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[实用新型]一种用于常压外延工艺的尾气处理结构-CN202120861504.8有效
发明人：李迎辉;李占斌;杨健;王昕昀;宋本良 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于常压外延工艺的尾气处理结构，包括尾气传输管路、尾气处理设备、排气管路；尾气传输管路将尾气输入尾气处理设备内；排气管路将尾气处理设备处理后的尾气排放至厂务端排气主管路；排气管路包括依次联通的进气段、输送段、排气段，输送段的进气端在竖直方向高于所述输送段的出气端。本实用新型通过设置排气管路的输送段的进气端在竖直方向高于出气端，有利于减少喷淋洗涤塔排气孔附近的悬浮冷凝水滴，有利于反应腔室内压力的稳定性。通过设置排液结构，有利于排气管路内冷凝水的及时排出，同时，也有利于减少向厂务端排气主管路内排放的水汽成分的量，降低了厂务端排气系统的处理负担。
一种用于常压外延工艺尾气处理结构

[发明专利]半导体工艺废气处理装置-CN202110856408.9在审
发明人： 王昕昀;李占斌;田旭;宋本良;马建;田桂龙;李迎辉;杨健 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：本申请涉及半导体工艺废气处理技术领域，具体涉及一种半导体工艺废气处理装置。半导体工艺废气处理装置包括：处理箱体，所述处理箱体包括依次连通的氧化反应腔、废液聚集腔和雾化水洗腔；所述氧化反应腔和所述雾化水洗腔位于所述废液聚集腔上方；所述氧化反应腔连通进气通道，所述进气通道用于将工艺废气输入所述氧化反应腔中，所述氧化反应腔对输入该氧化反应腔中的工艺废气进行氧化反应；所述雾化水洗腔连通排气通道，所述雾化水洗腔中设有喷淋装置，所述喷淋装置上安装有雾化片，所述雾化片能够以第一振荡频率振动使得所述喷淋装置喷淋雾化水珠；所述废液聚集腔中设有振动片，所述振动片能够以第二振荡频率振动。该半导体工艺废气处理装置，可以解决相关技术中废气排放口的问题。
半导体工艺废气处理装置

[发明专利]一种化学气相沉积工艺-CN201811066812.0有效
发明人： 王昕昀;杨杰;胡广严;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明技术方案公开了一种透明石英玻璃板及其制作方法，化学气相沉积工艺，所述化学气相沉积工艺包括：在化学气相沉积工艺的反应室内放置晶圆，所述反应室上方设有双紫外光源；在所述双紫外光源和晶圆之间设置透明石英玻璃板，所述透明石英玻璃板靠近所述双紫外光源的表面具有若干倾斜面；向所述反应室通入反应气体；采用所述双紫外光源照射所述晶圆，所述双紫外光源射出的紫外光透过所述透明石英玻璃板照射至所述晶圆的表面。本发明技术方案可以减少或消除光的干涉问题，进而改善晶圆表面的成膜均匀性。
一种化学沉积工艺

[实用新型]一种推送机构及化学气相沉积机台-CN201920231516.5有效
发明人：贾中宇;杨杰;王昕昀;胡广严;吴龙江;吴孝哲;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种推送机构和化学气相沉积机台，所述推送机构推动加热体运动，该加热体具有初始位置和目标位置，该推送机构包括：磁场发生器，用以产生磁场；驱动装置，与加热体连接，用以驱动加热体运动；导体，用以与加热体同步运动；以及，处理装置，与导体连接并形成回路；其中，导体被配置为，加热体从初始位置运动至目标位置的过程中，切割磁场的磁感线产生感应电流；处理装置被配置为，用以接收感应电流，并根据感应电流得到加热体的运动距离，根据加热体的运动距离确定加热体当前的位置。所述化学气相沉积机台包括所述推送机构。本实用新型的优点在于，导体与加热体同步运动，并切割磁感线产生感应电流，而精确地得到加热体的当前位置。
加热体感应电流推送机构导体化学气相沉积机台本实用新型处理装置目标位置同步运动磁感线磁场切割初始位置运动运动距离确定磁场发生器导体连接驱动装置运动距离配置驱动

[实用新型]具有加热丝的加热器-CN201821519443.1有效
发明人： 王昕昀;鲁旭斋;胡广严;吴龙江;吴孝哲;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种具有加热丝的加热器，所述加热丝设置于所述加热器中，且所述加热丝的表面涂布有导热层，用于作为所述加热丝热传递的介质，均匀所述加热丝的表面温度。本实用新型中具有加热丝的加热器的加热丝表面涂布有导热层作为所述加热丝热传递的介质，能提供均匀的加热效果，缓解了由于加热丝老化等问题而引起的加热丝加热温度不均匀的状况，简单方便，便于实现。
加热丝加热器表面涂布导热层热传递本实用新型加热效果不均匀加热老化缓解

