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[实用新型]一种半导体设备用分气环-CN202321129952.4有效
发明人： 李伟阳;王琳琳;苏宇 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备用分气环，属于半导体设备技术领域，其包括有两个环体，每一个环体中均设有一条气路，气路包括有相连通的弧形分气部和环形分气部；环形分气部沿环体的环形设置，环形分气部在朝内侧设置有若干喷嘴；弧形分气部设置于环形分气部外侧，弧形分气部的两端与环形分气部的两侧位置相连接；环体在弧形分气部的中间位置处开设有连通的进气孔，进气孔外连接有输气管。本方案经过仿真软件的测试分析得出，其可实现各喷嘴处气体均匀度基本一致，相比现有两个进气孔的方案均匀度大幅提升，能够更好地满足工艺要求；并且结构简单，加工成本较低。
一种半导体备用分气环

[实用新型]一种半导体设备静电卡盘组件维护用装置-CN202321129951.X有效
发明人：郭鑫;张建;李伟阳 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备静电卡盘组件维护用装置，属于半导体设备技术领域，其包括有呈圆筒状的支撑架，支撑架的上端面为水平的放置面，在放置面外侧向上延伸有防护板；支撑架上部开设有开口向上的避让槽，避让槽至少包括设置在支撑架两侧的两个；在至少一个避让槽的底部连接有横向向外设置的管线托架；管线托架上设置有进水管放置槽、回水管放置槽、射频铜带放置槽和光纤放置架。本方案实现了在不压迫下方管线的情况下将静电卡盘组件正向放置，从根本上解决了现有方案需要翻转静电卡盘组件而导致的种种问题；并且各个管线分别对应地稳定放置于管线托架，并向外伸出，便于进行维护检查。
一种半导体设备静电卡盘组件维护装置

[发明专利]一种管道载物器及管道机器人-CN202310371094.2有效
发明人： 李伟阳;蒋湘成;于善冬 -专利权人：南京北控工程检测咨询有限公司
申请日： 2023-04-08 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16L55/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种管道载物器及管道机器人，其涉及管道检测设备领域，该管道载物器包括载物台和多个行走肢，行走肢包括第一活动臂、第一臂驱动机构、第二活动臂、第二臂驱动机构和端足，第一活动臂安装在载物台上，且能够在第一臂驱动机构的驱动下转动，第二活动臂与第一活动臂相铰接，且能够在第二臂驱动机构的驱动下转动，端足包括足体、竖直位保持装置和负压吸合装置，足体的一端与第二活动臂相铰接，另一端能够通过负压吸合装置形成与行走支撑面之间的负压连接，竖直位保持装置能够保持足体与行走支撑面的垂直状态。本申请的管道载物器能够在管道内多种复杂条件下稳定行走。本申请还公开了一种包括本申请管道载物器的管道机器人。
一种管道载物器机器人

[实用新型]一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置-CN202321237427.4有效
发明人：王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;赵云超 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，属于半导体设备技术领域，包括有提拉板，提拉板位于静电卡盘组件正上方，提拉板的下表面设置有防护软垫；提拉板上开设有两个对准孔和三个螺栓连接孔，螺栓连接孔中穿入有提拉螺栓；提拉螺栓的下端与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应地螺纹连接；半导体设备的腔室底板上开设有与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应的螺丝盲孔，其中位于两侧的两个螺丝盲孔中螺纹连接有对准柱；对准柱的上端穿过螺丝通孔及对准孔后露出于提拉板的上方；提拉板在上方两侧的位置设置有把手，把手与对准孔一一对应地相邻。本方案在搬运过程中连接稳定，且便于进行观察，保证放入位置对准，显著提高安装效率及一致性。
一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置

[实用新型]一种加热线圈拉紧结构-CN202320700434.7有效
发明人：赵云超;吴迪;李伟阳 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H05B3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种加热线圈拉紧结构，属于半导体设备技术领域，线圈环绕在半导体设备待加热的圆柱件外，两端相交叉，第一端外固定连接有第一滑块，线圈的第二端外固定连接有第二滑块；在半导体设备的底板上固定嵌入设置有第一滑轨和第二滑轨；第一滑轨与第一滑块滑动连接，第一滑轨与第一端向方向平行；第二滑轨与第二滑块滑动连接，第二滑轨与第二端方向平行；半导体设备的底板上还设置有顶块，顶块连接有控制其朝向圆柱件滑动的顶出机构；第一滑块和第二滑块相对的侧面均为光滑斜面，且该两光滑斜面的法向均朝向顶块。本方案拉紧线圈稳定可靠、不会卡住，保证线圈与圆柱件之间充分接触，保证传热效率和加热效果，提高半导体设备工作效率。
一种加热线圈拉紧结构

