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[发明专利]一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法-CN202310586492.6有效
发明人：刘海彬;刘广齐;刘冬梅;王勇;王强;董纯洁;尹诚诚;董治祥 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的不能自动调整传感器间距，难以高效兼容不同尺寸晶圆的技术问题。该多尺寸兼容晶圆扫描装置包括间距调节机构，间距调节机构包括壳体、设置在壳体上的驱动组件、洁净直线导轨和两个洁净滑块，洁净直线导轨的长度方向与洁净绳轮的公切线方向平行，两个洁净滑块均连接在洁净钢绳上，且连接点分别位于两个洁净绳轮中心线的两侧；对射传感器包括发射端和接收端，发射端和接收端分别通过探杆连接在两个洁净滑块上。本发明用于提供一种能够自动调整传感器间距，能够兼容不同尺寸晶圆且能够间歇除尘的多尺寸兼容晶圆扫描装置。
一种尺寸兼容圆扫描装置方法

[发明专利]一种可调的加热空吹机构-CN202211400903.X在审
发明人：温雷;尹诚诚;徐大龙 -专利权人：天津温阳生物技术有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种可调的加热空吹机构，属于化工设备技术领域，包括箱体、驱动组件、加热组件、空吹组件以及供气组件，所述空吹组件设置在所述箱体内部，用于向溴液中输送热空气，所述驱动组件安装在所述箱体侧壁上，用于带动所述空吹组件转动，以驱使经由所述空吹组件输出的热空气充盈整个所述溴液中，所述加热组件一端与所述供气组件相连，另一端延伸至所述箱体内部并与所述空吹组件连通，用于对由所述供气组件输送至所述空吹组件内部的空气进行加热。本发明实施例相较于现有技术，能够将溴单质快速的从溴液中吹出，具有热空气利用效率高以及溴单质转换效率高的优点。
一种可调加热机构

[发明专利]一种食品检测用震荡机构-CN202211399837.9在审
发明人： 尹诚诚;温雷;赵健晖 -专利权人：天津温阳生物技术有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B01F35/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种食品检测用震荡机构，属于食品检测技术领域，包括支架、承托组件、围撑组件、下压组件、搅拌组件以及驱动组件，所述围撑组件活动设置在所述支架内侧，用于对试管提供支撑，所述承托组件安装在所述围撑组件一侧，用于对所述试管底部进行承托，所述下压组件安装在所述围撑组件另一侧，用于对试管口进行密封，并对所述试管施加朝向所述承托组件的压力。本发明实施例相较于现有技术，能够实现试管的往复运动，以实现食品的反复震荡，同时配合搅拌组件对食品的反复搅拌作用，可提高食品的震荡效果，进而提高食品的稀释效果以及稀释效率。
一种食品检测震荡机构

[实用新型]一种装载台-CN202121013367.9有效
发明人： 尹诚诚;刘广齐;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种装载台，涉及半导体技术领域，解决了仅适用于单一规格晶圆盒，不兼容，机动性差的技术问题。该装载台，包括机架和定位治具，机架，作为承载结构，顶部设置有用于放置晶圆盒的片盒平台；定位治具，设置在片盒平台上，数量为至少两套，每套定位治具的规格不同，用以分别定位不同规格的晶圆盒；还包括片盒自动识别传感器、可升降的设置在片盒平台上的Mapping传感器。本实用新型通过设置多套定位治具，分别用于固定不同规格的晶圆盒，使得装载台具有可随时切换不同尺寸晶圆的特点，提高用户的体验，兼容性强，同时减少的结构上的成本。
一种装载

[实用新型]一种丝杠洁净化装置-CN202121013964.1有效
发明人： 尹诚诚;刘广齐;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： F16H25/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种丝杠洁净化装置，涉及半导体技术领域，解决了丝杠暴露在空气中易将油污甩出污染半导体产品的技术问题。该丝杠洁净化装置包括挡罩和排风组件，挡罩设置在丝杠甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件设置在挡罩旁侧，且其抽风口正对挡罩的开口处。本实用新型通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
一种洁净化装

[实用新型]一种晶圆盒装载台-CN202121013370.0有效
发明人： 尹诚诚;刘广齐;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆装载台，涉及半导体技术领域，解决了突出晶圆需人工介入处理、费时费力的技术问题。该晶圆装载台包括机架，装载平台、晶圆突出归位机构和平台升降传动机构，装载平台通过平台升降传动机构活动设置在机架上，以在接盒位和接晶圆位之间移动；晶圆突出归位机构设置在机架上且位于接盒位旁侧；还包括激光型扫描机构、Z向抱死机构。本实用新型通过晶圆突出归位机构能够实现装载过程中晶圆凸出后的晶圆自动归位，无需人工介入，方便快捷，自动化水平高，效率高。
一种盒装

