[发明专利]一种耐高温金属对准标记及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201810687027.0 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108682668A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;周泽阳;林光耀;刘胜厚;许若华;邹冠;蔡仙清;林志东;王文平 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐高温金属对准标记及其制备方法和应用，包括粘附金属层和主体金属层，粘附金属层粘附在晶圆上，主体金属层叠加在粘附金属层上；还包括保护层，保护层叠加在主体金属层上，保护层为惰性金属。本发明改善标记金属经高温工艺后的形貌，从而提高标记金属表面平整度以及边缘质量以提高光刻对准精度，提升器件的性能和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 粘附金属层 制备方法和应用 耐高温金属 主体金属层 标记金属 对准标记 保护层 形貌 表面平整度 惰性金属 高温工艺 提升器件 主体金属 成品率 光刻 晶圆 粘附 对准 | ||
【主权项】：
1.一种耐高温金属对准标记，其特征在于：包括粘附金属层和主体金属层，粘附金属层粘附在晶圆上，主体金属层叠加在粘附金属层上；还包括保护层，保护层叠加在主体金属层上，保护层为惰性金属。
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