[发明专利]半导体芯片及半导体芯片堆叠式封装无效
申请号: | 200910139952.0 | 申请日: | 2009-07-17 |
公开(公告)号: | CN101630672A | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 郑伍珍 | 申请(专利权)人: | 东部高科股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L25/00;G01R31/02 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑小军;陈昌柏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种半导体芯片堆叠式封装中的半导体芯片,可包括:半导体衬底,形成有半导体器件;绝缘层,位于所述半导体衬底上方;深通路,穿过所述半导体衬底和所述绝缘层;互连层,将所述半导体器件与所述深通路电连接;以及测试器件,与所述深通路和所述互连层两者电连接。根据本发明,由于半导体芯片和半导体芯片堆叠式封装包括测试器件,因而可以测试半导体芯片堆叠式封装的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 半导体 芯片 堆叠 封装 | ||
【主权项】:
1.一种装置,包括:半导体衬底,形成有半导体器件;绝缘层,位于所述半导体衬底上方;深通路,穿过所述半导体衬底和所述绝缘层;互连层,将所述半导体器件与所述深通路电连接;以及测试器件,与所述深通路和所述互连层两者电连接。
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