“小艾睦典”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果13个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统-CN201880079395.5有效
发明人：堀川和俊;根桥徹;町田秀和;下石坂望;原田章弘;落石将彦;大和义昭;轻部浩树;小艾睦典;篠原努 -专利权人：日本肯耐克科技株式会社;株式会社富士金
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B25B23/14 文献下载
摘要：提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。
工具作业管理装置方法以及系统

[发明专利]流体控制装置-CN201380021762.3有效
发明人：稻田敏之;松田隆博;小艾睦典 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2013-04-17 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：提供一种能够削减部件数量且能够容易地进行列数增减等变更的流体控制装置。作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的多列用(3列用)通路块(21)。多列用通路块(21)跨越3列地支承流量控制器(16)的入口侧伸出部(16b)及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀(14、15)。在多列用通路块(21)内设有用于将串联排列的流体控制设备的通路彼此连通的纵向通路；和用于将相邻列的流体控制设备彼此连通的横向通路。
流体控制装置

[发明专利]集成型气体供给装置-CN201380057366.6在审
发明人： 小艾睦典;广濑隆;山路道雄;松田隆博 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： G05D7/00 文献下载
摘要：本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
集成气体供给装置

[发明专利]清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置-CN201380001709.7有效
发明人：余湖隆司;四方出;小艾睦典;牧野惠;松田隆博 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。
清洗管线变更通路接头以及流体控制装置

[发明专利]止回阀-CN201280028298.6有效
发明人：池田隼也;小艾睦典;牧野惠;稻田敏之 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： F16K15/02 文献下载
摘要：本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。
止回阀

[发明专利]流体控制器-CN201080038633.1有效
发明人：赤本久敏;小艾睦典 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2010-08-24 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种提高了部件更换以及分解清洗等的维护性的流体控制器。具有：阀体组件(2)，是包括多个部件的组装体，包括两个阀芯以及保持阀芯的阀体(11)；执行器组件(3)，是包括多个部件的组装体，包括两个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的两个阀杆(33、34)，分别预先组装的阀体组件(2)和执行器组件(3)通过组件彼此结合用螺纹机构(4)以能够分解的方式结合。
流体控制器

[发明专利]流体控制装置-CN200980157836.X有效
发明人：广濑润;手塚一幸;内田阳平;小艾睦典;松田隆博;土肥亮介;西野功二;池田信一 -专利权人：东京毅力科创株式会社;株式会社富士金
申请日： 2009-11-06 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
流体控制装置

[发明专利]流体控制器-CN200880006829.5有效
发明人： 小艾睦典 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2008-01-15 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： F16K17/04 文献下载
摘要：本发明提供一种不影响压力控制动作的、提高了防振性的流体控制器。由于作用于隔膜(10)上的流体压力与基于压力设定弹簧(13)的弹性力的平衡的变化，阀体(4)相对于阀座(3)移动，从而控制流体的压力。在与隔膜(10)成为一体地移动的圆盘状可动部件(12)上配置有防振部件(17)，防振部件(17)的壳体中内置有被夹设在弹性体之间的配重。
流体控制器

[发明专利]压力传感器装置、以及内置压力传感器的流体控制仪器-CN200780002920.5无效
发明人：四方出;牧野惠;小艾睦典;塚田真盛;相泽十兵卫 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2007-01-24 - 公布日： 2009-02-18 - 主分类号： G01L19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器装置以及内置压力传感器的流体控制仪器，能够实现进一步的紧凑化，并且，使压力传感器的单独更换容易的集成化流体控制装置成为可能。压力传感器装置(21)具有：第1通路块(22)，在该第1通路块上形成有规定的通路(22a)；第2通路块(23)，在该第2通路块上形成有规定的通路(23a)，且第2通路块(23)与第1通路块(22)隔开规定间隔地相对；压力传感器(24)，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一方的通路块(23)的相对面上，检测其内部通路(23b)的流体压力，该压力传感器装置(21)与压力调整器(16)一体化。
压力传感器装置以及内置流体控制仪器

[发明专利]流体控制装置-CN200680033311.1无效
发明人： 小艾睦典 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2006-07-21 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种没有死区容积的流体控制装置。流体通路包括环状通路部(L)、从环状通路部(L)的规定部位(P1、P2、P3)分别与第一入口(A1)、第二入口(A2)和公用出口(A3)连通的第一入口通路部(B1)、第二入口通路部(B2)和公用出口连通部(B3)连接。分别设置开闭第一入口通路部(B1)的第一开闭阀(V1)和开闭第二入口通路部(B2)的第二开闭阀(V2)。从第一入口(A1)流入并到达环状通路部(L)的第一流体和从第二入口(A2)流入并到达环状通路部(L)的第二流体的任何一种流体都在环状通路部(L)分成两股，然后从公用出口A3排出。
流体控制装置

[发明专利]带传感器的连接部件-CN200580031067.0无效
发明人：筱原努;山路道雄;田中林明;小艾睦典;峰一郎;德田伊知郎;坪田宪士 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2005-08-26 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： F16L25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件，该连接部件能够抑制零件数量的增加，并且，可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有：形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41)，和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
传感器连接部件

[发明专利]流体控制装置-CN200380100714.X无效
发明人：望月靖哲;牧野惠;小艾睦典 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2003-10-31 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制装置。其主体(2)由中央通道部件(11)、和侧通道部件(12)(13)构成。各开闭阀(5)(6)横跨中央通道部件和一侧的侧通道部件而可以装卸地安装。在中央通道部件上，仅与辅助气体入口(23)相同数目地设有由1条公共通道(22a)和(2)条支路(22b)(22c)构成的Y字通道(22)。Y字通道(22)的公共通道(22a)的开口被作为辅助气体入口(23)，并且使Y字形通道(22)的各支路(22b)(22c)分别通向各开闭阀(5)(6)的入口端口，通过这种方式形成了次气体流入通道。主气体通道(18)和主通道侧连通道(19)形成于一侧通道部件(12)内，排气气体通道(20)和排气气体通道侧连通道(21)形成于另一侧的侧通道部件(13)内。
流体控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置的孔板堵塞检测方法及其检测装置-CN99801434.6有效
发明人：大见忠弘;饭田精一;加贺爪哲;广濑润;西野功二;池田信一;山路道雄;土肥亮介;吉川和博;小艾睦典;宇野富雄;出田英二;广濑隆 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社
申请日： 1999-08-09 - 公布日： 2003-07-16 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：对于使用孔板的流量控制装置，可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞，可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是，在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC＝KP1(K：常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中，其堵塞检测装置由：储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M，在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14，对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU，以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
压力流量控制装置堵塞检测方法及其

1
共 13 条