[发明专利]一种非金属材料亚表面损伤深度的表征方法有效
| 申请号： | 202211283331.1 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115343301B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 范荣;李士昌 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N1/28;G01N1/34;G01N1/36;G01B11/22 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 胡天人 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非金属材料亚表面损伤深度的表征方法，包括切割、样品清洗、真空烘干、样块镶嵌、磨抛、选择性刻蚀、显微镜观测计算等步骤，本发明方法采用镶嵌树脂固定样品的方式可以保证待测面的倾斜角度精确，在后续磨抛过程中不会发生移位，从而提高了损伤深度检测结果的准确性和精度，为评估加工工艺的优劣，优化加工工序，实现材料表面“零损伤”的处理工艺提供数据支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非金属材料 表面 损伤 深度 表征 方法 | ||
【主权项】：
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