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[实用新型]一种半导体设备用分气环-CN202321129952.4有效
发明人：李伟阳;王琳琳;苏宇 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备用分气环，属于半导体设备技术领域，其包括有两个环体，每一个环体中均设有一条气路，气路包括有相连通的弧形分气部和环形分气部；环形分气部沿环体的环形设置，环形分气部在朝内侧设置有若干喷嘴；弧形分气部设置于环形分气部外侧，弧形分气部的两端与环形分气部的两侧位置相连接；环体在弧形分气部的中间位置处开设有连通的进气孔，进气孔外连接有输气管。本方案经过仿真软件的测试分析得出，其可实现各喷嘴处气体均匀度基本一致，相比现有两个进气孔的方案均匀度大幅提升，能够更好地满足工艺要求；并且结构简单，加工成本较低。
一种半导体备用分气环

[实用新型]一种半导体设备静电卡盘组件维护用装置-CN202321129951.X有效
发明人：郭鑫;张建;李伟阳 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备静电卡盘组件维护用装置，属于半导体设备技术领域，其包括有呈圆筒状的支撑架，支撑架的上端面为水平的放置面，在放置面外侧向上延伸有防护板；支撑架上部开设有开口向上的避让槽，避让槽至少包括设置在支撑架两侧的两个；在至少一个避让槽的底部连接有横向向外设置的管线托架；管线托架上设置有进水管放置槽、回水管放置槽、射频铜带放置槽和光纤放置架。本方案实现了在不压迫下方管线的情况下将静电卡盘组件正向放置，从根本上解决了现有方案需要翻转静电卡盘组件而导致的种种问题；并且各个管线分别对应地稳定放置于管线托架，并向外伸出，便于进行维护检查。
一种半导体设备静电卡盘组件维护装置

[发明专利]一种应用于HDP CVD设备腔室的冷却系统-CN202310828531.9在审
发明人：杨迪;初春;王美玲;李景舒 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种应用于HDP CVD设备腔室的冷却系统，其包括腔室本体和冷却组件，腔室本体的顶部具有陶瓷穹顶，陶瓷穹顶由顶部向下依次设置有顶部射频线圈、接地屏蔽件和侧部射频线圈，陶瓷穹顶的顶部还设置有用于向HDP CVD设备腔室内通入气体的顶部进气组件，冷却组件包括第一冷却板和第二冷却板，第一冷却板包括第一环状本体和设置于第一环状本体内的第一容纳腔，第二冷却板包括第二环状本体和设置于第二环状本体内的第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔内分别填充有相变材料。本发明利用相变材料对顶部射频线圈、接地屏蔽件、侧部射频线圈和顶部进气组件进行冷却，消除水冷方式的冷却水泄漏的风险，简化设备结构，降低系统能耗。
一种应用于 hdp cvd 设备冷却系统

[实用新型]一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置-CN202321237427.4有效
发明人：王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，属于半导体设备技术领域，包括有提拉板，提拉板位于静电卡盘组件正上方，提拉板的下表面设置有防护软垫；提拉板上开设有两个对准孔和三个螺栓连接孔，螺栓连接孔中穿入有提拉螺栓；提拉螺栓的下端与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应地螺纹连接；半导体设备的腔室底板上开设有与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应的螺丝盲孔，其中位于两侧的两个螺丝盲孔中螺纹连接有对准柱；对准柱的上端穿过螺丝通孔及对准孔后露出于提拉板的上方；提拉板在上方两侧的位置设置有把手，把手与对准孔一一对应地相邻。本方案在搬运过程中连接稳定，且便于进行观察，保证放入位置对准，显著提高安装效率及一致性。
一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置

[实用新型]一种半导体设备用竹节形顶针-CN202320081024.9有效
发明人：赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体设备用竹节形顶针，其属于半导体设备技术领域，其包括细陶瓷顶针部，细陶瓷顶针部为杆状，中部具有圆柱形的竹节部，竹节部具有光滑的外侧面；半导体设备具有基座，基座上设置有若干上下贯穿的顶针导向件；细陶瓷顶针部位于顶针导向件内，竹节部的外径与半导体设备的顶针导向件的内径相匹配，细陶瓷顶针部在竹节部以外的部分的直径小于顶针导向件的内径。本实用新型的方案采用具有竹节部的细陶瓷顶针部，减小了细陶瓷顶针部与顶针导向件之间的摩擦力，使顶针滑动升降更流畅，尤其能够保证其顺利地基于自重进行下降。
一种半导体备用竹节顶针

