[发明专利]预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备有效
| 申请号： | 201310532486.9 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103887264A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 崔允赫;吴光宰;金起荣 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L23/28;H01L25/065;H01L21/60;H01L21/56;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李静 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备，该预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；独立电极，布置于第一表面上；以及共用电极，布置于基板中，其中，独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 变换器 以及 半导体 装置 检查 设备 | ||
【主权项】：
一种预空间变换器，包括：基板，具有第一表面和第二表面，所述第二表面为与所述第一表面相对的表面；独立电极，布置于所述第一表面上，以及共用电极，布置于所述基板中，其中，所述独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电机株式会社，未经三星电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310532486.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
