专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]顶针机构及半导体加工设备-CN201911273152.8有效
  • 袁志涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-12-12 - 2023-05-16 - H01L21/687
  • 本申请实施例提供了一种顶针机构及半导加工设备。该顶针机构包括弹性套筒、固定套筒、中心导杆及顶针;弹性套筒设置在中心导杆的顶部,中心导杆的顶部设置有容置顶针端部的容置孔;顶针的端部可穿过弹性套筒延伸至容置孔;固定套筒套设于弹性套筒和中心导杆的顶部的外侧;顶针的端部具有卡合面和释放面,通过旋转顶针使卡合面或释放面与弹性套筒相接触,使弹性套筒产生弹性变形以卡固或者释放顶针。本申请实施例可以有效避免顶针与中心导杆之间发生移动,从而可以有效防止顶针的上端面高于卡盘基座表面与晶圆接触,进而可以提高工艺速率以及工艺效果。另外本申请实施例结构简单,可以有效提高本申请实施例拆装效率。
  • 顶针机构半导体加工设备
  • [实用新型]半导体工艺腔室-CN202222075233.0有效
  • 王礼;袁志涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-08-08 - 2022-12-09 - H01J37/32
  • 本实用新型提供一种半导体工艺腔室,包括腔体、承载盘和连接柱,承载盘设置在腔体中用于承载晶圆,连接柱的顶端与承载盘的底部连接,连接柱的底端用于与下射频电源连接,以向承载盘提供射频信号,半导体工艺腔室还包括阻抗回路,阻抗回路的第一端与连接柱电连接,阻抗回路的第二端接地。在本实用新型中,连接柱上连接有一端接地的阻抗回路,通过阻抗回路在连接柱与接地端之间增加一个并联支路,对原先加载至下电极的功率进行分流,在下电源组件输出相同功率的条件下降低了下电极电压,从而能够实现对较低的下电极电压的精确、稳定控制,保证低损伤刻蚀工艺的稳定性。
  • 半导体工艺
  • [发明专利]半导体工艺设备及校准装置-CN202210594169.9在审
  • 袁志涛;唐希文 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-05-27 - 2022-08-30 - B28D7/00
  • 本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及校准装置。该校准装置包括:安装平台、驱动机构及校准机构;安装平台用于安装驱动机构及校准机构;驱动机构包括凸轮及驱动器,凸轮位于安装平台的顶部,凸轮具有多个交替设置的凸部及凹部;驱动器用于驱动凸轮旋转;校准机构包括多个移动承载组件,多个移动承载组件沿凸轮的径向呈放射状分布,用于共同承载晶圆切割工件,多个移动承载组件与凸轮配合,用于在凸轮旋转时选择性的同步远离或者同步靠近凸轮,以校准晶圆切割工件的位置。本申请实施例实现了对晶圆切割工件的位置进行校准,避免传输过程中晶圆切割工件与静电卡盘位置发生偏移,从而大幅提高产品良率。
  • 半导体工艺设备校准装置
  • [实用新型]工艺腔室-CN202123037475.2有效
  • 袁志涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-12-06 - 2022-06-14 - C30B33/12
  • 本实用新型提供一种应用于半导体工艺设备的工艺腔室,其包括腔室本体和设置在腔室本体顶部的介质筒组件,其中,介质筒组件包括主介质筒和环形衬板,主介质筒位于环形衬板背离腔室本体的一侧。其中,主介质筒包括介质筒本体和由介质筒本体的底部向外延伸出的连接部,连接部包括第一凸部和第二凸部,第一凸部的底面与环形衬板内缘处的上表面相配合,第二凸部的外周面与环形衬板的内周面相配合。本实用新型提供的工艺腔室,其中的环形衬板不容易发生形变,以能够减少吸附在环形衬板下表面的工艺副产物的脱落,从而保证半导体工艺设备的工艺效果。
  • 工艺
  • [发明专利]一种DNA定量检测方法及系统-CN202011577978.6有效
  • 郝锦亨;曹诗林;郑少鹏;陈慧;袁志涛;黎佩瑜 - 佛山科学技术学院
  • 2020-12-28 - 2022-04-26 - G01N27/447
  • 本发明涉及色谱分析技术领域,具体涉及一种DNA定量检测方法及系统,所述方法包括:读取采集到的凝胶电泳图像,将所述凝胶电泳图像转换为灰度图像;将所述灰度图像分割为多张归一化图像后合并为一张条带图像,对所述条带图像进行图像阈值化处理,使用轮廓检测识别条带的边缘;将所述条带图像中各个像素点的坐标形成像素点的坐标文件,采用聚类算法对所述坐标文件进行分类,得到多个子类,读取每个子类中像素点的RGB值,根据所述RGB值计算得到所述条带图像的亮度值;读取预先设置的浓度梯度值,根据所述亮度值生成与所述浓度梯度值对应的结果文件,本发明能够在更低成本的条件下,具有良好DNA含量定量检测的准确度。
  • 一种dna定量检测方法系统

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