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[实用新型]电子装置及化学气相沉积设备-CN202223212104.8有效
发明人：宋秀静;车东壹;金洙千;河南;李东昊;金官希;黄领务;李俊范;金素英;黄允净;金馨允;金允浩 -专利权人：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电子装置及化学气相沉积设备，其中的电子装置包括反应腔、设置在反应腔上的匹配器，以及位于反应腔和匹配器之间的射频电源棒；其中，在反应腔和匹配器之间还设置有隔热板，射频电源棒穿过隔热板设置；并且，在隔热板与反应腔的侧壁之前设置有隔热腔，隔热板和隔热腔配合用于对反应腔和匹配器进行隔离。利用上述实用新型能够通过隔热板有效的对反应腔和匹配器进行隔离，确保匹配器的性能稳定。
电子装置化学沉积设备

[实用新型]壳体开关定位装置及电子设备-CN202223212179.6有效
发明人：黄领务;车东壹;李东昊;金洙千;金官希;宋秀静;河南;李俊范;罗敬勋;姜先美;金明石 -专利权人：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种壳体开关定位装置及电子设备，其中的壳体包括主体部和设置在主体部上的盖子，壳体开关定位装置包括固定在主体部上的检测组件以及固定在盖子上的触发组件；其中，在盖子开关过程中，盖子带动触发组件运动；当盖子带动触发组件运动至检测组件处时，检测组件用于识别触发组件，并发送第一触发信号至控制系统；控制系统根据第一触发信号控制盖子停止打开。利用上述实用新型能够在触发组件或驱动盖子打开组件发生误动作时，避免接触式器件损坏，且开关定位准确度高，使用寿命长。
壳体开关定位装置电子设备

[发明专利]一种半导体设备用线圈夹紧装置-CN202310312599.1在审
发明人：赵云超;吴迪;李伟阳 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备用线圈夹紧装置，其属于半导体设备技术领域，半导体设备的底板上设置有圆柱件，圆柱件外设置有线圈，线圈环绕圆柱件后两端相交叉，其中一端固定连接有第一固定块，另一端固定连接有第二固定块，第一固定块和第二固定块分别与底板滑动连接；第一固定块和第二固定块相对的两侧面为不平行的平滑平面，在该两侧面之间贴合地设置有形状相匹配的夹紧块，夹紧块通过弹性复位机构与底板相连接。本发明可有效解决线圈夹紧问题，即使线圈的长度由于温度有所变化，也能通过弹簧弹力自动调节，使线圈始终紧贴圆柱件，保证传热效率和加热效果，有助于提高设备工作效率。
一种半导体备用线圈夹紧装置

[发明专利]一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法-CN202310108794.2在审
发明人：祁广杰;王昕;赵丽新;高文文;初春;林淼 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;东能（沈阳）能源工程技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H05B1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法，具体涉及半导体技术领域。该方法首先通过热仿真软件计算出每组加热灯的电压值和测得的温度，并通过上述两组数据求出回归矩阵；然后锁定光学测温计的辐射率，求得各个测温点的校正系数后，再得出每个测温点的校正后温度值；通过仿真得到各组加热灯的热有效系数，并求得各组加热灯的真实电压；最后，根据回归矩阵得到第一次迭代的输入值后，通过循环迭代法求出各组加热灯的理想电压值。该方法无需人为手动计算，只需要在最初的第一个循环阶段通过仿真计算出各组加热灯的初始电压值，便可以通过自动迭代的方式逐步优化算法，满足晶圆加热对时间效率和温度均匀度的要求。
一种基于电压控制辐射加热温度方法

[发明专利]一种辐射加热灯的仿真方法-CN202310111009.9在审
发明人：祁广杰;赵丽新;王昕;曹译丹;王志军;初春;侯振华;李志达 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;东能（沈阳）能源工程技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种辐射加热灯的仿真方法，涉及半导体生产工艺中加热炉领域；根据晶圆表面温度和表面均匀性的要求，得到灯泡功率数值，包括：确定不同时间范围内晶圆表面温升速率及目标温度，确定要求的晶圆表面温差，建立有限元模型，选择的数学模型，设定监测参数，设定根据输出监测参数更新输入参数，多次迭代后，可得出满足条件要求的灯泡功率；仅需要一次CFD仿真计算，就可以获得不同要求条件下，不同尺寸晶圆需要的输入功率数值。
一种辐射加热仿真方法