[实用新型]一种晶圆搬运机械手-CN201921153647.2有效
发明人： 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B25J15/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种晶圆搬运机械手，包括旋转夹持组件以及用于驱动旋转夹持组件转动的旋转电机，旋转夹持组件包括轴承组件，轴承组件的内壁安装有滚珠花键；滚珠花键包括花键轴以及滚动安装在花键轴外壁的花键外筒，旋转电机用于驱动花键外筒旋转，花键外筒上安装有随花键外筒同步旋转并用于支撑晶圆内端侧壁的固定手指以及用于支撑晶圆外端侧壁的夹持手指，花键轴上连接有用于推动夹持手指水平移动的夹持气缸；且旋转电机上连接有编码器，编码器电性连接有控制器，控制器电性连接旋转电机和夹持气缸，本实用新型可完成各个角度的无级式转动，采用非接触的夹紧搬运方式，提高翻转精度和稳定性。
一种搬运机械手

[实用新型]一种半导体用机械手-CN201921163694.5有效
发明人： 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种半导体用机械手，包括用于提供Z向直线运动的Z轴模组、用于提供旋转动作的θ轴模组、以及用于提供X方向直线运动的X轴模组、以及V轴模组，X轴模组上设置有两组X轴驱动装置，V轴模组包括单手指模组和多手指模组，单手指模组和多手指模组分别与一组X轴驱动装置相连，多手指模组包括手指驱动组件，手指驱动组件的输出端连接有斜导向组件，斜导向组件连接有滑块组件，滑块组件连接有由五个晶圆搬运机械手构成的多手指组件，可实现五指和单指手指交替使用，也可实现五指指间距无级变化，使用起来更灵活，适应于半导体行业内不同晶圆片搬运的工艺需求。
一种半导体机械手

[实用新型]一种半导体晶圆末端执行器-CN201921165728.4有效
发明人：王强;周卫国;刘冬梅;高勇;韩晓乐;徐贺;尹诚诚 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B25J15/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种半导体晶圆末端执行器，包括用于固定晶圆的前夹爪模块和后夹爪模块，还包括双滑块直线导轨以及用于驱动双滑块直线导轨上的两个滑块相向运动的同步带机构，所述前夹爪模块和后夹爪模块一一对应地固定于双滑块直线导轨的两个滑块上并随同步带机构的运动而运动；本实用新型通过同步带机构带动双滑块直线导轨上的两个滑块保持距离一直但方向相反的相向运动，使得无论晶圆尺寸在精度范围境内如何变化都可以保证抓取晶圆的中心位置是一致的，消除了晶圆尺寸变化所带来的中心定位精度变化问题，在部分不需要定位缺口的工艺中，省去了校准器模块的应用。
一种半导体末端执行

[实用新型]一种双臂夹持洁净机械手-CN201921203972.5有效
发明人： 尹诚诚;徐贺;周卫国;刘冬梅;王强 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体，所述机械手主体顶部设置有两个机械臂，两个所述的机械臂上下依次设置，所述机械臂包括用于夹持晶圆的手指组件和与所述手指组件相连并驱动所述手指组件运作的腕部组件，所述腕部组件包括中空的密封外壳，所述密封外壳内设置有夹持传感器、松持传感器和检片传感器，所述手指组件包括固定手指和运动手指，所述固定手指和运动手指上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫，所述机械手主体上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘和接水盘，所述遮水盘固定在所述机械手主体顶部，所述接水盘设置于所述手指组件的正下方，能够提高工作效率，增强防水性能提高工件搬运过程中的稳定性。
一种双臂夹持洁净机械手

[实用新型]一种晶圆搬运机械手-CN201921152498.8有效
发明人： 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种晶圆搬运机械手，包括翻转机构以及驱动所述翻转机构进行旋转的动力机构组件，所述动力机构组件的一端输出轴上连接有手指连接件，所述手指连接件内设有第一轴，所述翻转机构设有第二轴；所述第一轴和第二轴通过双轴承模组压紧在所述动力机构组件的输出轴上；且所述动力机构组件的另一端输出轴上连接有码盘编辑器，所述码盘编辑器电性连接有控制板，所述控制板电性连接所述动力机构组件，本实用新型增加了翻转功能，能适应更多的搬运工况；利用码盘编辑器实现翻转位置的实时监控，确保翻转精度；其高度模块化设计大大提高了翻转机构更换及维护效率。
动力机构翻转机构编辑器输出轴码盘本实用新型电性连接第二轴第一轴控制板连接件翻转搬运机械手翻转位置高度模块实时监控双轴承模组压紧种晶驱动维护

