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[发明专利]半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质-CN202110151133.9有效
发明人：陈鲁;王彦彦;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体处理设备、半导体处理设备的使用方法、及非易失性计算机可读存储介质。半导体处理设备包括设有开口的处理腔室、位于处理腔室内的激光器、及设于开口处的遮挡件，遮挡件设置在开口处并能够调节开口的开合度。半导体处理设备的使用方法包括：获取开口的开合度；及当开口的开合度超过预设的安全阈值时，降低激光器的输出功率或激光器停止发光。本申请实施方式的半导体处理设备及半导体处理设备的使用方法中，激光器与开口的开合度关联，当开口的开合度超过预设的安全阈值时，可降低激光器的输出功率，或激光器停止发光。如此，无论开口的开合度处于任何状态，均能够保护开口处的操作人员的眼睛安全。
半导体处理设备使用方法存储介质

[发明专利]一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置-CN202310468962.9在审
发明人：李楠;刘欣;王爽;王馨莹;林涛;李军;张朝前 -专利权人：北京兆维电子（集团）有限责任公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，包括照明单元、无限远成像单元和相机单元；所述照明单元包括光源，从光源至检测目标产品的光路方向依次设有第一透镜、可调光阑、第二透镜和滤光片轮；所述无限远成像单元包括成像筒镜和无限远显微物镜，从检测目标产品至相机单元的光路上依次设有所述无限远显微物镜和成像筒镜。采用本发明，能够在非接触的情况下对晶圆表面进行快速扫描，通过高分辨率图像分析，识别出晶圆表面的缺陷，包括裂纹、划痕、斑点、气泡等，提高了晶圆宏观缺陷的检测速率和准确率。
一种用于宏观缺陷检测显微装置

[发明专利]一种用于高精密光学系统的平行光调试装置及方法-CN202310227272.4在审
发明人：王爽;刘欣;王馨莹;李楠;林涛;李军;张朝前 -专利权人：北京兆维智能装备有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明提供一种用于高精密光学系统的平行光调试装置及方法，光源通过光学模组在第一位置处的参考屏上形成第一光斑，光斑块采集系统通过第一光斑得到第一光斑直径，同时移动光斑采集系统与参考屏，且保持二者相对位置不变，光源通过光学模组在第二位置处的参考屏上形成第二光斑，光斑块采集系统通过第二光斑得到第二光斑直径，光斑块采集系统比对第一光斑直径和第二光斑直径的差异值，根据差异值得到高精密光学系统出射光束是否平行的信息。本发明通过光斑块采集系统比对第一光斑直径和第二光斑直径，来判断两个位置光斑大小是否有变化，能够快速、定量的判断光源的光束是否为平行光，且成本低。
一种用于精密光学系统平行调试装置方法

[发明专利]一种螺栓联接结构的松动试验装置及其使用方法-CN201710288241.4有效
发明人：朱旻昊;刘建华;杜永强;蔡振兵;彭金方;马利军;张朝前;周俊波;刘学通;李荆 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种螺栓联接结构的松动试验装置及其使用方法，其包括上夹具、下夹具和测试传感系统；上夹具包括上连接板，设置在上连接板上的定位对中组件，以及分别设置在上连接板上端和右端的上夹持端和右夹持端；下夹具包括下连接板，以及分别设置在下连接板下端和左端的下夹持端和左夹持端；上连接板与所述下连接板上设置有互相重合的螺栓槽。本发明可实现多模式(偏心、扭转、轴向交变和剪切交变载荷)作用下螺栓联接结构的松动试验，其结构简单，易操作，造价低廉，同时其控制与测试的精度高，试验数据准确可靠，能够方便易行地为螺栓联接结构的设计与使用提供试验依据，从而更有效的提高螺栓联接结构的可靠性。
一种螺栓联接结构松动试验装置及其使用方法

[发明专利]晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质-CN202011637862.7有效
发明人：陈鲁;李少雷;马砚忠;张朝前;王兵;王彦彦;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质，所述晶圆检测方法应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置包括转动组件与至少一个检测单元，所述晶圆检测装置控制所述转动组件按照预设角度间隔转动，以获取所述转动组件的转动角度及所述检测单元的测量信息；根据所述测量信息确定相邻的转动角度对应的第一距离变化量；根据所述第一距离变化量确定所述晶圆在所述晶圆传输盒中的放置信息。本申请能够避免当晶圆在晶圆传输盒中放置异常时，移动检测单元对晶圆造成损坏，解决了现有技术中晶圆的检测效率低且容易造成晶圆损坏的问题。
检测方法装置计算机可读存储介质