[实用新型]晶圆处理装置-CN201920232301.5有效
发明人： 王昕昀;曹紫然;贾中宇;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供的晶圆处理装置，包括反应腔室，还包括：基座，位于所述反应腔室内，用于承载晶圆；至少一组凹槽，位于所述基座表面，每组凹槽包括关于所述基座的中心对称分布的两个凹槽；多条第一管道，与多个所述凹槽一一连通，且延伸至所述反应腔室外部；第二管道，与所述反应腔室连通，用于向所述反应腔室通入气体；多个压力计，位于所述反应腔室外部，且与多条所述第一管道一一连通，所述压力计用于检测与其连通的所述凹槽内的气体压力。本实用新型能够及时了解晶圆在反应腔室内的位置是否发生了偏移，提高了晶圆的生产效率，减少了晶圆返工及报废的概率。
反应腔晶圆连通反应腔室晶圆处理装置本实用新型第一管道室外部压力计室内中心对称分布第二管道基座表面气体压力生产效率偏移返工报废承载概率检测延伸

[实用新型]尾气处理装置-CN201822071020.4有效
发明人：孟杰;王昕昀;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。本实用新型的尾气处理装置提高了尾气处理的效率。
尾气处理装置燃烧炉环形侧部内壁本实用新型燃烧炉中尾气处理喷嘴喷嘴喷全包围尾气燃烧

[实用新型]半导体工艺设备-CN201821987973.9有效
发明人：雷喜凡;王昕昀;张锋;吴孝哲;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体工艺设备，包括：腔体；承载结构，所述承载结构包括一位于所述腔体内部的承载平台和与所述承载平台相连且延伸至所述腔体外部的升降杆；动力部件，所述动力部件与所述腔体连接并容纳所述升降杆延伸至所述腔体外部的部分，所述动力部件与所述升降杆之间具有空隙；其中，在所述动力部件与所述腔体连接处设置有一阀门，以使所述动力部件与所述腔体连通或隔断。本实用新型中承载结构上的被承载物通过动力部件在腔体内进行上升下降运动；本实用新型还在动力部件与腔体连接处设置有一阀门，通过控制阀门阻止粉末杂质掉入动力部件内，从而防止粉末杂质在动力部件内形成颗粒杂质污染源，使产品的质量得到了较大的提高。
动力部件本实用新型承载结构升降杆半导体工艺设备腔体连接处承载平台粉末杂质腔体外部阀门腔体上升下降运动被承载物颗粒杂质控制阀门腔体连通腔体内部延伸隔断污染源体内容纳

[实用新型]测试位移的装置-CN201821950693.0有效
发明人：杨杰;林宗贤;吴龙江;胡广严;王昕昀;林立 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种测试位移的装置，所述装置包括：运动部件；运动极板组，所述运动极板组中至少包括一个运动极板，所述运动极板与所述运动部件相连接；固定极板组，所述固定极板组中至少包括一个固定极板，且所述固定极板与所述运动极板对应设置以构成电容器。本实用新型中的测试位移的装置，增加了与运动部件相连接的运动极板及与运动极板对应设置的固定极板，通过运动极板及固定极板构成可变电容器，从而通过电容器的变化量，实时的获得运动部件的实际位置，可提高操作便捷性及产品质量。
固定极板极板运动部件测试位移电容器本实用新型极板组可变电容器实际位置便捷性变化量

[实用新型]晶圆位置检测装置-CN201822036076.6有效
发明人： 王昕昀;孟杰;薛波;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆位置检测装置。本实用新型提供了一种晶圆位置检测装置，包括：加热盘，用于承载并加热晶圆；至少一组温度传感器，设置于所述加热盘表面，每组温度传感器包括关于所述加热盘的中心对称分布的两个温度传感器；控制器，同时连接多组所述温度传感器，用于判断是否存在一组温度传感器内的两个温度传感器检测到的温度值不同，若是，则确认所述晶圆的位置发生偏移。本实用新型可以及时了解晶圆在反应腔室内的位置是否发生偏移，提高了晶圆的生产效率，减少了晶圆返工及报废的概率。
温度传感器晶圆本实用新型加热盘位置检测装置偏移种晶半导体制造技术温度传感器检测中心对称分布检测装置晶圆位置生产效率控制器反应腔返工加热报废承载室内概率

[实用新型]半导体处理设备-CN201821521756.0有效
发明人： 王昕昀;吴孝哲;胡广严;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种半导体处理设备，包括工艺腔室、基座、传动轴以及波纹管，还包括：作业抽气组件，与工艺腔室相连通，作业抽气组件设置成能够自工艺腔室抽出气体；清洁抽气组件，与波纹管的底部相连通，清洁抽气组件设置成能够自波纹管抽出气体。在停止对晶圆的加工后，清洁抽气组件开始工作，自波纹管抽气，及时抽走工艺腔室和波纹管内的粉尘，避免粉尘堆积和附着在波纹管内，从而避免在后续对工艺腔室进行抽真空等操作时、底部的粉尘被抽入工艺腔室内部而污染工艺腔室，从而维持半导体处理设备的正常运行，提高产品良率。
波纹管抽气组件工艺腔室半导体处理设备抽出气体清洁粉尘半导体加工设备本实用新型产品良率粉尘堆积污染工艺抽真空传动轴工艺腔室内部抽气附着晶圆腔室加工

