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[发明专利]一种退火载盘的制备方法及退火载盘-CN202310873238.4在审
发明人：任娜;冉飞荣;盛况;徐弘毅 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，特别涉及一种退火载盘的制备方法及退火载盘。包括载盘圆环和透光率小于待加工晶圆的载盘晶圆片，载盘晶圆片具有尺寸略大于待加工晶圆工作区域和外侧的载盘圆环区域，将载盘圆环通过粘合层与载盘圆环区域相键合后，形成退火载盘。将载盘圆环设置于工作区域的外侧，避免待加工晶圆与载盘之间的相互滑动，也降低了待加工晶圆在退火时由于气流的影响导致的滑落；同时，待加工晶圆本身具有一定的透光率，热辐射或者红外辐射的能量不能很好的吸收，导致升温速度慢，选用透光率低于待加工晶圆的载盘晶圆片，通过载盘晶圆片吸收热辐射或者红外辐射的能量，再将热量传递给待加工晶圆，从而快速、有效的达到待加工晶圆的退火温度。
一种退火制备方法

[发明专利]一种SiC MOSFET器件及其制备方法-CN202211166305.0有效
发明人：盛况;任娜;冉飞荣;沈华;刘志红 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心;浙江大学;嘉兴斯达半导体股份有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L29/417 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域中的一种SiC MOSFET器件及其制备方法，包括衬底层、外延层、两组以上间隔排列的栅氧结构、第一隔离层、一组以上的第一源极电极层、第二源极电极层和栅极电极层，外延层设置在衬底层的一端面，衬底层的另一端面设置有漏极电极层，栅氧结构设置在外延层远离衬底层的一端面，且每组栅氧结构上设置有第一隔离层，每两组连续的栅氧结构设置为一个单元结构，且仅在每个单元结构内的两组栅氧结构之间设置有注入层和源极层，注入层和源极层内贯穿设置有掺杂层，第一源极电极层设置在外延层远离衬底层的一端面，外延层上还设置有第二隔离层，栅极电极层设置在第二隔离层上，本发明解决了传统SiC MOS管寄生电感较大的问题。
一种 sic mosfet 器件及其制备方法

[发明专利]一种碳化硅半导体欧姆接触退火的方法-CN202210871559.6在审
发明人： 冉飞荣;盛况;任娜 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开一种碳化硅半导体欧姆接触退火的方法，在待加工晶圆表面沉积金属薄膜，然后在晶圆的正背面生长多晶硅，然后将晶圆直接放入快速退火炉进行700～1100℃退火，退火完成后，待晶圆冷却至室温后取出。本发明通过在碳化硅表面形成多晶的方式降低碳化硅晶圆的透光率，使得碳化硅晶圆可以直接吸收快速退火炉中灯管的辐射热量，不需要再依赖石墨或其他吸热介质承载，改善了欧姆接触退火的均一性。
一种碳化硅半导体欧姆接触退火方法

[发明专利]一种基于液氢汽化冷能利用的车载电池与电控冷却系统-CN202111295654.8在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B60L58/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于液氢汽化冷能利用的车载电池与电控冷却系统，属于氢能汽车散热系统。本发明通过在车载汽化器前布置一换热器，使得液氢燃料在汽化前先在该换热器中与冷却系统中的循环水进行充分换热，冷却后的循环水可用于冷却车载电池与电控等发热部件。因此，上述基于液氢汽化冷能利用的冷却系统可有效降低车载冷却系统的冷却功率，提高氢能汽车的行驶里程，达到节能降耗的目的。
一种基于液氢汽化利用车载电池冷却系统

[发明专利]一种带翅片的嵌入式功率芯片微通道热沉-CN202111295803.0在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;杨树东;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L23/473 文献下载
摘要：本发明公开了一种带翅片的嵌入式功率芯片微通道热沉，包括：微通道基板，冷却液进出口基板，冷却液进口，入口缓冲区，缩口段，扩口段，出口缓冲区，冷却液出口等。本发明采用刻蚀工艺，在晶圆上一体化刻蚀出单个功率芯片或多个功率芯片组及带翅片的微通道结构，翅片的存在强化了微通道中的传热，提高了芯片表面的散热能力，进而可提高功率芯片的可靠性和使用寿命。
一种带翅片嵌入式功率芯片通道