[发明专利]一种狭缝切换装置-CN202310103113.3在审
发明人：许志彬;林保璋;兰海燕;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B26/02 文献下载
摘要：本发明提出一种狭缝切换装置，该装置包括：狭缝组件1，用于光路中光通量的调节。该狭缝组件1包括：一个或多个狭缝片11、支架12和导轨13。该狭缝片11上开有尺寸固定的狭缝14。该狭缝片11在该支架12上以逐片层叠的方式排列。每个该狭缝片11都有相应的该导轨13对应，该导轨13安装在该支架12上。该狭缝片11能够通过沿着相应的该导轨13移动，使得该狭缝14进入或退出该光路。该装置解决了现有技术中体积较大、增加光路光程的距离、狭缝刀口加工的工艺性复杂且成本高、结构复杂、批量设备的调试困难等问题，提供了一种简易适用又具有较高的精度的狭缝调节技术。
一种狭缝切换装置

[发明专利]一种非金属材料亚表面损伤深度的表征方法-CN202211283331.1有效
发明人：范荣;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种非金属材料亚表面损伤深度的表征方法，包括切割、样品清洗、真空烘干、样块镶嵌、磨抛、选择性刻蚀、显微镜观测计算等步骤，本发明方法采用镶嵌树脂固定样品的方式可以保证待测面的倾斜角度精确，在后续磨抛过程中不会发生移位，从而提高了损伤深度检测结果的准确性和精度，为评估加工工艺的优劣，优化加工工序，实现材料表面“零损伤”的处理工艺提供数据支持。
一种非金属材料表面损伤深度表征方法

[发明专利]一种基于PID迭代优化模型的晶圆加热工艺优化算法-CN202310108793.8在审
发明人：祁广杰;王昕;孙显龙;李卓然;刘嘉泽;初春 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;东能（沈阳）能源工程技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明提供一种基于PID迭代优化模型的晶圆加热工艺优化算法，涉及半导体技术领域。该方法针对现有晶圆加热工艺的不足，提出了以下解决方法：首先锁定光学温度计的辐射率，测得各个测温点的校正系数后，利用校正系数和初始温度值得到各个测温点的校正温度值：然后为各个测温点设定三个系数：常值系数、积分系数以及微分系数，并在保证温度变化率不超过温度最大变化速率的条件下，通过迭代优化的方式使温度误差最小化。该方法可以实现无需手动计算每组加热灯所需的具体电压，只需要根据PID迭代优化模型的变化图像，通过自动迭代的方式，逐步自由调整并优化对应测温点温度的最大值，稳态误差以及超调量，以满足晶圆加热的时间和温度均匀度的要求。
一种基于 pid 优化模型加热工艺算法

[发明专利]一种用于半导体设备的顶针结构-CN202310039635.1在审
发明人：赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种用于半导体设备的顶针结构，其属于半导体设备技术领域，其包括依次相连的细陶瓷顶针部、中间连接部和粗陶瓷顶针部，中间连接部的上端为呈圆筒状的上连接段，上连接段由上至下开设有若干槽口，槽口之间形成夹持部，夹持部的顶端向内延伸设置有凸台，凸台的上下两侧分别设置有上倒角和下倒角；细陶瓷顶针部的下端具有卡块，卡块与上连接段相配合地插接。进一步地，细陶瓷顶针部中部具有竹节部。本发明能够在满足对细陶瓷顶针部的夹持固定效果的同时，使细陶瓷顶针部容易插拔装卸，且装卸过程不易导致细陶瓷顶针部折断损坏；此外还采用具有竹节部的细陶瓷顶针部，使顶针滑动升降更流畅。
一种用于半导体设备顶针结构

[实用新型]一种波段可调的照明装置-CN202222836832.X有效
发明人：兰海燕;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G03B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种波段可调的照明装置，包括发光光源、导光部件和散热组件；发光光源、导光组件均设置在散热组件上；由发光光源发出的光线经导光部件输出；发光光源包括三色LED灯珠和布线板；三色LED灯珠内封装有红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片，通过调节红色芯片、绿色芯片和/或蓝色芯片的电流，控制特定波段光线的输出；布线板用于设置三色LED灯珠引出来的线路。本实用新型通过控制三色LED灯珠中的RGB芯片(即同时包含红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片)，为缺陷检测提供多波段光线照明，提高检测精度。
一种波段可调照明装置

