[发明专利]芯片用高导热陶瓷散热器的制备方法在审
| 申请号： | 201811332328.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109320255A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 管军凯;秦明礼;石磊;鲁慧峰;何庆;王月隆 | 申请（专利权）人： | 厦门钜瓷科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 361003 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了芯片用高导热陶瓷散热器的制备方法，包括以下步骤：S1，将氮化铝粉末与烧结助剂在易挥发有机溶剂中进行球磨混合后与粘结剂进行混炼，然后冷却后取出喂料；S2，将喂料破碎后，利用注射成形成形，注射温度为150～200℃，得氮化铝生坯散热翅片；S3，根据选用粘结剂的不同，采用不同的方式对所述氮化铝生坯散热翅片进行脱脂，得到脱脂氮化铝坯体散热翅片；S4，在流动惰性气体氛围下，将脱脂氮化铝坯体散热翅片烧结冷却至室温，得到注射成形氮化铝陶瓷散热翅片；S5，直接将所述氮化铝陶瓷散热翅片的背面进行金属化，并将金属层刻蚀导电线路，最后将所述将芯片直接焊接封装在氮化铝陶瓷散热器背面。 | ||
| 搜索关键词： | 散热翅片 脱脂 氮化铝生坯 氮化铝陶瓷 陶瓷散热器 注射成形 芯片 氮化铝 高导热 粘结剂 坯体 喂料 制备 冷却 背面 氮化铝陶瓷散热器 易挥发有机溶剂 流动惰性气体 氮化铝粉末 导电线路 球磨混合 烧结助剂 直接焊接 烧结 金属层 金属化 成形 混炼 刻蚀 封装 破碎 取出 注射 | ||
【主权项】：
1.一种芯片用高导热陶瓷散热器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将氮化铝粉末与烧结助剂在易挥发有机溶剂中进行球磨混合，经干燥后获得混合粉末；将所述混合粉末与粘结剂进行混炼，混炼温度为160～190℃，待所述混合粉末形成熔融态后，继续混炼0.5～2h，然后冷却后取出喂料，其中，粘结剂与混合粉末的重量比例为17～19：100；S2，将喂料破碎后，利用注射成形成形，注射温度为150～200℃，得氮化铝生坯散热翅片；S3，根据选用粘结剂的不同，采用不同的方式对所述氮化铝生坯散热翅片进行脱脂，得到脱脂氮化铝坯体散热翅片；S4，在流动惰性气体氛围下，将脱脂氮化铝坯体散热翅片升温到1450℃～1750℃保温1～5h，然后升至烧结温度1800℃～1960℃保温1～5h，再降温到1700～1780℃保温10～100h，冷却至室温，得到注射成形氮化铝陶瓷散热翅片；S5，直接将所述氮化铝陶瓷散热翅片的背面进行金属化，并将金属层刻蚀导电线路，最后将所述将芯片直接焊接封装在氮化铝陶瓷散热器背面。
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- 本发明涉及一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，属于电子陶瓷制备技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤：(1)配制流延浆料；(2)流延成型：步骤(1)配制的流延浆料经过真空脱泡后进入流延机，经流延得到流延坯体；(3)冲压：将流延坯体冲压成单片坯体；(4)溶剂涂覆：在单片坯体的正反两面均涂覆有机溶剂；(5)叠层：将步骤(4)中已涂覆有机溶剂的单片坯体叠在一起后进行真空封装；(6)等静压压制；(7)排胶；(8)烧结，得到氮化铝陶瓷基板。本发明通过在叠层坯体的接触面涂覆溶剂，使制成的坯体均匀，烧结后的产品致密性好(流延工艺决定)，外观均匀，性能均匀。
- 氮化铝陶瓷及其制备方法、静电卡盘和应用-201810681428.5
- 朱佐祥;向其军;谭毅成 - 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司
- 2018-06-27 - 2018-10-26 - C04B35/581
- 本发明涉及一种氮化铝陶瓷及其制备方法、静电卡盘和应用。该一种氮化铝陶瓷的制备方法，包括如下步骤：将原料混合得到混合料，其中，原料包括氮化铝粉和助烧剂，按照质量百分含量计，氮化铝粉包括70％～80％的中位粒径为0.5微米～2微米的第一氮化铝颗粒和20％～30％的中位粒径为6微米～8微米的第二氮化铝颗粒；将混合料成型，得到坯体；将坯体在还原气氛中烧结，得到氮化铝陶瓷。上述方法制备得到的氮化铝陶瓷具有较好的导热性。
