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[发明专利]一种电磁式扫描光栅微镜的复合控制系统-CN201910453363.3有效
发明人：温泉;庾繁;温志渝;雷宏杰;黄良坤 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：一种电磁式扫描光栅微镜的复合控制系统，包括角传感信号获取与预处理模块、鉴相模块、驱动电流检测模块、闭环控制算法模块、扫描光栅微镜驱动模块和通讯模块。系统采用DSP作为主控芯片，当DSP接收到从模/数转换器ADC采样转换后的集成角传感信号、驱动与角传感之间的相位差信号和驱动电流信号后，进行闭环控制算法的运算，决定输出到DDS和DAC的驱动信号的频率值和幅度值。DDS和DAC的输出信号经过信号的合成及功率放大后被加载到电磁式扫描光栅微镜的驱动线圈上，形成闭环控制系统。该系统通过驱动信号频率控制器和驱动信号幅度控制器实现对扫描光栅微镜的谐振频率追踪和扫描角度控制，抗干扰能力强、控制精度高、长期稳定性好、集成度高、灵活性好。
一种电磁式扫描光栅复合控制系统

[发明专利]MOEMS扫描光栅微镜控制系统-CN201810049844.3有效
发明人： 温志渝;唐杰;余龙华 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明提出一种MOEMS扫描光栅微镜的控制系统。它主要由传感器信号获取模块、数字信号处理闭环控制模块、扫描光栅微镜驱动器组成，通过数字式控制方法实现对MOEMS扫描光栅微镜的闭环控制，基于FPGA开发放大器自适应控制调节、微镜运动姿态分析、传感器信号频谱分析、滑模PID自校准、DDS驱动信号发生器、外存储控制器的知识产权核，实现了MOEMS扫描光栅微镜的数字式控制，具有很高的灵活性、可移植性，集成度高的特点。设计放大电路、信号转换器、滤波器，完成MOEMS扫描光栅微镜的高精度控制，具有优良的抗干扰特性，提高了系统稳定性，可适用于电磁式、压电式等不同驱动方式的MOEMS扫描光栅微镜中。
moems 扫描光栅控制系统

[发明专利]集成差分式角传感器的扫描微镜-CN201810403477.2有效
发明人：温泉;雷宏杰;温志渝;庾繁;黄良坤 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜，包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频器件可靠性差两方面缺陷，本发明采用柔性的FR4或铝作为基底材料；为了提升电磁角传感器的输出信号品质，本发明集成了差分式角传感器，有效减小了非线性误差和共模噪声，并提高了抗干扰能力；为了增大电磁驱动器的驱动能力和角传感器的灵敏度，驱动线圈与传感线圈均采用双层走线的布线方式。本发明结构简单新颖、容易制作、成本低廉且可批量生产，在微型光谱仪、光学扫描系统和生物医学成像等领域有着广泛的应用。
集成分式传感器扫描

[发明专利]一种非对称复合式宽频带振动能量收集器-CN202010039725.7在审
发明人：温泉;路庄;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明提出一种非对称复合式宽频带振动能量收集器，包括外壳以及位置与外壳内的拾振梁、压电片、永磁体和线圈。所述拾振梁两端与外壳固定，形成双端固支梁结构。所述拾振梁沿其轴向中心线为非对称结构；所述拾振梁中间位置固定永磁体，在靠近两端的位置分别设置压电片，在外壳内对应永磁体的位置设置线圈，形成压电/电磁复合式能量收集结构。本发明利用了双端固支梁振动时的非线性特性，在无须任何辅助结构的条件下即可实现振动能量收集器的频带拓展，从而提高了能量获取效率。
一种对称复合宽频振动能量收集

[发明专利]基于扫描光栅微镜的宽光谱微型近红外光谱仪-CN201911242847.X在审
发明人：温泉;黄良坤;温志渝;庾繁 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：一种基于扫描光栅微镜的宽光谱微型近红外光谱仪，包括依次分布在光路上的光源、入射狭缝、离轴抛物面反射镜、平面反射镜、扫描光栅微镜、聚焦成像镜、出射狭缝和探测器。光源经入射狭缝耦合进光谱仪，被离轴抛物面反射镜离轴准直为平行光束，经过平面反射镜反射进入扫描光栅微镜，扫描与分光后，经聚焦成像镜聚焦，不同波长的单色光进入单管宽光谱双色近红外探测器中，实现近红外全波谱的连续扫描与探测。本发明采用短焦距式离轴抛物面反射镜显著地提升了光谱仪的分辨率和信噪比，利用离轴抛物面反射镜结合交叉式Czerny‑Turner结构的改进设计，有效抑制了系统像差，利用单管宽光谱双色近红外探测器实现了800~2500nm全波谱的探测。该光谱仪体积小、光谱宽、分辨率高。
基于扫描光栅光谱微型红外光谱仪

