[发明专利]一种用于电子束轨迹检测的光阑装置及其安装方法在审

专利信息
申请号: 202011464100.1 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN114624758A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 闫超;罗立平;贾子朝;成成 申请(专利权)人: 核工业理化工程研究院
主分类号: G01T5/00 分类号: G01T5/00;C23C14/30;C22B9/22
代理公司: 天津创智睿诚知识产权代理有限公司 12251 代理人: 李薇;田阳
地址: 300000 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种用于电子束轨迹检测的光阑装置及其安装方法,所述光阑装置包括光阑支架、光阑固定条、光阑盒以及光阑板,其中:所述光阑支架上设有用于固定所述光阑固定条的安装槽,所述光阑固定条通过校准定位机构可拆卸固定于所述安装槽内,所述光阑支架的顶部形成有第一翻折边;多个所述光阑盒一一通过定位机构和连接机构可拆卸的固定于所述光阑固定条上,每一所述光阑盒上设有供所述光阑板插入的插槽,每一所述光阑盒的顶部形成第二翻折边,所述第一翻折边与所述第二翻折边相对设置。本发明的光阑装置便于拆装,便于维护,定位精准度高。
搜索关键词: 一种 用于 电子束 轨迹 检测 光阑 装置 及其 安装 方法
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