[发明专利]传送装置及刻蚀设备在审
| 申请号： | 201811537740.3 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109473384A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘俊领 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种传送装置及刻蚀设备，包括并行排列的两条轨道和在所述轨道内滑动的传送载体，所述传送载体上设置有驱动件，其中，所述轨道的下方间隔设置有多个送电线圈，所述传送载体上间隔设置有多个受电线圈，所述送电线圈与所述受电线圈之间产生电磁感应，向所述驱动件提供动力，通过传送载体装载基板传送来代替基板直接与导向轮接触传送，极大程度地避免了基板在传送过程中发生的破片、卡片、基板打滑、传送超时等现象，提高了产品良率，使设备更稳定运转，进而提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 基板 传送装置 间隔设置 刻蚀设备 受电线圈 送电线圈 驱动件 轨道 并行排列 产品良率 传送过程 电磁感应 装载基板 导向轮 滑动 产能 超时 打滑 破片 卡片 运转 | ||
【主权项】：
1.一种传送装置，其特征在于，包括：并行排列的两条轨道；两组相互连接的缓存台，分别设置于所述轨道的首尾两个端部；传送载体，在所述轨道内滑动，所述传送载体上设置有驱动件；其中，所述轨道的下方间隔设置有多个送电线圈，所述传送载体上间隔设置有多个受电线圈，所述送电线圈与所述受电线圈之间产生电磁感应，向所述驱动件提供动力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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