[实用新型]晶圆位置检测装置以及半导体加工设备-CN201821783289.9有效
发明人： 王昕昀;代恒双;靳航;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆位置检测装置以及半导体加工设备，所述晶圆位置检测装置包括：一腔体，所述腔体中设有一用于承载晶圆的承载盘，所述承载盘的上表面边缘上设有多个缝隙，且所有的所述缝隙具有相同的长度和宽度，每个所述缝隙的部分长度能被所述晶圆覆盖；多个第一气管，所述第一气管与所述缝隙一一对应设置，且每个所述第一气管上设有一个压力计；以及，一第二气管和一泵，所述第二气管的一端与每个所述第一气管的另一端相连通，所述第二气管的另一端与所述泵相连通。本实用新型的技术方案能够在生产之前准确地检测晶圆在承载盘上的偏移情况，以防止晶圆在生产过程中出现异常，进而避免了晶圆的返工或报废。
气管晶圆承载盘半导体加工设备本实用新型检测装置晶圆位置位置检测装置一一对应设置上表面边缘生产过程压力计偏移返工腔体种晶连通报废承载检测覆盖生产

[实用新型]晶圆基座及晶圆处理装置-CN201821310600.8有效
发明人： 王昕昀;吴孝哲;胡广严;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-08-14 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆基座及晶圆处理装置。所述晶圆基座，包括用于承载晶圆的基板，还包括用于支撑所述基板的波纹管以及位于所述基板与所述波纹管之间的法兰；所述法兰的侧壁具有至少一进气孔，气体经所述进气孔自所述法兰的侧壁夹层进入所述波纹管，以对所述波纹管内壁进行涡流吹扫。本实用新型有效的去除所述波纹管内壁沉积的颗粒物，尤其是对于位于波纹结构凹槽缝隙内的颗粒物进行了彻底的清除，延长了波纹管的使用寿命及机台保养维护周期，改善了晶圆机台的加工效率及产品质量。
波纹管法兰基板晶圆处理装置机台本实用新型晶圆基座进气孔颗粒物晶圆内壁半导体制造技术涡流凹槽缝隙波纹结构侧壁夹层加工效率使用寿命维护周期侧壁吹扫种晶沉积去除保养承载支撑

[发明专利]ddPCR技术检测IDH1 R132H基因变异的引物、试剂盒及检测方法-CN201810419708.9在审
发明人： 王昕昀 -专利权人：良培基因生物科技（武汉）有限公司
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： C12Q1/6886 文献下载
摘要：本发明公开了一种ddPCR技术检测IDH1R132H基因变异的引物、试剂盒及检测方法，检测方法包括提取外周血cfDNA、针对IDH1R132H突变型和野生型设计2个探针和1对引物、以cfDNA为模板进行ddPCR扩增、对获得的扩增产物进行数据分析，获得IDH1R132H突变基因绝对量和比例。基于此方法，本发明还提供了一种检测IDH1R132H基因变异的试剂盒。本发明提供的引物扩增片段为83bp，特别适用于血浆游离DNA等小片段DNA样本的扩增，结合本发明提供的检测探针，可从cfDNA中检测到极低丰度的IDH1R132H基因变异，具有特异性好、灵敏度高的特点，可对人IDH1R132H基因变异进行绝对定量检测，对指导临床治疗、改善患者预后有重要作用。本方法无需采集组织标本，仅使用外周血即可完成检测，特别适合对组织取样不耐受的患者。
基因变异试剂盒检测技术检测外周血扩增引物血浆游离DNA 小片段DNA 定量检测检测探针扩增产物临床治疗数据分析突变基因引物扩增组织标本低丰度对引物绝对量灵敏度突变型野生型种检测预后耐受取样探针样本采集

[发明专利]ddPCR技术检测IDH1基因变异的引物、试剂盒及检测方法-CN201810421174.3在审
发明人： 王昕昀 -专利权人：良培基因生物科技（武汉）有限公司
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： C12Q1/6858 文献下载
摘要：本发明涉及医学和生物技术领域，尤其涉及一种ddPCR技术检测IDH1多种基因变异的引物、试剂盒及检测方法。本发明提供的用于ddPCR技术检测人IDH1基因变异的引物和探针是根据IDH1基因的第4号外显子的野生型基因序列和相应突变基因序列设计的，结合PCR平台可以检测IDH1基因的第4号外显子的包括R132H、R132C、R132S、R132G、R132L和R132V的多种突变，并对样本所携带IDH1基因变异DNA进行绝对数量；且引物扩增片段为91bp，特别适用于血浆游离DNA等小片段DNA样本的扩增，结合本发明提供的检测探针，可以从cfDNA中检测到极低丰度的IDH1基因变异，具有特异性好、灵敏度高的特点，可应用于ddPCR平台对人IDH1基因变异进行绝对定量检测，对于指导临床治疗、改善患者预后有极为重要的作用。
技术检测引物检测试剂盒样本生物技术领域突变基因序列血浆游离DNA 野生型基因小片段DNA 定量检测基因变异检测探针临床治疗引物扩增低丰度灵敏度预后扩增探针突变携带医学应用

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