[发明专利]堆叠管芯之间的螺旋形螺旋电感器在审
| 申请号： | 201910520681.7 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110335857A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 颜孝璁;罗正玮;郭晋玮;郑敏祺 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/08;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种提供了良好电感和Q因数的多层集成电感器。在一些实施例中，该集成电感器具有第一电感结构和第二电感结构，第一电感结构带有设置在第一集成芯片(IC)管芯上的第一螺旋图案中的第一金属层，第二电感结构带有设置在第二IC管芯上的第二螺旋图案中的第二金属层。第一IC管芯垂直堆叠在第二IC管芯之上。在第一和第二IC管芯之间垂直设置有导电的互连结构且被配置成电连接第一金属层和第二金属层。导电的互连结构在第一和第二电感结构之间提供了相对较大的距离，从而在大频率范围上提供了具有高Q因数的电感。本发明还提供了一种堆叠管芯之间的螺旋形螺旋电感器。 | ||
| 搜索关键词： | 电感结构 电感器 电感 第二金属层 第一金属层 螺旋形螺旋 堆叠管芯 互连结构 螺旋图案 导电 集成电感器 因数 垂直堆叠 垂直设置 多层集成 集成芯片 电连接 管芯 配置 | ||
【主权项】：
1.一种多层集成电感器，包括：第一电感结构，包括设置在第一集成芯片(IC)管芯上的第一导电层，所述第一导电层绕垂直于所述第一集成芯片管芯的第一轴线卷绕；第二电感结构，包括设置在第二IC管芯上的第二导电层，所述第二IC管芯垂直堆叠在所述第一IC管芯上，所述第二导电层绕垂直于所述第二集成芯片管芯的第二轴线卷绕；以及导电互连结构，垂直设置在所述第一IC管芯和所述第二IC管芯之间且被配置成电连接所述第一导电层和所述第二导电层，其中，在俯视图中，所述第一导电层和所述第二导电层的形状不同，并且，所述第一轴线和所述第二轴线以非零偏移量相分离。
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