专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]靶材组件及其加工方法-CN201510631667.6有效
  • 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李小萍 - 宁波江丰电子材料股份有限公司
  • 2015-09-29 - 2019-05-14 - H01L21/203
  • 一种靶材组件及其加工方法,其中加工方法包括:形成靶材组件,靶材组件包括背板以及与背板相连的靶材,背板与靶材相连的一面为正面,靶材包括与带电粒子发生碰撞的溅射面和与溅射面通过倒角相连的侧面;靶材侧面与倒角的连接处和靶材侧面与背板正面连接处之间的区域构成靶材组件表面的吸附区域;对靶材组件表面的吸附区域进行喷砂处理。本发明通过对靶材组件表面用于吸附反溅射物的吸附区域进行喷砂处理,以提高靶材组件表面吸附区域的粗糙程度,提高靶材组件的吸附能力,降低吸附颗粒物剥落和尖端放电等现象出现的可能,延长了靶材的使用寿命,减少了由于吸附颗粒物剥落而导致的产品报废现象的出现,提高了产品的良品率。
  • 组件及其加工方法
  • [发明专利]一种膜层的形成方法、靶材及靶材制作方法-CN201510594266.8有效
  • 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李小萍 - 宁波江丰电子材料股份有限公司
  • 2015-09-17 - 2019-03-12 - C23C14/35
  • 本申请公开了一种膜层的形成方法、靶材及靶材制作方法,其中,所述制作方法通过以预设位置为圆心,第一预设半径为半径,对所述靶材背板进行倒圆角处理,在所述靶材背板上形成圆弧区,所述圆弧区与所述待溅射胚体相连。由于在物体几何形状突变区域具有高应力,而圆弧具有缓慢改变物体几何形状的特性,从而在几何形状突变区域进行倒圆角处理可以很好的达到降低其应力集中的目的。因此,本发明实施例所提供的靶材制作方法制作的靶材中,所述靶材背板与所述待溅射胚体相连的区域为圆弧区,从而可以达到降低所述靶材背板与所述待溅射胚体连接处反溅射物质间、反溅射物质和靶材之间的应力集中的目的,从而降低了反溅射物质从所述靶材上剥落的概率。
  • 一种形成方法制作方法

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