[发明专利]一种半导体晶圆末端执行器-CN201910664959.8在审
发明人：王强;周卫国;刘冬梅;高勇;韩晓乐;徐贺;尹诚诚 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： B25J15/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种半导体晶圆末端执行器，包括用于固定晶圆的前夹爪模块和后夹爪模块，还包括双滑块直线导轨以及用于驱动双滑块直线导轨上的两个滑块相向运动的同步带机构，所述前夹爪模块和后夹爪模块一一对应地固定于双滑块直线导轨的两个滑块上并随同步带机构的运动而运动；本发明通过同步带机构带动双滑块直线导轨上的两个滑块保持距离一直但方向相反的相向运动，使得无论晶圆尺寸在精度范围境内如何变化都可以保证抓取晶圆的中心位置是一致的，消除了晶圆尺寸变化所带来的中心定位精度变化问题，在部分不需要定位缺口的工艺中，省去了校准器模块的应用。
直线导轨双滑块晶圆滑块半导体晶圆末端执行器同步带机构相向运动后夹爪前夹爪抓取尺寸变化定位缺口方向相反中心定位校准器步带驱动境内应用保证

[发明专利]一种半导体用机械手-CN201910667858.6在审
发明人： 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种半导体用机械手，包括用于提供Z向直线运动的Z轴模组、用于提供旋转动作的θ轴模组、以及用于提供X方向直线运动的X轴模组、以及V轴模组，X轴模组上设置有两组X轴驱动装置，V轴模组包括单手指模组和多手指模组，单手指模组和多手指模组分别与一组X轴驱动装置相连，多手指模组包括手指驱动组件，手指驱动组件的输出端连接有斜导向组件，斜导向组件连接有滑块组件，滑块组件连接有由五个晶圆搬运机械手构成的多手指组件，可实现五指和单指手指交替使用，也可实现五指指间距无级变化，使用起来更灵活，适应于半导体行业内不同晶圆片搬运的工艺需求。
模组手指模导向组件滑块组件驱动组件单手指半导体搬运机械手半导体行业输出端连接机械手工艺需求交替使用手指组件无级变化旋转动作晶圆片单指晶圆两组轴模五指搬运灵活

[实用新型]一种阳极炭块自动清理设备-CN201721790432.2有效
发明人：赵庆才;尹诚诚;赵庆波;李斌;翟美 -专利权人：济南澳海炭素有限公司;肥城昌盛特种石墨有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： C25C3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阳极炭块自动清理设备。一种阳极炭块自动清理设备，包括机架、安装于机架上的阳极炭块驱动装置、阳极炭块清理仓、负压抽吸装置，该阳极炭块清理仓内安装着阳极炭块表面刮削清理装置、炭碗碗孔组清理装置，还包括阳极炭块吹扫净化装置；还包括液压、电器控制装置。本实用新型实现了对经阳极炭块表面刮削清理装置、炭碗碗孔组清理装置清理过的阳极炭块表面上粘附的焦粒、焦粉吹扫净化；实现了阳极炭块清理后表面不再粘附焦粒、焦粉，降低了后续人工阳极炭块清理工作量和劳动强度。
阳极炭块清理装置自动清理设备本实用新型表面刮削清理仓吹扫焦粉焦粒炭碗碗孔电器控制装置负压抽吸装置净化装置驱动装置后表面粘附的粘附工作量净化

[实用新型]一种自动复位冲头-CN201521041316.1有效
发明人：赵庆才;刘德海;尹燕岱;贾宜彬;尹诚诚;赵庆波;翟美;于磊 -专利权人：济南澳海炭素有限公司;肥城昌盛特种石墨有限公司
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B28B1/087 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于模具冲头螺旋体的自动复位冲头，包括冲头轴、冲头压盖，螺旋体，螺旋体具有一个向上开口的盲孔，该盲孔内壁上套接着至少1个轴承，冲头轴穿过该至少1个轴承并套装在该至少1个轴承上，该冲头轴伸出所述至少1个轴承的部分上固结着圆螺母，冲头压盖穿过该冲头轴并使用至少6个螺栓固结于螺旋体的顶面上；所述冲头轴和螺旋体上还设置有冲头自动复位装置。本实用新型实现了螺旋体冲头的自动复位至初始位置，降低了工人劳动强度，缩短了操作时间，提高了生产效率，消除了操作工人的操作危险，延长了螺旋体使用寿命。
一种自动复位

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