[发明专利]半导体元件及其制备方法有效
申请号: | 201910963664.0 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN111883507B | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 施江林;吴珮甄;张庆弘;丘世仰 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/31;H01L25/07;H01L21/56 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开提供一种半导体元件及其制备方法。该半导体元件具有一第一晶粒、一第二晶粒、一第一重新分布层、一第二重新分布层、一第一互连结构以及一第二互连结构。该第二晶粒叠置在该第一晶粒上,该第一重新分布层配置在该第一晶粒的一第一基底与该第二晶粒的一第二层间介电层之间,且该第二重新分布层配置在该第二晶粒的一第二基底上。该第一互连结构将该第一重新分布层连接到该第一晶粒的多个第一金属线的其中一个,且该第二互连结构将该第二重新分布层连接到在该第二层间介电层中的多个第二金属线的其中一个。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司,未经南亚科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910963664.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。