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- [发明专利]气相刻蚀装置及设备-CN201610879076.5有效
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张军;马振国;吴鑫;文莉辉;胡云龙;张鹤南;储芾坪
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2016-10-08
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2021-01-29
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H01L21/67
- 公开了一种气相刻蚀装置及设备。该装置包括：反应腔主体，其内形成有反应腔室；基座，处于反应腔室内部，用于承载晶片；进气件，连接到反应腔主体，向反应腔室内部通入刻蚀剂；以及压力组件，连接到反应腔主体，控制反应腔室的压力。该装置还包括：第一温度控制器，连接到反应腔主体，控制反应腔室的温度为第一温度，使反应腔室不被刻蚀剂腐蚀；以及第二温度控制器，连接到基座，控制基座的温度为第二温度，使晶片能够直接进行下一步工艺。根据本发明的装置通过分别控制反应腔室和放置晶片的基座的温度，使得去除二氧化硅后的晶片无需冷却，无需在刻蚀腔室中集成退火功能或独立的退火腔室，更无需配置单独的冷却腔室。
- 刻蚀装置设备
- [发明专利]装卸手-CN201510778736.6有效
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郭冰亮;董博宇;张军;武学伟;马怀超;徐宝岗;刘绍辉;张鹤南;崔亚欣
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2015-11-13
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2020-06-19
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H01L21/677
- 本发明提供一种装卸手，其包括承托件、压紧件和手柄，其中，承托件包括用于承载托盘的承载面；压紧件包括用于压住托盘的压紧面；手柄包括第一握持部和第二握持部，二者通过转动副连接，第一握持部与承托件连接，第二握持部与压紧件连接，并且承托件和压紧件位于转动副的一侧，而第一握持部和第二握持部位于转动副的另一侧；通过开合第一握持部和第二握持部，使压紧件与承托件相互分离，或者使压紧件与承托件夹持托盘；在压紧件上设置有弹性组件，用于在压紧件与承托件夹持托盘时，向托盘施加将其压紧在承托件上的弹力。本发明提供的装卸手，其可以夹持不同厚度的托盘，从而可以扩大应用范围，满足设备对不同厚度的托盘进行取放的需求。
- 装卸
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