[实用新型]一种应用在自动光学缺陷检测设备上的无影光源-CN202222540189.6有效
发明人：兰海燕;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种应用在自动光学缺陷检测设备上的无影光源。该无影光源主要通过环形均匀发光器3和反射器2相结合的方式，实现了在多变的工作距离下的均匀照明。考虑到其他参数的变化对照度的影响，即便是较保守的预期，也可在直径100mm的范围内，当该工作距离在100mm的范围内变化时，实现该待测物表面的照度均匀化，供该相机采集到清晰度较高的照片，以通过图像识别辨别出该待测物表面的瑕疵。
一种应用自动光学缺陷检测设备光源

[实用新型]一种照明区域可调的照明装置和图像采集系统-CN202222839049.9有效
发明人：兰海燕;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本实用新型提出一种照明区域可调的照明装置，该装置仅通过对一个光阑的移动，就巧妙地实现了两种光斑形状的切换，适应了不同的照明需求，而且能够适用于长距离均匀照明，增加了该照明装置的用途，也为现场的机台设备节省了空间；此外，针对现在应用较多的通过改变可变焦透镜的焦距的方式而言，因为不涉及透镜的移动，就没有光轴倾斜与光照度分布不均匀的问题，改善了光斑切换过程的照明的稳定性。进一步地，该光阑孔为矩形、该出光孔为圆形的设计，分别为线阵相机和面阵相机提供了相匹配的照明。更进一步地，又提出了应用该照明装置的图像采集系统，为发挥该照明装置的效能提供了解决方案。
一种照明区域可调装置图像采集系统

[发明专利]一种可调平的半导体设备悬臂式顶针支架及其设备-CN202310039786.7在审
发明人：赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种可调平的半导体设备悬臂式顶针支架及其设备，其属于半导体设备技术领域，悬臂式顶针支架包括支架板，在支架板上均匀开设有至少三个上下贯穿的调平螺孔，在每个调平螺孔中，均由下至上穿入并螺纹连接有调平螺丝；调平螺丝的上端设置有垫片固定盖板；垫片固定盖板开设有上下贯穿的容纳孔，容纳孔内设置有顶针垫片，顶针垫片的下表面与调平螺丝的上表面相接触，容纳孔的下端具有内螺纹并与调平螺丝的上端螺纹连接。本发明的方案直接解决了悬臂式顶针支架水平度不良及无法有效调节的问题，操作便捷且精度高，结构简单、成本低，同时可以不用考虑支架板加工面水平，降低了设备生产加工的难度及成本。
一种可调半导体设备悬臂顶针支架及其设备

[实用新型]一种半导体设备用悬臂式顶针支架-CN202320081058.8有效
发明人：赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备用悬臂式顶针支架，属于半导体设备技术领域，其包括呈C字形的支架板，在支架板边缘位置周向均匀地开设有三个上下贯穿的调平螺孔，在每个调平螺孔中均螺纹连接有调平螺丝，每个调平螺丝的上端均设置有用于承托顶针的顶针垫片。本实用新型的方案直接有效地解决现有技术方案中悬臂式顶针支架承托的顶针的水平度无法保证以及水平度受支架板自重影响大等问题。
一种半导体备用悬臂顶针支架

[发明专利]一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法-CN202211321789.1有效
发明人：范荣;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法，导气管包括管径相同的首管、尾管、n根中部连接管和n+1组加强翅片，n为大于等于2的整数，首管、尾管、中部连接管和翅片均为硅材料，首管、中部连接管、尾管依次连接，各个首管、尾管和中部连接管的接合部位对应位置分别设有一组加强翅片，加强翅片的首尾两端分别位于对应接合部位的两侧，管件的接合部位以及加强翅片与管体的贴合部位设有粘接材料。本发明导气管具有结构强度高、管腔同轴度高、密封性好、使用寿命长等优点。
一种化学沉积设备气管及其制备方法