质和/或(B)第二溶质分别独立地气化而从基板图案除去所述膜；
优选所述气化为升华；
优选地，当去除由基板图案填充组合物形成的膜时，不进行加热(更优选70℃以上)和/或减压(更优选80kPa以下)。
3.根据权利要求1或2所述的组合物，在(A)第一溶质和/或(B)第二溶质中，氨基和/或羰基分别独立地为烃环或杂环中环的一部分，羟基直接附加到烃环或杂环的环上；
优选地，(A)第一溶质和/或(B)第二溶质各自独立地具有笼型立体构造的主骨架；
优选地，(A)第一溶质和/或(B)第二溶质各自独立地每分子具有1至5个氨基、1至3个羰基和/或1个羟基。
4.根据权利要求1至3中至少一项所述的组合物，其中(A)第一溶质和/或(B)第二溶质的分子量分别独立地为80至300。
5.根据权利要求1至4中至少一项所述的组合物，其中基于基板图案填充组合物的质量，(A)第一溶质和(B)第二溶质的质量之和为1至40质量％；
优选地，(A)第一溶质与(B)第二溶质的质量比为99:1至1:99；
优选地，基于基板图案填充组合物的质量，(C)溶剂的质量为30至99质量％。
6.根据权利要求1至5中至少一项所述的组合物，(C)溶剂包含有机溶剂，有机溶剂包含选自醇类、烷烃类、醚类、乳酸酯类、芳烃类、酮类、酰胺类和内酯类所组成的组中的至少1种。
7.根据权利要求1至6中至少一项所述的组合物，其特征在于，(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂在一个大气压下的沸点bpA、bpB和bpC满足bpA＞bpB＞bpC；
优选地，(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂在25℃、1个大气压下的饱和蒸气压vpA、vpB和vpC满足vpA＜vpB＜vpC。
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