[发明专利]碳化硅半导体装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880055698.3 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN111066152B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 箕谷周平;梶爱子;海老原康裕;永冈达司;青井佐智子 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L29/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 吕文卓
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 具备:第1导电型的由碳化硅构成的第1电流分散层(13),形成在n型层(12)与基体区域(18)之间,与n型层(12)相比为高杂质浓度;第2导电型的由碳化硅构成的多个第1深层(14),形成在第1电流分散层(13)内,比第1电流分散层(13)浅并且在一个方向上延伸设置;第1导电型的由碳化硅构成的第2电流分散层(15),形成在第1电流分散层(13)与基体区域(18)之间,沟槽(21)的底部位于该第2电流分散层;以及第2导电型的由碳化硅构成的第2深层(17),形成在第1电流分散层(13)与基体区域(18)之间,与基体区域(18)相连并与第1深层(14)相连,并且从沟槽(21)离开而形成。
搜索关键词: 碳化硅 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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