[发明专利]电容性半导体元件有效
申请号: | 202010324914.9 | 申请日: | 2020-04-23 |
公开(公告)号: | CN111430329B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 田矢真敏;川村昌靖;夏目秀隆;藤井康博 | 申请(专利权)人: | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L49/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 朱艳 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种电容性半导体元件。电容性半导体元件(1)包括硅衬底(Sub)和层叠在硅衬底(Sub)的表面上的配线区域(LA),其中,配线区域(LA)具有电容性区域(CR);硅衬底(Sub)包括:阱区域(P型阱);STI区域,其形成在硅衬底(Sub)的表面上,并与阱区域(P型阱)及配线区域(LA)相接;以及硅区域(D),其形成在硅衬底(Sub)的表面上,且在STI区域以外的区域,与阱区域(P型阱)及配线区域(LA)相接,硅区域(D)包括极性与阱区域(P型阱)相反的杂质。根据本发明,能够减少干扰对电容性区域的影响。 | ||
搜索关键词: | 电容 半导体 元件 | ||
【主权项】:
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