[实用新型]一种加热线圈拉紧结构-CN202320700434.7有效
发明人：赵云超;吴迪;李伟阳 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H05B3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种加热线圈拉紧结构，属于半导体设备技术领域，线圈环绕在半导体设备待加热的圆柱件外，两端相交叉，第一端外固定连接有第一滑块，线圈的第二端外固定连接有第二滑块；在半导体设备的底板上固定嵌入设置有第一滑轨和第二滑轨；第一滑轨与第一滑块滑动连接，第一滑轨与第一端向方向平行；第二滑轨与第二滑块滑动连接，第二滑轨与第二端方向平行；半导体设备的底板上还设置有顶块，顶块连接有控制其朝向圆柱件滑动的顶出机构；第一滑块和第二滑块相对的侧面均为光滑斜面，且该两光滑斜面的法向均朝向顶块。本方案拉紧线圈稳定可靠、不会卡住，保证线圈与圆柱件之间充分接触，保证传热效率和加热效果，提高半导体设备工作效率。
一种加热线圈拉紧结构

[发明专利]一种应用于多腔室半导体设备EMO电路-CN202310687527.5在审
发明人：金洲;赵丽新;卢志辉;李志达 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H02B1/24 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于多腔室半导体设备EMO电路，其属于半导体制造技术领域，其具体为一种应用于多腔室半导体设备的双触点双回路EMO电路，其通过EMO双触点和安全继电器，增加冗余设计使安全回路为双触点双回路，使供电系统安全等级为PLe；当半导体设备从单腔到多腔进行转变时，通过增加电柜穿板连接器，保证安全回路为双触点双回路，同时做到了兼容性。
一种应用于多腔室半导体设备 emo 电路

[发明专利]一种在安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置-CN202310691472.5在审
发明人：马宏坤;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;王晓晨 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种在安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置，其属于半导体制造中的静电卡盘技术领域，包括盘体、连接结构和防护结构，所述盘体的表面设有防护结构，所述防护结构包括腔体，所述腔体与盘体相卡接，所述腔体的圆弧面固定连接有若干个受力支腿，所述腔体的圆弧面开设有两个撬槽，所述腔体的圆弧面开设有若干个槽口，若干个所述槽口其中的一半滑动连接有直杆，所述直杆下端的圆弧面安装有底壳，所述直杆的上端圆弧面安装有顶板，顶板的上表面设有两个拉手。本发明，解决了在对静电卡盘进行使用的过程中存在现有的静电卡盘材质较为脆弱，而且内部的细小零件较多，结构精细，导致在对静电卡盘进行拆卸的过程中容易损坏静电卡盘，进而导致增加使用成本的问题。
一种安装拆卸过程中的保护静电卡盘装置

[实用新型]一种光学组件调整装置-CN202320114348.8有效
发明人：许志彬;林保璋;兰海燕;李士昌 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光学组件调整装置，包括主体结构，所述主体结构包括滑动结构，所述滑动结构包括第一背板、第二背板和导向装置，所述导向装置包括与所述第一背板相连的第一导向件以及与所述第二背板相连的第二导向件，所述第一导向件和所述第二导向件可沿所述导向装置的长度方向相对滑动地连接在一起，所述第一背板和所述第二背板之间设有第一调节机构；所述主体结构还包括微调平台，所述微调平台包括可沿Z轴上下滑动的第一微调板、可绕Y轴旋动的第二微调板、可绕X轴旋动的第三微调板以及可绕Z轴旋动的镜筒固定板。本实用新型的一种光学组件调整装置可在多个维度精确调整光学组件，结构简单、操作灵活、便携性好、占用空间小。
一种光学组件调整装置

[实用新型]密封壳体装置及化学气相沉积设备-CN202223212105.2有效
发明人：李踵荣;金秀宪;郑盈箕;吴泰润;车世旭;河圣守;金奭勋;李在浩;金圣民;庆奎;全起泰 -专利权人：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/517 文献下载
摘要：本实用新型提供一种密封壳体装置及化学气相沉积设备，其中的密封壳体装置包括壳体的框架部以及活动连接在框架部上的盖体部；其中，在框架部与盖体部的结合处设置有限位凸台，在盖体部上设置有与限位凸台相适配的避让缺口；在避让缺口与限位凸台相贴合的侧壁内嵌设有螺旋密封条；螺旋密封条用于密封框架部及盖体部，并隔离壳体内部的射频辐射。利用上述实用新型能够有效对壳体之间的空隙进行密封，并屏蔽壳体内部的射频辐射。
密封壳体装置化学沉积设备