[发明专利]一种在安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置-CN202310691472.5在审
发明人：马宏坤;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;王晓晨 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种在安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置，其属于半导体制造中的静电卡盘技术领域，包括盘体、连接结构和防护结构，所述盘体的表面设有防护结构，所述防护结构包括腔体，所述腔体与盘体相卡接，所述腔体的圆弧面固定连接有若干个受力支腿，所述腔体的圆弧面开设有两个撬槽，所述腔体的圆弧面开设有若干个槽口，若干个所述槽口其中的一半滑动连接有直杆，所述直杆下端的圆弧面安装有底壳，所述直杆的上端圆弧面安装有顶板，顶板的上表面设有两个拉手。本发明，解决了在对静电卡盘进行使用的过程中存在现有的静电卡盘材质较为脆弱，而且内部的细小零件较多，结构精细，导致在对静电卡盘进行拆卸的过程中容易损坏静电卡盘，进而导致增加使用成本的问题。
一种安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置

[发明专利]应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部的温度控制组件及方法-CN202310531144.9在审
发明人：苏宇;李伟阳;张建 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部的温度控制组件及方法，属于半导体设备技术领域，温度控制组件包括自上而下依次相贴合地层叠设置的冷却板、第一石墨片、电加热板、第二石墨片、绝缘导热板、射频线圈和导热棉；导热棉的下表面与陶瓷圆顶的顶部相贴合；冷却板内部设置有冷却水管道。本方案实现了快速、均匀的温度控制，保证了半导体设备陶瓷圆顶温度控制高效、稳定，从而有效提升半导体表面沉积等工艺的效率和质量，并且体积较小，节省空间，便于使用。
应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部温度控制组件方法

[发明专利]一种新型供气气路形式的分气环进气装置及其制造方法-CN202310529773.8在审
发明人： 李伟阳;王琳琳;苏宇 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型供气气路形式的分气环进气装置及其制造方法，属于半导体设备技术领域，分气环进气装置为一体式的环形结构，其内部具有至少一条气路；分气环进气装置的环形内侧周向分布设置有若干喷嘴；每一条气路均包括相连通的进气通道、弧形分气道和环形气道；环形气道沿分气环进气装置的环形设置，环形气道朝向圆心方向延伸有若干喷嘴气道并在末端连接并连通喷嘴；弧形分气道设置于环形气道外的一侧，弧形分气道的两端与环形气道相连接；进气通道连接于弧形分气道的中段。本方案喷嘴处喷出的气体流量更均匀，工艺效果更好，并采用整体设计，便于后续设备安装，从根本上解决了因加工精度或安装不当导致密封性不达标的问题。
一种新型供气形式分气环进气装置及其制造方法

[发明专利]一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法-CN202310570213.7在审
发明人：王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;赵云超 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B25B27/14 文献下载
摘要：本发明提供一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法，属于半导体设备技术领域，其中专用工具包括安装于静电卡盘组件上方的安装基础板，安装基础板上设置有把手；安装基础板上开设有多个支撑轴固定孔，支撑轴固定孔与定位孔相对应并在之间可拆卸地安装固定有支撑轴，支撑轴至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个；安装孔中可拆卸地安装固定有向上延伸的导向柱，导向柱至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个，导向柱与支撑轴的位置相错开。本方案通过导向柱保证了静电卡盘组件和腔体快速精确定位对齐，通过具有把手的安装基础板保证搬运安装过程方便省力且可控，防止磕碰划伤，大幅度提高静电卡盘组件与腔体的安装效率、准确性和一致性。
一种安装静电卡盘组件专用工具及其方法

[发明专利]一种静电卡盘组件检漏装置及方法-CN202310602122.7在审
发明人：王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;马宏坤 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01M3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电卡盘组件检漏装置及方法，属于半导体设备技术领域，其中检漏装置包括有检漏基座，检漏基座为上方开口的盒形，在检漏基座的上方依次设置有密封接口法兰和上盲板并在其内部形成密封腔；密封接口法兰的上表面开设有上密封槽并在其中设置有密封胶圈；上盲板与密封接口法兰之间为可拆卸连接；在检漏基座上还设置有检漏连接部。本方案实现了在静电卡盘组件安装于设备腔室之前单独进行检漏，解决现有设备检漏及排查静电卡盘是否有泄露效率低的问题，并且结构简单、便于客户端使用、检测效率高。
一种静电卡盘组件检漏装置方法