[发明专利]承载装置、检测设备及承载装置的使用方法-CN202110739168.4在审
发明人：陈鲁;卢继奎;马砚忠;张朝前;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请提供一种承载装置、检测设备及使用方法。承载装置包括承载部及吹气部。承载部包括承载组件，承载组件用于支撑工件边缘以使工件固定于承载组件的承载面。吹气部与固定于承载面的工件的顶面形成第一腔室，吹气部设有第一气孔，第一气孔用于向第一腔室吹气，第一腔室具有出气口，出气口用于排出第一腔室中的气体，使工件的中心区域形成涡旋气流。本申请的承载装置中，利用吹气部的第一气孔朝第一腔室吹气，并使第一腔室内的气体从出气口排出，使得工件顶面的中心区域形成涡旋气流，使该中心区域范围内的气压小于承载装置外部的气压，工件的顶面和底面两侧存在气压差，避免工件的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件具有良好的平整度。
承载装置检测设备使用方法

[发明专利]固定装置及使用方法-CN202110745312.5在审
发明人：陈鲁;卢继奎;马砚忠;张朝前;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开一种固定装置及使用方法，所述固定装置包括吸盘和泄气通道；所述吸盘设有多个主气腔，所述多个主气腔通过所述泄气通道泄气；所述吸盘设有多组注气孔，每个所述主气腔各自与一组注气孔孔连通，所述注气孔连通供气设备，通过供气设备向所述主气腔供气，根据待测物的尺寸选择向不同的主气腔供气。采用本方案，固定状态下，待测物背面不会被固定装置大面积地接触到，并且一套固定装置可以固定不同尺寸的待测物，且可以灵活选择给全部主气腔充气或者仅给部分主气腔充气，避免了小尺寸的待测物受到外围主气腔的气流干扰而出现固定不稳的情况。
固定装置使用方法

[发明专利]一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备-CN202010673791.X有效
发明人：陈鲁;王秋实;张朝前;季鹏;王南朔;何柳;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备，发光装置包括光源模块和光阑组件，光源模块向待测样品出射测量光，至少部分测量光透过光阑组件上的透光孔后照射到待测样品表面形成光斑，由于光阑组件被配置为连续调节所述光斑的尺寸，因此，可以采用尺寸较小的光斑对待测样品表面的微结构进行测量，提高微结构测量的精度，采用尺寸较大的光斑对待测样品表面的大尺寸结构进行测量，提高测量的速度，进而能够对待测样品表面多种尺寸的结构进行高速高精度的全自动测量，指导待测样品表面膜层的生长，有效地提高待测样品表面膜层的良率。
一种发光装置及其光斑调整方法检测设备

[发明专利]基于CATIA软件的转向架建模系统及方法、存储器-CN202110467633.3有效
发明人：杨欣;赵长龙;周君锋;李贵宇;张朝前 -专利权人：中车青岛四方机车车辆股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G06F30/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于CATIA软件的转向架运动学建模系统及方法、存储器，该方法包括构建构架组件模型和相对构架具有相对运动关系的构件模型；根据预存的空间自由度公式df＝6*n‑k1‑k2＝0，对各构件模型和构架组件模型的连接位置匹配运动副；在各构件模型和构架组件模型至少其中一者加载相应运动参数，模拟转向架相应零部件的运动轨迹；本发明将转向架拆分成主动、从动两大部分，通过定义各连接点的运动副模拟实际的相对运动，并且重新定义了计算各构件的空间自由度公式，实现利用CATIA软件建立转向架模型并实现转向架运动空间仿真模拟，该仿真方法快速、准确，并且该仿真结果可以用于指导转向架前期设计，提高转向架设计的精准性，进而提高轨道车辆的整体性能。
基于 catia 软件转向架建模系统方法存储器

