[发明专利]基于套嵌喷头的钙钛矿太阳电池制备设备及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810086953.2 申请日: 2018-01-30
公开(公告)号: CN108258129A 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 丁建宁;王书博;袁宁一;贾旭光 申请(专利权)人: 常州大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/42
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213164 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及太阳能电池技术领域,尤其是一种基于套嵌喷头的钙钛矿太阳电池制备设备及其制备方法,包括传输机构及依次排布的进样室、制样室和出样室;制样室内具有喷头组件和托盘组件,喷头组件包括喷头及用于驱动喷头上升或下降的升降机构,托盘组件包括用于放置衬底的托盘及用于驱动托盘转动的动力机构,喷头位于托盘的正上方;喷头的下方具有用于喷出钙钛矿前驱液的第一喷孔、用于喷出结晶促进剂的第二喷孔及用于喷出空穴传输层前驱液的第三喷孔,本发明的通过采用将第一喷孔、第二喷孔及第三喷孔集成在同一个喷头上,结合可旋转控温衬底实现了从钙钛矿薄膜到空穴传输层的一次性沉积,进而实现链式生产。
搜索关键词: 喷头 喷孔 钙钛矿 喷出 空穴传输层 托盘 喷头组件 托盘组件 制备设备 前驱液 衬底 套嵌 制备 太阳能电池技术 钙钛矿薄膜 结晶促进剂 一次性沉积 传输机构 动力机构 升降机构 托盘转动 驱动 出样室 进样室 可旋转 制样室 控温 链式 排布 制样 室内 生产
【主权项】:
1.一种基于套嵌喷头的钙钛矿太阳电池制备设备,其特征在于:包括传输机构(4)及依次排布的进样室(1)、制样室(2)和出样室(3);所述制样室(2)内具有喷头组件和托盘组件,所述喷头组件包括喷头(5)及用于驱动喷头(5)上升或下降的升降机构(6),所述托盘组件包括用于放置衬底(13)的托盘(7)及用于驱动托盘(7)转动的动力机构(8),所述喷头(5)位于托盘(7)的正上方;所述传输机构(4)用于将进样室(1)内的衬底(13)输送至制样室(2)的托盘(7)上及将制样室(2)内托盘(7)上的衬底(13)输送至出样室(3);所述喷头(5)的下方具有用于喷出钙钛矿前驱液的第一喷孔(5‑1)、用于喷出结晶促进剂的第二喷孔(5‑2)及用于喷出空穴传输层前驱液的第三喷孔(5‑3),所述第一喷孔(5‑1)、第二喷孔(5‑2)及第三喷孔(5‑3)均具有若干个。
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