[发明专利]具有自对准金属垫结构的背侧照明式图像传感器

摘要

本发明涉及一种具有自对准金属垫结构的背侧照明式图像传感器。一种图像传感器包括：半导体材料，其具有前侧及与所述前侧相对的背侧；介电层，其安置于所述半导体材料的所述前侧上；多晶硅层，其安置于所述介电层上；层间介电材料，其覆盖所述多晶硅层及所述介电层两者；金属间层，其安置于所述层间介电材料上，其中金属互连件安置于所述金属间层中；及接触垫沟槽，其从所述半导体材料的所述背侧延伸到所述半导体材料中，其中所述接触垫沟槽包括：接触垫，其安置于所述接触垫沟槽中，其中所述接触垫及所述金属互连件与多个接触插塞耦合；及至少一气隙，其将所述接触垫与所述接触垫沟槽的侧壁隔离。

主权项

1.一种图像传感器，其包括：半导体材料，其具有前侧及与所述前侧相对的背侧；介电层，其安置于所述半导体材料的所述前侧上；多晶硅层，其安置于所述介电层上；层间介电材料，其覆盖所述多晶硅层及所述介电层两者；金属间层，其安置于所述层间介电材料上，其中金属互连件安置于所述金属间层中；及接触垫沟槽，其从所述半导体材料的所述背侧延伸到所述半导体材料中，其中所述接触垫沟槽包括：接触垫，其安置于所述接触垫沟槽中，其中所述接触垫及所述金属互连件与多个接触插塞耦合；及至少一气隙，其介于所述接触垫与所述接触垫沟槽的侧壁之间。