[发明专利]一种功率芯片歧管式微通道换热器测试装置-CN202111296112.2在审
发明人：陆军亮;盛况;杨树东;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种功率芯片歧管式微通道换热器测试装置，包括：测试段、石英支承板、盖板、底座。底座前面开有两个压力测量接口，用于测量冷却液进出测试段前后的压力大小。底座背面开有两个温度测量接口，用于测量冷却液进出测试段前后的温度大。底座左侧表面开有冷却液进口，底座右侧表面开有冷却液出口。测试时，冷却液从底座左侧表面的冷却液进口流入，经过测试装置内部的流路分流后从测试段的两侧流入测试段，在吸收测试段的加热量后，再经测试装置内部的流路从底座右侧表面的冷却液出口流出。本发明的测试装置可用于对不同类型的歧管式微通道换热器进行性能测试，以方便科学研究工作的开展。
一种功率芯片歧管式微通道换热器测试装置

[发明专利]一种用于嵌入式功率芯片散热的歧管式微通道结构-CN202111295563.4在审
发明人：陆军亮;盛况;杨树东;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L23/473 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于嵌入式功率芯片散热的歧管式微通道结构，包括：歧管基板，微通道基板，冷却液进口，入口缓冲区，入口段，歧管进液通道，歧管出液通道。本发明采用歧管式微通道结构，缩短了冷却液在微通道中的流动长度，进而降低了冷却液的沿程流动阻力；利用热力入口段效应增强传热系数；采用HU进出口流型提高功率芯片表面均温性，减少热点发生，提高芯片表面的散热能力，进而可提高功率芯片的可靠性和使用寿命。
一种用于嵌入式功率芯片散热歧管式微通道结构

[发明专利]无注入终端的SIC肖特基二极管及其制备方法-CN202111562829.7在审
发明人： 冉飞荣;盛况;任娜;王珩宇 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开无注入终端的SIC肖特基二极管及其制备方法，该SIC肖特基二极管包括N+衬底，N+衬底上生长有N‑外延，N‑外延上有肖特基接触金属及其上方的正面金属电极，N+衬底背面的欧姆接触金属。肖特基势垒的终端设有环形终端沟槽，终端沟槽内设有二氧化硅侧壁，终端沟槽内用多晶填充，正面金属电极边缘设有二氧化硅场板。本发明使用沟槽方式终止肖特基源区，使得终端截止不再依赖反型注入，降低了成本及工艺复杂程度，同时改善了终端电场局部集聚效应。
注入终端 sic 肖特基二极管及其制备方法

[发明专利]一种掺杂碳化硅薄膜方阻测试方法-CN202111562838.6在审
发明人：盛况;冉飞荣;任娜;王珩宇 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明公开一种掺杂碳化硅薄膜表面制备电极实现掺杂碳化硅薄膜方阻测试方法，该方法通过在碳化硅薄膜表面形成独立的欧姆接触电极，探针通过电极测试薄膜的方阻，解决了掺杂碳化硅薄膜与金属探针难以形成欧姆接触的问题。
一种掺杂碳化硅薄膜测试方法

[发明专利]一种基于压缩式制冷的嵌入式功率芯片模块化散热系统-CN202111295647.8在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;杨树东;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L23/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于压缩式制冷的嵌入式功率芯片模块化散热系统，包括：嵌入式功率芯片模块、压缩机、高压油分、冷凝器、电子膨胀阀、气液分离器。本发明通过温度传感器实时监测嵌入式功率芯片模块中各个单个嵌入式功率芯片中制冷剂的进出口温度，由控制器根据计算得到的各个嵌入式功率芯片中制冷剂进出口的温度差值及各个嵌入式功率芯片表面监测到的热点温度值来调节进入嵌入式功率芯片模块中的制冷剂总流量及各个单个嵌入式功率芯片中的制冷剂流量，进而保证嵌入式功率芯片模块中的各个嵌入式功率芯片温升在一定范围内，以使得嵌入式功率芯片模块运行在合理的热状态下，进而提高芯片的可靠性与使用寿命。
一种基于压缩制冷嵌入式功率芯片模块化散热系统

