[发明专利]半导体封装、封装上封装及其制造方法在审
申请号: | 201710800845.2 | 申请日: | 2017-09-07 |
公开(公告)号: | CN107818956A | 公开(公告)日: | 2018-03-20 |
发明(设计)人: | 于达人;洪佑昇;许文松 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/498;H01L21/56 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种半导体封装、封装上封装及其制造方法。其中该制造方法包括提供载体基板;在该载体基板上形成重分布层结构,其中该重分布层结构包括至少一凸块垫;在该重分布层结构上安装半导体晶粒;在该半导体晶粒以及该重分布层结构上形成模塑料;移除该载体基板,以露出该重分布层结构的多个焊球垫;以及于该多个焊球垫上形成多个导电结构。本发明实施例,可以提高产品的良品率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 装上 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装的制造方法,其特征在于,包括:提供载体基板;在该载体基板上形成重分布层结构,其中该重分布层结构包括:至少一凸块垫;在该重分布层结构上安装半导体晶粒;在该半导体晶粒以及该重分布层结构上形成模塑料;移除该载体基板,以露出该重分布层结构的多个焊球垫;以及于该多个焊球垫上形成多个导电结构。
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