[发明专利]一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法-CN201910357433.5在审
发明人：李东玲;雷宏杰;温泉;佘引;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法，属于半导体加工技术领域，基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性，通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割，采用两次光刻腐蚀的方法，利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形成闪耀光栅。采用本发明的方法制备硅基MEMS闪耀光栅，可以有效减小光栅顶部平台，改善闪耀光栅的形貌，提高光栅的衍射效率，实现任意闪耀角闪耀光栅的制备；同时还具有精度高、易集成、成本低、重复性好、适合批量生产等优点，制备得到的硅基MEMS闪耀光栅可广泛应用于各类光谱分析仪器中。
闪耀光栅制备硅基光栅闪耀角半导体加工技术光谱分析仪器形貌单晶硅顶部平台慢腐蚀面湿法腐蚀衍射效率制备硅基硅片次光减小偏角切割相交腐蚀应用生产

[发明专利]一种扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路-CN201810050396.9有效
发明人：温泉;唐杰;余龙华;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明提出一种基于扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路，包括电源管理电路和光谱仪控制电路。其中光谱仪控制电路包括至少两路用于光谱信号采集的PGA和ADC通道，一路用于角度传感采集的PGA经滤波器及ADC通道，用于扫描光栅微镜驱动的DAC经滤波器及PGA通道，用于上位机通讯的USB接口电路，外部缓存及作为主控芯片的FPGA。本发明中，PGA通过FPGA的IO口接收PGA控制信号，实现了探测器输入信号增益可编程，提高了光谱仪控制电路的灵活性。通过FPGA同步时钟信号对系统中ADC的控制，实现了扫描光栅微镜角度传感信号与光谱信号的同步采集，便于上位机精确完成光谱重构。
扫描光栅光谱仪控制电路微镜滤波器近红外光谱工作电路电源管理电路光谱信号采集同步时钟信号上位机通讯探测器输入传感信号光谱信号光谱重构控制信号同步采集外部缓存微镜驱动信号增益主控芯片可编程上位机传感两路采集

[发明专利]一种全谱段800nm-2500nm的双探测器微型近红外光谱仪-CN201611037044.7有效
发明人： 温志渝;周颖;温泉;黄俭 -专利权人：重庆大学
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明提出了一种全谱段800nm‑2500nm的双探测器微型近红外光谱仪，它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型Czerny‑Turner光路系统，有效抑制了像差，确保了系统成像质量。本发明采用集成角度传感器的MOEMS扫描光栅微镜，兼具宽波段范围内扫描与分光功能，同时能够实时精确控制扫描角度，实现了单管近红外双探测器的不同波长连续精确探测。本发明具有价格低、体积小、响应快、精度高、探测光谱范围宽等优点。
一种全谱段 800 nm 2500 探测器微型红外光谱仪

[发明专利]一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜-CN201810616840.9在审
发明人：温泉;雷宏杰;温志渝;常飞;庾繁 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜，由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动，并结合在微镜背部掏蚀凹槽，提高系统稳定性且避免镜面变形。微驱动器采用非均匀折叠梁结构和其上压电层长度占每折梁长度一半的优化布局，可在低功耗、低驱动电压下使微镜实现最大角度分光扫描；在四个微驱动器的最外侧梁靠近扭转梁一端一体化集成大面积压电角传感器，采用差分输出方式可使无需后端放大电路即有高线性度、伏量级的较强传感信号输出，实时监测微镜扫描角度。本发明结构简单，集成工艺兼容，能批量生产，可广泛应用于微型光谱仪中。
微镜非均匀扭转梁折叠梁压电微驱动器固定框架角传感器扫描光栅扫描低驱动电压微型光谱仪系统稳定性一体化集成驱动传感信号放大电路高线性度集成工艺实时监测输出方式光栅镜面低功耗压电层分光平动转动变形兼容输出应用优化生产

[发明专利]一种压电-摩擦电复合式宽频带微型能量收集器-CN201710108046.9有效
发明人：温泉;贺显明;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公开一种压电‑摩擦电复合式宽频带微型能量收集器，包括压电振动能量收集器主结构和摩擦电能量收集单元；压电振动能量收集器主结构包括硅固定基座、多个梯形压电悬臂梁构成的共质量块压电悬臂梁阵列及质量块；摩擦电能量收集单元包括上、下电极和表面微结构处理的柔性介电摩擦层。本发明梯形压电悬臂梁可均匀压电层上的应力分布以提高压电结构的输出功率；串联的共质量块压电悬臂梁阵列可提高压电结构的输出电压；相邻压电梁之间的间隙可以减小压电结构的空气阻尼，增加振动幅度；上、下带柔性介电摩擦层摩擦电能量收集单元实现碰撞限幅，拓展压电振动能量收集器的工作频带，同时实现摩擦电机理转换，提高器件的输出功率。
一种压电摩擦电复合式宽频微型能量收集