[发明专利]一种光伏能驱动的电网发电、制氢和蓄电耦合系统-CN202111295656.7在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H02J3/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏能驱动的电网发电、制氢和蓄电耦合系统，属于光伏发电制氢系统。本发明利用光伏板收集的太阳能转化为电能，经逆变器系统转化后的电能可接入电网向电网供电、电解水制备氢气或给蓄电池蓄电，进而达到综合高效利用光伏能的目的。上述系统可高效利用白天的光伏能用于向电网供电、制备氢气和给蓄电池蓄电，进而达到降低家庭用电量，减少碳排放。
一种光伏能驱动电网发电耦合系统

[发明专利]一种光伏能驱动的电网发电、车辆充电及热泵热水器耦合系统-CN202111293987.7在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H02J3/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏能驱动的电网发电、车辆充电及热泵热水器耦合系统，属于光伏发电系统。本发明利用光伏板将太阳能转化为电能，经逆变器系统转化后的电能可接入电网、给车辆充电或驱动家用热泵热水器中的压缩机和电动水泵，进而达到综合高效利用光伏能的目的。上述系统可有效降低家庭用电量，节省用电开支，减少碳排放。
一种光伏能驱动电网发电车辆充电热水器耦合系统

[发明专利]一种用于优化水源二氧化碳热泵系统运行的电子膨胀阀控制方法-CN202111294081.7在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： F25B9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于优化水源二氧化碳热泵系统运行的电子膨胀阀控制方法，水源二氧化碳热泵系统跨临界运行时存在一个最优的气冷器压力，在该压力下，系统性能系数达到最优。本发明根据设定的气冷器进、出水温度及蒸发器进水温度，依据相应的目标函数，通过PID控制器计算结果来控制水源二氧化碳热泵系统内的电子膨胀阀过热度，使得在不同的气冷器进、出水温度及蒸发器进水温度下，热泵系统始终运行在最佳性能系数状态，以达到节能的目标。
一种用于优化水源二氧化碳系统运行电子膨胀控制方法

[发明专利]一种基于液氢冷能回收技术与热泵技术相耦合的氢能汽车空调系统-CN202111295811.5在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： B60H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于液氢冷能回收技术与热泵技术相耦合的氢能汽车空调系统，属于氢能汽车系统。本发明通过在车载液氢储罐与汽化器之间布置一换热器，使得液氢在进入汽化器之前，在该布置的换热器中将冷能用于冷却系统循环水，经该换热器冷却后的循环水可用于冷却乘座舱内空气，进而调节车内空气温度，降低车载冷却系统的压缩机功率。因此，上述系统可有效回收液氢的冷能，降低氢能汽车的能耗，提高行驶里程。
一种基于液氢回收技术耦合汽车空调系统

[发明专利]一种立式径向流吸附器-CN202111055375.4在审
发明人：陆军亮;盛况;吴赞;任娜;王珩宇;钟浩;冉飞荣;陈浮;熊丹妮;成骥;韦丽明;史培丰;杨树东;杨嘉帆;刘永坤 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式径向流吸附器，包括筒体、下封头、上封头，下封头上设置有气体进气管，上封头上设置有气体出气管和吸附剂的装入口。在吸附床层和容器轴线间布有一两端开口的圆筒形隔板，该圆筒形隔板用来限制径向穿过床层轴向高度H以上区域内的空气，使其在流出吸附床层后沿圆筒形隔板形成一个Π形流动；其它区域空气保持原来的Z形流动。本发明实现了床层内部具有混合流动形式的立式径向流吸附器，且其所具有的可视化结构可外接粒子图像测速系统，以对其内的空气流速分布进行测量，实现气流径向均匀分布，空气在这种结构内部流动其流场会更加均匀，使得吸附剂利用率提高，相比于常规立式径向流吸附器具有更大的优越性。
一种立式径向吸附

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