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- [实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的加工装置-CN201621419747.1有效
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仇凯弘;侯想
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福建中晶科技有限公司
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2016-12-23
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2017-07-21
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H01L33/00
- 本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座，所述底座安装有第一气缸和第一连接柱，第一气缸位于第一连接柱的一侧，第一气缸远离第一连接柱的一侧设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有夹持固定装置，第一气缸的活塞杆焊接有夹持固定装置装置，所述夹持固定装置包括固定块，固定块上开有第二凹槽，第二凹槽内设有第一夹持块和第二夹持块，第一夹持块和第二夹持块的截面均为L形，第一夹持块的侧壁底端开有第三凹槽，第三凹槽内设有第二气缸，第二气缸的输出轴连接有第二夹持块，第二夹持块的底端侧壁与第三凹槽的侧壁滑动连接。本实用新型结构简单，稳固性高，蓝宝石衬底的抛光效果好。
- 一种图形蓝宝石衬底加工装置
- [发明专利]一种复合图形化衬底的制备方法-CN201710253271.1在审
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仇凯弘;侯想
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仇凯弘
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2017-04-18
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2017-07-18
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H01L33/20
- 本发明公开了一种复合图形化衬底的制备方法，包括以下步骤S1制备蓝宝石基础衬底；S2在S1步骤中制备的蓝宝石基础衬底表面固定支撑体，再在支撑体表面镀金属合金层，去除氧化膜，去除支撑体，即得空腔结构的蓝宝石衬底；S3在蓝宝石衬底的空腔中填充纳米复合材料，同时在金属合金层外表面形成AlN层；S4在AlN层上进行光刻胶、坚膜以及两次ICP刻蚀处理；S5清洗掉剩下的光刻胶，即得复合图形化衬底。本发明提出的制备方法简单、易操作，制得的复合图形化衬底晶体质量高，光的出射强，衬底整体的重量轻，生产成本低，基础衬底与GaN材料的温差小，晶体的性能稳定，晶格失配率低，MOCVD的使用效率高。
- 一种复合图形衬底制备方法
- [实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置-CN201621417113.2有效
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侯想;仇凯弘
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福建中晶科技有限公司
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2016-12-22
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2017-06-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置，包括壳体，所述壳体为空腔结构，壳体的顶端设有进料口，所述进料口的一侧内壁铰接有顶盖，所述壳体的顶端内壁上安装有引料架，所述壳体的底端内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板的顶端通过定位销安装有清洗座，所述清洗座上设有第一通孔，所述清洗座的顶端分别设有弧形的放置槽和挡板，所述清洗座的一侧开设有滑槽，所述支撑板靠近清洗座的一侧设有凹槽，所述凹槽内设有导流板，所述导流板上设有第二通孔，所述支撑板的底端和壳体的底端均设有相互连通的出料口，所述壳体内还设有滑动杆。本实用新型设计布局合理，减轻对蓝宝石衬底的损伤，清洁效果显著，同时有效提高清洗质量。
- 一种图形蓝宝石衬底酸碱清洗装置
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