- 高热导氮化铝陶瓷结构件的制备方法-201810368415.2
- 徐学磊;李大海;孙红杰 - 宁夏艾森达新材料科技有限公司
- 2018-04-23 - 2018-10-23 - C04B35/581
- 一种高热导氮化铝陶瓷结构件的制备方法，该方法将氮化铝粉料、有机溶剂、分散剂、粘结剂进行混合研磨，然后依次进行喷雾干燥、筛分、压制、排胶、烧结；本发明的有益效果在于：采用低含氧量的氮化铝粉料，以及制浆、排胶、烧结过程中对氧的有效控制，保证了制备的氮化铝陶瓷结构件具有高的热导率；采用适中的分散剂、粘结剂的粉料配比，以使喷雾干燥制备出球形的第一混合粉料，并进一步通过控制第二混合粉料粒度分布以及排胶时合理的第一温度制度、烧结时合理的第二温度制度，保证了制备的氮化铝陶瓷具有高的热导率和高的致密度；此外，合理的第一温度制度、第二温度制度保证了坯体在排胶和烧结时不变形，保证了氮化铝陶瓷结构件的表面平整。
- 加热装置及其制备方法和应用-201810508756.5
- 梅心涛;向其军;谭毅成 - 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司
- 2018-05-24 - 2018-10-16 - C04B35/581
- 本发明涉及一种加热装置及其制备方法和应用。该加热装置的制备方法包括如下步骤：制备两个板状的生坯，每个生坯的材料包括陶瓷粉料，陶瓷粉料包括氮化铝和助烧剂；在其中一个生坯的一个表面上形成金属坯体层，金属坯体层的材料包括钨和添加剂，添加剂选自氧化钇及氧化铝中的至少一种；在形成有金属坯体层的生坯上层叠另一个生坯，以使金属坯体层位于两个生坯之间，得到层叠件；将层叠件压合，以使两个生坯与金属坯体层紧密接触，并使两个生坯的边缘相粘合而使两个生坯共同密封金属坯体层，得到复合坯体；将复合坯体烧结处理，得到加热装置。上述方法制备得到的加热装置能够对晶圆较为均匀的加热且使用寿命较长。
- 一种高分断保险丝的陶瓷管制备方法-201810497191.5
- 南式荣;杨漫雪;郭林 - 南京萨特科技发展有限公司
- 2018-05-22 - 2018-10-12 - C04B35/581
- 本发明提供了一种高分断保险丝的陶瓷管制备方法，包括：制浆步骤；脱泡及注模步骤；固化及干燥步骤；排胶及烧结步骤。本发明采用性能优异的AlN陶瓷作为陶瓷管，同时采用有机物作为溶剂，开发了一种全新的凝胶体系。与以往的干压成型、注射成型、等静压成型相比，本发明工艺制备出的AlN陶瓷管均匀性好、机械强度高；由于AlN陶瓷高的热导率和机械性能从而提高了保险丝的分断能力，有效的保护电路；有效提高了AlN陶瓷的性能，从而使得保险丝的分断能力进一步改善；制备出的AlN陶瓷的气孔率、密度、抗弯强度、热导率分别达到0.22％、3.21g/cm‑3、310MPa、159W/m K，最大安全分断电流可以达到300A。
- 一种抗水解氮化铝粉体的制备方法-201610201625.3
- 王群;姚晓明;李永卿;王澈;于云飞 - 北京工业大学
- 2016-03-31 - 2018-10-12 - C04B35/581
- 一种抗水解氮化铝粉体的制备方法属于无机功能材料领域。该方法以AlN粉体为原料，经浓硝酸浸泡0.5‑6h；将稀土氧化物La2O3或Y2O3或CeO2溶于浓硝酸，配得饱和稀土硝酸盐溶液，将硝酸处理的AlN加入饱和稀土硝酸盐溶液中搅拌均匀；然后再加入柠檬酸和乙二醇，水浴；喷雾干燥获得稀土柠檬酸盐包覆的AlN粉体。本方法处理的AlN粉体，包覆层与AlN界面结合力强，抗水解时间随涂覆层的增加而增加。本方法操作简单，重复性好。
- 一种高硬度特种陶瓷-201611127364.1
- 邹健 - 四川慧谷锆业有限公司
- 2016-12-09 - 2018-10-02 - C04B35/581
- 本发明涉及陶瓷材料技术领域，具体涉及一种高硬度特种陶瓷。包括以下重量份的成分：氮化铝40‑50份；钾长石14‑18份；锂辉石25‑31份；铝矾土6‑10份；高岭土15‑25份；聚乙二醇3‑5份；石英35‑45份；二氧化钛6‑8份；油酸3‑5份；石蜡6‑8份；二氧化锰5‑9份；氢氧化钠4‑6份；乙醇适量；去离子水适量。本发明具有硬度高、不易粉化、有极高的耐磨性的优点，使特种陶瓷制品使用寿命更长，结构更加稳定，性能更加优越。
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