[发明专利]用于离子布植机的离子源在审
| 申请号： | 201911192818.7 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111243925A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 颜启恒;丘仁中;高泰坤;林吕壎;林琮闵 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 谢强;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种在一离子布植机的一源电弧室中使用的排斥电极。排斥电极包括一轴以及具有一排斥表面的一排斥体。排斥表面具有一表面形状，其实质上装配于定位有排斥体的源电弧室的内室空间的形状。排斥体的边缘和源电弧室的内侧壁之间的间隙被最小化到一阈值水平，维持此阈值水平可以避免导电的排斥体和源电弧室的导电的内侧壁之间的短路。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 布植机 离子源 | ||
【主权项】：
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- 2022-12-23 - 2023-06-06 - H01J37/08
- 本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种金属纳米团簇离子源，包括：金属靶、靶座陶瓷腔壁、磁钢、气路、阳极、地栅、金属靶脉冲电源和阳极电源；所述陶瓷腔壁为U型结构，陶瓷腔壁的开口端上固定有阳极，陶瓷腔壁的闭口端上设置有靶座，所述靶座上设置有金属靶和磁钢；所述陶瓷腔壁的壁面上开设有气路；阳极上连接有金属靶脉冲电源的正极和阳极电源的正极；地栅连接阳极电源的负极；金属靶脉冲电源的负极与金属靶连接。本发明通过控制双极性脉冲电源频率、占空比和偏压控制纳米团簇粒子尺寸和束流强度，提升了纳米团簇产生控制精度，适合产生任何金属材料，尤其是难熔金属和耐高温材料团簇粒子。
- 离子源装置-202320283282.5
- 何正鸿;张超;陈泽;宋祥祎 - 甬矽电子（宁波）股份有限公司
- 2023-02-15 - 2023-06-02 - H01J37/08
- 本实用新型提供了一种离子源装置，涉及离子源技术领域，该离子源装置包括外壳、高压发射器、灯丝模块、弹性触片、推杆机构和透镜，外壳具有一朝下开口的内腔，高压发射器设置在外壳的顶端，灯丝模块设置在内腔中，并与高压发射器电性接触，弹性触片设置在内腔中，并弹性抵持在灯丝模块上；推杆机构活动设置在外壳中，且推杆机构的一端与弹性触片连接，另一端伸出外壳，用于带动弹性触片解除对灯丝模块的抵持；透镜设置在外壳的底端开口处，并抵持在灯丝模块的底端。相较于现有技术，本实用新型提供的离子源装置，拆卸时可以手动拨动推杆机构，从而使得灯丝模块掉落，避免传统结构中手直接接触真空腔体内灯丝拆卸带来的危害，安全性更高。
- 一种高能量大束流的二极型离子枪装置-202310260374.6
- 李吉学;党理;郑晓敏 - 杭州源位科技有限公司
- 2023-03-17 - 2023-05-30 - H01J37/08
- 本发明提供了一种高能量大束流的二极型离子枪装置，所述二极型离子枪装置包括：气密组件，其用于提供惰性气体并包括壳体和气源接头，气源接头密封安装于壳体内；高压供给组件，其用于提供高压电源并包括高压电缆、第一绝缘块、第二绝缘块以及接线外壳；离子束发生组件，其用于产生离子束并包括位于同一轴线上的阳极、阴极以及加速阴极。本发明通过在阳极及绝缘套筒之间设有间隙，联通阳极上设有的导气孔和阳极盲孔，使得从气源接头导入的惰性气体从阳极中心导入到阴极和阳极两极间的电离空间，惰性气体在电离空间内离子化并完成初步加速，在阴极和加速阴极之间完成二次加速出射后获得高能量大束流离子束。
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