[发明专利]一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装-CN202310529771.9在审
发明人：郭鑫;张建;李伟阳 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，属于半导体设备技术领域，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘形成有承托面，在承托面外侧向上延伸有侧挡壁，侧挡壁围成的空间与静电卡盘组件的形状相匹配；在承托件的侧面由上至下开设有用于容纳静电卡盘组件的外接管线的管线避让槽；在承托件的相对的两侧设置有把手。本方案可提高拆装静电卡盘组件时的工作效率，解决静电卡盘组件从设备机台拆卸后存放与搬运过程中可能导致表面划伤或磕碰的问题，起到保护静电卡盘组件及其外接管线结构的作用，延长使用寿命，便于静电卡盘组件的检查与维护。
一种用于支撑搬运静电卡盘组件底座工装

[发明专利]一种机械工件自动分类识别视觉装置-CN202310498176.3在审
发明人：郭渊;许伟佳;佘欢;李伟阳;董振标 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本发明属于机械检测技术领域，具体的说是一种机械工件自动分类识别视觉装置，包括工作台；所述工作台的上表面边缘处固定安装有呈对称布置的L型支撑架；所述L型支撑架远离工作台的一侧固定连接有安装板；所述安装板的上表面固定安装有图像采集相机；给予了图像采集相机对机械工件不同面的拍照时间，并通过处理器对图像采集相机中的照片进行解析，来确定机械工件表面是否有缺陷，如裂纹、凹坑或未焊透等问题；随后通过回收组件将缺陷的机械工件进行回收，本发明实施例可对机械工件的四面进行检测，解决了现有技术中由于输送带是单方向输送，只能对工件的单面进行检测的问题，同时还可对缺陷的工件进行自动分类。
一种机械工件自动分类识别视觉装置

[实用新型]一种新生儿喂食辅助装置-CN202222458675.3有效
发明人：霍媛;唐建明;李伟阳 -专利权人：甘肃省妇幼保健院（甘肃省中心医院）
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： A61J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新生儿喂食辅助装置，属于新生儿喂食领域，其包括圆筒和连接板，其特征在于，圆筒的外圆周面固定连接有连接块和流食筒，连接块的上端面固定连接有电机，连接板的一侧端面固定连接有推杆和齿杆，推杆的远离连接板的一端部固定连接有活塞。本实用新型的新生儿喂食辅助装置，通过设置加热管使其具有了可加热的功能，避免了流食因冷却而需要重新加热，导致喂食的不便性。设置电机和齿杆使其能够喂食更加精确且均匀。通过设置导线和控制开关以及软管使其能够在进行喂食时更加方便，且更易控制，节省了工作人员的力气同时喂养效果更好。将圆筒和阀门设置为透明可保证其可视性，设置刻度可保证在对其进行喂食时更加精确。
一种新生儿喂食辅助装置

[发明专利]一种特定HBV序列插入到特定基因区域的细胞模型及其构建方法与应用-CN202111086025.4有效
发明人： 李伟阳 -专利权人：济宁医学院
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C12N5/10 文献下载
摘要：本发明公开一种特定HBV序列插入到特定基因区域的细胞模型及其构建方法与应用，该方法步骤如下：利用CRISPR/Cas9方法定点敲入HBV的P序列使其整合到HEPG2细胞的Chr5:1295920位置200bp区域，实现所述Chr5:1295920位置发生切割，形成DNA双链断裂；同时将含有Chr5:1295920目标位点上下游同源臂的DNA片段P载体导入所述HEPG2细胞中，实现HBV的P序列定点整合到HEPG2细胞的Chr5:1295920位置200bp范围内。本发明首先确定了病毒整合热点区域上的位点，进而进行了特定序列的病毒整合，建立了一株具有特殊性质及基因组特征的病毒整合细胞株，其可以广泛应用在肝癌与HBV病毒关系研究，抗病毒药物筛选，病毒整合研究等领域。
一种特定 hbv 序列插入基因区域细胞模型及其构建方法应用

[发明专利]一种智能管道清淤机器人-CN202310501182.X在审
发明人：郭渊;许伟佳;李伟阳;董振标;佘欢 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B08B9/051 文献下载
摘要：本发明属于管道清淤机器人领域，具体的说是一种智能管道清淤机器人，包括车体，车体内设置清理装置，清理装置包括：转轴组件，转轴组件旋接在车体内，螺接在转轴组件内部的螺纹管，螺纹管一端连接水管，固定连接转轴组件一端的承接头，等角度活动安装在承接头上的六组刮片，活动座一侧等角度铰接六组连杆，连杆一端铰接L型杆，L型杆上端固定连接刮片，驱动L型杆用于带动刮片移动；通过转动螺纹管，可调节六组刮片之间的间距，从而使六组刮片能够适用不同内径的管道，转轴组件带动承接头连同六组刮片同时转动，转动的刮片将附着在管道内壁上的淤泥刮掉，同时旋转的六组刮片将前进方向堵塞的淤泥搅散，实现对管道内部的疏通。
一种智能管道清淤机器人

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