[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202011232472.1 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN114446898A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 柳圣浩;张欣;杨涛;赵劼 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/528;H01L23/64 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 金铭 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及半导体技术领域,具体涉及一种半导体装置,包括:半导体衬底,所述半导体衬底上形成有芯片区以及切割线区;第一密封环,设置在所述芯片区与所述切割线区之间,所述第一密封环围绕所述芯片区而设;其中,所述第一密封环内形成有垂直自然电容器,将垂直自然电容器集成在密封环内,使得芯片的集成度更高,节约了空间,达到了芯片的小型化。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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