[发明专利]三维集成电路结构及其制造方法在审
申请号: | 201710330721.2 | 申请日: | 2017-05-11 |
公开(公告)号: | CN108878378A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 陈英儒;吴集锡;余振华;陈宪伟;陈明发 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/07;H01L21/56;H01L23/58 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例提供一种三维集成电路结构包括第一芯片、第二芯片、介电层以及密封环。第一芯片与第二芯片接合。介电层位于第二芯片上且环绕第一芯片。密封环位于第一芯片旁且贯穿介电层。 | ||
搜索关键词: | 芯片 介电层 三维集成电路结构 密封环 芯片接合 环绕 贯穿 制造 | ||
【主权项】:
1.一种三维集成电路结构,其特征在于,包括:第一芯片;第二芯片,与所述第一芯片接合;介电层,位于所述第二芯片上且环绕所述第一芯片;以及密封环,位于所述第一芯片旁且贯穿所述介电层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710330721.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:功率模块及其制作方法以及空调器
- 下一篇:膜上芯片封装件