[实用新型]框架的水平脚装置及框架-CN202320008857.2有效
发明人：尹仁相;朴哲官;崔煐来;李喆;崔键洙;柳相晩;吉炯昱;吴泰润 -专利权人：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种框架的水平脚装置及框架，包括：固定孔、固定脚、固定杆和高度调节机构；在框架的两侧的底部均设置有固定孔；在固定脚的内部竖直设置有插接孔，在固定脚的顶部固设有固定环，固定环的环孔与插接孔的位置对应；固定杆的顶端插接在固定孔的内部，固定杆的下端设置在插接孔内，固定杆的下部的外侧壁与固定环的内侧壁通过螺纹连接；高度调节机构包括环设在固定杆的上部的外侧壁上的高度调节环，高度调节环的内侧壁与固定杆的上部的外侧壁通过螺纹连接。利用本实用新型能够解决现有技术中需要在框架的底部由螺丝钉等14个部件固定一个用于插接水平脚的固定头，使水平脚的装配更加复杂，增加工时的问题。
框架水平装置

[实用新型]框架门固定装置及化学气相沉积设备-CN202320015468.2有效
发明人：郑盈箕;李踵荣;罗敬勋;姜先美;金明石;崔赞龙;金圭燦;金东宰;咸振植;寓尚润;李东焕;申熙哲;康泰一 -专利权人：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种框架门固定装置及化学气相沉积设备，其中的装置包括框架门固定装置，其特征在于，包括设置在框架门的门板中部位置的把手以及与把手连接的上限位杆和下限位杆；其中，在框架门的门框上设置有与上限位杆位置对应的上限位孔，以及与下限位杆位置对应的下限位孔；把手用于带动上限位杆和下限位杆运动，以使上限位杆插入或脱离上限位孔，下限位杆插入或脱离下限位孔。利用上述实用新型能够确保对门板进行有效的定位，防止门板晃动产生噪声或变形。
框架固定装置化学沉积设备

[发明专利]应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部的温度控制组件及方法-CN202310531144.9在审
发明人：苏宇;李伟阳;张建 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部的温度控制组件及方法，属于半导体设备技术领域，温度控制组件包括自上而下依次相贴合地层叠设置的冷却板、第一石墨片、电加热板、第二石墨片、绝缘导热板、射频线圈和导热棉；导热棉的下表面与陶瓷圆顶的顶部相贴合；冷却板内部设置有冷却水管道。本方案实现了快速、均匀的温度控制，保证了半导体设备陶瓷圆顶温度控制高效、稳定，从而有效提升半导体表面沉积等工艺的效率和质量，并且体积较小，节省空间，便于使用。
应用于半导体设备陶瓷圆顶顶部温度控制组件方法

[发明专利]一种新型供气气路形式的分气环进气装置及其制造方法-CN202310529773.8在审
发明人：李伟阳;王琳琳;苏宇 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型供气气路形式的分气环进气装置及其制造方法，属于半导体设备技术领域，分气环进气装置为一体式的环形结构，其内部具有至少一条气路；分气环进气装置的环形内侧周向分布设置有若干喷嘴；每一条气路均包括相连通的进气通道、弧形分气道和环形气道；环形气道沿分气环进气装置的环形设置，环形气道朝向圆心方向延伸有若干喷嘴气道并在末端连接并连通喷嘴；弧形分气道设置于环形气道外的一侧，弧形分气道的两端与环形气道相连接；进气通道连接于弧形分气道的中段。本方案喷嘴处喷出的气体流量更均匀，工艺效果更好，并采用整体设计，便于后续设备安装，从根本上解决了因加工精度或安装不当导致密封性不达标的问题。
一种新型供气形式分气环进气装置及其制造方法

[发明专利]一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法-CN202310570213.7在审
发明人：王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;赵云超 -专利权人： 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B25B27/14 文献下载
摘要：本发明提供一种安装静电卡盘组件的专用工具及其安装方法，属于半导体设备技术领域，其中专用工具包括安装于静电卡盘组件上方的安装基础板，安装基础板上设置有把手；安装基础板上开设有多个支撑轴固定孔，支撑轴固定孔与定位孔相对应并在之间可拆卸地安装固定有支撑轴，支撑轴至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个；安装孔中可拆卸地安装固定有向上延伸的导向柱，导向柱至少包括位于静电卡盘组件两侧的两个，导向柱与支撑轴的位置相错开。本方案通过导向柱保证了静电卡盘组件和腔体快速精确定位对齐，通过具有把手的安装基础板保证搬运安装过程方便省力且可控，防止磕碰划伤，大幅度提高静电卡盘组件与腔体的安装效率、准确性和一致性。
一种安装静电卡盘组件专用工具及其方法

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