[实用新型]一种半导体管芯基板

摘要

本实用新型公开了一种半导体管芯基板，芯管基片上下两侧的划片槽内均开设有第一对位标记，芯管基片左右两侧的划片槽内均开设有第二对位标记，第一对位标记包括以3行7列形式设置的第一对位因子，第二对位标记包括以3列8行形式设置的第二对位因子，以小型对位因子组成的对位标记代替现有技术中的大型对位标记，能够不但能够提高对位精度，而且能够缩减划片槽的宽度，使同样的硅片基板能够制造更多的管芯，提高硅片基板的利用率；第一对位标记和第二对位标记不同，能够进一步提高对位精度，减少出错几率。

主权项

一种半导体管芯基板，其特征在于：包括基板本体（1），所述基板本体（1）上等间距开设有纵横交错的划片槽（2），所述基板本体（1）上通过划片槽（2）分隔形成大小间距相同的矩形状的芯管基片（3），所述芯管基片（3）上下两侧的划片槽（2）内均开设有第一对位标记（4），所述芯管基片（3）左右两侧的划片槽（2）内均开设有第二对位标记（5）；所述第一对位标记（4）包括以3行7列形式设置的第一对位因子（41），相邻2列的所述第一对位因子（41）之间的距离均相同；所述第二对位标记（5）包括以3列8行形式设置的第二对位因子（51），相邻2行所述第二对位因子（51）之间的距离也均相同；所述第一对位标记（4）中中间一列的第一对位因子（41）上均设置有第一识别因子（42），所述第二对位标记（5）中第一行第二对位因子（51）和最后一行第二对位因子（51）上均设置有第二识别因子（52）。