[发明专利]一种低g值微机械加速度锁存开关-CN201510771891.5有效
发明人：李东玲;尚正国;温志渝;彭迎春;佘引 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： H01H35/14 文献下载
摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构，与侧触头形成线接触，降低运动过程中的能量损失，与感应触头形成面接触，减小接触电阻，提高接触的可靠性；检测质量块、扰性梁、触头以及锚点呈完全轴对称分布，可实现±Y方向的双向锁存；检测质量块支撑梁对称分布于检测质量块的两侧，结构布局更合理，易于实现低g值锁存，且通过调整检测质量块、扰性梁以及各触头之间的间隙，可方便调整闭锁阈值，阈值范围更广。 1
质量块触头支撑梁检测锁存对称分布微机械衬底锚点扰性绝缘过载保护结构微机械开关轴对称分布调整检测复合结构感应触头降低运动接触电阻结构布局能量损失半球形侧触头双向锁线接触形成面闭锁减小楔形

[发明专利]压电式集成MOEMS扫描光栅微镜-CN201710687362.6在审
发明人：温泉;雷宏杰;温志渝;周颖;郭鹏飞 -专利权人：重庆大学
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪耀光栅，在背面掏蚀了凹槽，提高了衍射效率和器件稳健性。为了在低驱动电压下实现大角度扫描，本发明采用了压电微驱动器并利用连接梁对驱动位移进行放大。为了对集成扫描光栅微镜运动状态实时监测，在连接梁上一体化集成了压电角传感器。本发明结构新颖简单，集成工艺兼容，可显著提高扫描光栅微镜的衍射效率、分辨率、稳健性和集成度，并改善扫描光栅微镜的驱动与角传感性能。
压电集成 moems 扫描光栅

[发明专利]基于RFID的地下车库智能定位及动态显示系统及方法-CN201710303109.6在审
发明人：刘海涛;袁小涵;李祥;李诗琪;刘友然;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G08G1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于RFID的地下车库智能定位及动态显示系统及方法，包括电子标签、阅读器、后台服务器和移动终端；电子标签放置于车辆内；阅读器安装在车库内；后台服务器内存储有车库电子地图，该车库电子地图中标识有车库内所有车位的位置信息，后台服务器对所接收的数据进行处理得到电子标签的坐标信息，并将该坐标信息加载到车库电子地图上，当车辆已停好，在车库电子地图上将对应车位标记为已占用，当车辆离开该车位时，在车库电子地图上将该车位标记为空车位；移动终端用于访问车库电子地图，在移动终端成功访问该车库电子地图时，后台服务器获取移动终端的位置信息并加载到车库电子地图上。通过本发明能够快速找到空车位和车辆。
基于 rfid 地下车库智能定位动态显示系统方法

[发明专利]MOEMS扫描光栅微镜系统-CN201510904374.0有效
发明人： 温志渝;周颖;刘海涛 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种MOEMS扫描光栅微镜系统，包括MOEMS扫描光栅微镜和后端闭环控制电路两部分。MOEMS扫描光栅微镜采用正方形设计，主要由扫描光栅、扭转梁、固定边框、电磁式驱动器和磁电式角度传感器通过MEMS加工技术一体化三维集成于单晶硅片。磁电式角度传感器采用正方形、表层镀金多圈渐开式设计。MOEMS扫描光栅微镜与磁电式角度传感器同时采用正方形设计可以保证在MOEMS扫描光栅微镜扫描过程中产生实时、动态的最大角度输出信号。同时电磁式驱动器和磁电式角度传感器的最佳匝数比设计，可以在低电压驱动MOEMS扫描光栅微镜扫描的基础上实现角度输出信号的最大化。后端闭环控制电路可以实现对MOEMS扫描光栅微镜的精确控制。本发明可广泛用于微型光谱仪。
moems 扫描光栅系统

[发明专利]集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅-CN201510805579.3在审
发明人： 温志渝;聂秋玉;黄俭 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提出一种集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅。它由光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架组成。所述光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架均制作在同一片偏晶向的（111）硅基底上。光栅面、电磁驱动线圈及电磁传感线圈由一对扭转梁支撑在支撑框架的内部。本发明的光栅为非对称锯齿形的闪耀光栅，大大提高了扫描光栅的衍射效率。本发明采用电磁驱动方式对MEMS扫描光栅进行驱动，可在较低的工作电压下实现光栅的大角度扫描。本发明同时集成了电磁式角度传感器，可以实现光栅扫描角度的实时测量。本发明成果可广泛应用于微型近红外光谱仪系统。
集成角度传感器衍射效率 mems 扫描光栅

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