[发明专利]一种晶圆金属引线及其制作方法有效
| 申请号： | 200610148089.1 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101211875A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 范生辉;吴俊雄;贾宬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆金属引线及其制作方法。现有的晶圆金属引线在制作过程中易使晶圆上生成致使金属引线短路或存在短路隐患的缺陷。本发明的晶圆金属引线，其设置在晶圆上，其从下至上依次包括一连接层、一金属层、一第二保护层以及一第一保护层，其中，该第二保护层比该第一保护层致密；在生成上述金属引线后，再在该第一保护层上涂敷光刻胶并进行光刻及显影，接着通过刻蚀形成预设形状的金属引线。采用本发明可避免在金属引线制作过程中生成致使金属引线短路或存在短路隐患的缺陷，极大地提高了晶圆的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 引线 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆金属引线，设置在晶圆上，其从下至上依次包括一连接层、一金属层以及一第一保护层，其特征在于，该金属引线还包括一设置在金属层以及第一保护层之间的第二保护层，其中，该第二保护层比该第一保护层致密。
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