[发明专利]控制方法和检测装置-CN202110325990.6在审
发明人：陈鲁;王彦彦;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制方法和检测装置，检测装置包括腔体、移动组件、承载组件和至少两个测距传感器，腔体形成有腔室，移动组件位于腔室内，承载组件连接移动组件，移动组件用于驱动承载组件移动，承载组件包括吸盘，至少两个测距传感器安装在吸盘的预设位置，控制方法包括：通过至少两个测距传感器检测吸盘和腔室内壁之间形成的第一距离；在第一距离小于预设距离的情况下，获取吸盘的移动速度；根据吸盘的移动速度，确定对吸盘进行调节的调节速率；根据调节速率对吸盘进行调节。上述控制方法可降低吸盘和其吸附的晶圆受到损坏的风险。
控制方法检测装置

[发明专利]一种表面等离激元驻波的激发装置-CN201910916516.3有效
发明人：刘虹遥;张朝前;路鑫超;孙旭晴;江丽雯;魏茹雪;王畅 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明提供了一种表面等离激元驻波的激发装置，该激发装置，以高数值孔径物镜中平行光束产生传输表面等离激元的方式为基础，通过所述相干光调节单元对两束相干光的调节，以使两束相干光对同一区域的金属膜以同角度、不同方向入射光激发相干传输表面等离激元。其与传统的激发方式相比较，该表面等离激元驻波激发装置具有分布范围大、成本低和易控制等优势，在应用方面有明显优势。
一种表面离激元驻波激发装置

[发明专利]检测方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质-CN202111658649.9在审
发明人：陈鲁;王兵;李少雷;马砚忠;张朝前;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：控制传动件带动扫描件在第一原点位置和第二原点位置之间移动，以扫描待测件。本申请检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质中，传动件可带动扫描件在第一原点位置和第二原点位置之间移动，以扫描待测件。即，在传动件带动扫描件从第一原点位置移动至第二原点位置，或传动件带动扫描件从第二原点位置移动至第一原点位置过程中，扫描件都可扫描待测件。如此，扫描件扫描待测件的方式可以为多种，从而提高了扫描效率。
检测方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]处理设备及工件的处理方法-CN202110148827.7在审
发明人：陈鲁;张朝前;马砚忠;王南朔;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供一种处理设备及工件的处理方法。该处理设备包括加热气路系统。该加热气路系统用于对工件的待清洁区吹扫加热气体，所述加热气体用于对待清洁区进行加热，并通过吹扫去除待清洁区的污染层。本申请的处理设备及工件的处理方法中，加热气路系统能够对工件的待清洁区进行加热处理，并通过吹扫加热气体去除待清洁区的污染层，加热气体可以抑制气体环境中的污染源附着在工件的待清洁区的表面，防止污染层重新生长，从而保证处理设备的处理精度。
处理设备工件方法

[实用新型]固定装置-CN202121489916.X有效
发明人：陈鲁;卢继奎;马砚忠;张朝前;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种固定装置，所述固定装置包括吸盘和泄气通道；所述吸盘设有气腔，所述气腔通过所述泄气通道泄气；所述吸盘设有与所述气腔相通的检压孔，所述检压孔连通检压设备，通过检压设备检测所述气腔内部的压力；所述吸盘设有与所述气腔相通的注气孔，所述注气孔连通供气设备，通过供气设备向所述气腔供气。采用本方案，固定状态下，待测物背面不会被固定装置大面积地接触到，并且，可以根据气腔的内部压力灵活调节吸盘作用在待测物上的吸附力的大小，从而能实现稳固固定且不会因吸附力过大而损伤待测物，并且，可以独立调节不同气腔的内部压力，从而能使待测物不同区域所受的吸附力趋于一致，避免待测物弯曲变形。
固定装置

[发明专利]一种晶圆检测装置-CN202011551054.9在审
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;王兵;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种晶圆检测装置，包括驱动件、用于承载晶圆传送盒的固定台和用于收发检测信号的检测件，固定台上设有缺口位，检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧，驱动件连接检测件或固定台，以沿上下方向驱使检测件与固定台发生相对运动。利用缺口位与检测件之间的对位关系以及在驱动件的驱动作用下，使得检测件与固定台沿单一的上下方向进行相对运动，在检测件经由缺口位进入晶圆传送盒内后，即可逐一地对晶圆传送盒内的晶圆进行扫描检测，以同步完成诸如放置位置是否正确、是否存在叠片、计数统计等项目，无需在每进行一次检测作业前对检测件进行位置调试，从而通过简化准备流程，可为有效提高检测效率创造条件。
一种检测装置

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