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[发明专利]一种电磁式扫描光栅微镜的复合控制系统-CN201910453363.3有效
发明人：温泉;庾繁;温志渝;雷宏杰;黄良坤 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：一种电磁式扫描光栅微镜的复合控制系统，包括角传感信号获取与预处理模块、鉴相模块、驱动电流检测模块、闭环控制算法模块、扫描光栅微镜驱动模块和通讯模块。系统采用DSP作为主控芯片，当DSP接收到从模/数转换器ADC采样转换后的集成角传感信号、驱动与角传感之间的相位差信号和驱动电流信号后，进行闭环控制算法的运算，决定输出到DDS和DAC的驱动信号的频率值和幅度值。DDS和DAC的输出信号经过信号的合成及功率放大后被加载到电磁式扫描光栅微镜的驱动线圈上，形成闭环控制系统。该系统通过驱动信号频率控制器和驱动信号幅度控制器实现对扫描光栅微镜的谐振频率追踪和扫描角度控制，抗干扰能力强、控制精度高、长期稳定性好、集成度高、灵活性好。
一种电磁式扫描光栅复合控制系统

[发明专利]集成差分式角传感器的扫描微镜-CN201810403477.2有效
发明人：温泉;雷宏杰;温志渝;庾繁;黄良坤 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜，包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频器件可靠性差两方面缺陷，本发明采用柔性的FR4或铝作为基底材料；为了提升电磁角传感器的输出信号品质，本发明集成了差分式角传感器，有效减小了非线性误差和共模噪声，并提高了抗干扰能力；为了增大电磁驱动器的驱动能力和角传感器的灵敏度，驱动线圈与传感线圈均采用双层走线的布线方式。本发明结构简单新颖、容易制作、成本低廉且可批量生产，在微型光谱仪、光学扫描系统和生物医学成像等领域有着广泛的应用。
集成分式传感器扫描

[发明专利]基于扫描光栅微镜的宽光谱微型近红外光谱仪-CN201911242847.X在审
发明人：温泉;黄良坤;温志渝;庾繁 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：一种基于扫描光栅微镜的宽光谱微型近红外光谱仪，包括依次分布在光路上的光源、入射狭缝、离轴抛物面反射镜、平面反射镜、扫描光栅微镜、聚焦成像镜、出射狭缝和探测器。光源经入射狭缝耦合进光谱仪，被离轴抛物面反射镜离轴准直为平行光束，经过平面反射镜反射进入扫描光栅微镜，扫描与分光后，经聚焦成像镜聚焦，不同波长的单色光进入单管宽光谱双色近红外探测器中，实现近红外全波谱的连续扫描与探测。本发明采用短焦距式离轴抛物面反射镜显著地提升了光谱仪的分辨率和信噪比，利用离轴抛物面反射镜结合交叉式Czerny‑Turner结构的改进设计，有效抑制了系统像差，利用单管宽光谱双色近红外探测器实现了800~2500nm全波谱的探测。该光谱仪体积小、光谱宽、分辨率高。
基于扫描光栅光谱微型红外光谱仪

[发明专利]一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜-CN201810616840.9在审
发明人：温泉;雷宏杰;温志渝;常飞;庾繁 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜，由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动，并结合在微镜背部掏蚀凹槽，提高系统稳定性且避免镜面变形。微驱动器采用非均匀折叠梁结构和其上压电层长度占每折梁长度一半的优化布局，可在低功耗、低驱动电压下使微镜实现最大角度分光扫描；在四个微驱动器的最外侧梁靠近扭转梁一端一体化集成大面积压电角传感器，采用差分输出方式可使无需后端放大电路即有高线性度、伏量级的较强传感信号输出，实时监测微镜扫描角度。本发明结构简单，集成工艺兼容，能批量生产，可广泛应用于微型光谱仪中。
微镜非均匀扭转梁折叠梁压电微驱动器固定框架角传感器扫描光栅扫描低驱动电压微型光谱仪系统稳定性一体化集成驱动传感信号放大电路高线性度集成工艺实时监测输出方式光栅镜面低功耗压电层分光平动转动变形兼容输出应用优化生产