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- [发明专利]蜂窝形状等离子体自由基清洗系统-CN201010212169.5无效
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王守国;韩传宇;赵玲利;张朝前
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中国科学院微电子研究所
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2010-06-29
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2012-01-11
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B08B5/02
- 蜂窝形状等离子体自由基清洗系统,包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统,其特征为:一个等离子体发生器固定在一个机械手上,该等离子体发生器是在一个壳体内由彼此绝缘的上电极和下电极构成,该上电极是安装在一个绝缘板上并由多个被绝缘介质包覆的柱状电极构成,该下电极是一个设有蜂窝状孔的金属电极,该上下电极之间设有一个进气舱,上电极中的每个柱电极是穿过进气舱并插在下电极的蜂窝孔中,并与蜂窝孔形成一定的放电间隙,该放电间隙贯通进气舱,该进气舱通过气体导管与高压气源连接,等离子体是在蜂窝孔间隙中产生,并在气体压力带动下,由下电极蜂窝喷口喷射到放置在旋转底盘表面的硅片上,来去除硅片表面的光刻胶以及有机污染物。
- 蜂窝形状等离子体自由基清洗系统
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