专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案晶圆的正面保护方法-CN202310273053.X在审
  • 任娜;成骥;盛况;徐弘毅 - 浙江大学杭州国际科创中心
  • 2023-03-15 - 2023-07-14 - H01L21/683
  • 本申请涉及图案晶圆的正面保护方法。该方法包括如下步骤:提供图案晶圆;在所述图案晶圆的正面贴覆保护层,得到待加工件;所述保护层用于直接接触所述图案晶圆的一侧配置为具有粘性及弹性形变特性,所述保护层上背离所述图案晶圆的一侧配置为光滑表面;将所述待加工件上设置有保护层的一侧放置于激光加工平台;对所述图案晶圆的背面进行激光退火处理;将所述保护层撕离,得到洁净状态的图案晶圆。采用本申请的图案晶圆的正面保护方法,在对图案晶圆的背面在进行激光退火时,图案晶圆的正面不会被磨损或破坏。
  • 图案正面保护方法

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