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[实用新型]一种复合图形化蓝宝石衬底及LED芯片-CN202320013767.2有效
发明人：侯想;刘熠新;钟梦洁;卢文瑞;林赛;蔡琦;肖钱枚;熊彩浩 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L33/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种复合图形化蓝宝石衬底及LED芯片，属于发光二极管技术领域。其主要针对进一步提高LED光亮度的问题，提出如下技术方案，包括蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底的顶部有周期性分布的高反射薄膜与SiO2层所构成的图形，且图形化的蓝宝石衬底的顶部生长有N‑GaN，所述N‑GaN的内部具有多个空腔，所述N‑GaN的顶部设置有通过5‑10个周期In0.2Ga0.8N/GaN量子阱构成的有源区与用于联通电源的P型电极。本实用新型通过将光疏介质中的SiO2介质替换成空气介质，不仅缩小了光反射时所需要的射入角度，且使得氮化镓外延层不会被挤压产生应力，进而实现对LED芯片光亮效果的增强，且本产品的改进方式简单，可以快速投入生产，可行性较高。
一种复合图形蓝宝石衬底 led 芯片

[实用新型]一种氮化铝与氮化镓复合衬底-CN202222170608.1有效
发明人：侯想;刘熠新;钟梦洁;王瑞敏;熊彩浩;蔡琦;林赛 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及复合衬底技术领域，尤其涉及一种氮化铝与氮化镓复合衬底。其主要针对现有氮化镓衬底成本高，底部形貌无法调整的问题，提出如下技术方案：基于金属有机化学气相沉积技术，所述复合衬底包括氮化镓层和氮化铝层，所述氮化镓层位于氮化铝层的上方，且所述氮化铝层和氮化镓层为异形结构。本实用新型在具备同等使用性能的同时具有制备成本低的优势，制造可行性高，同时通过调整CPSS的形貌，可调整复合衬底底部的形貌，使最终做出的半导体器件具有不同的性能，具有广泛的应用前景，主要应用于半导体生产领域。
一种氮化复合衬底

[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法-CN202110355356.7有效
发明人：侯想;刘杨;钟梦洁;林赛;陈锋;罗荣煌;卢文瑞 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：一种蓝宝石复合衬底的制备方法，包括如下步骤，在蓝宝石衬底上生成一层AlN薄膜，利用化学气相沉积法在AlN层上沉积一层SiO2层，利用光阻剂及纳米压印设备进行图形转移，在SiO2层上形成光刻胶孔洞，再进行干法蚀刻，使得光刻胶孔洞进一步蚀刻为图形化孔洞，所述图形化孔洞贯穿SiO2层，所述图形化孔洞为上截面面积大于下截面的漏斗形。本方案采用沉积一层AlN层，再化学气相沉积法在AlN层上沉积一层SiO2层，通过蚀刻获得SiO2层上的图形化孔洞的做法，能够提升衬底对于光线的全反射效果，进而提升LED的发光亮度。
一种蓝宝石复合衬底及其制备方法

[发明专利]一种蓝宝石与氮化镓衬底剥离方法-CN202210989870.0在审
发明人：侯想;刘熠新;钟梦洁;蔡琦;熊彩浩;卢文瑞 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种蓝宝石与氮化镓衬底剥离方法。其主要针对目前主流工艺是在蓝宝石上生长氮化镓薄膜，但是由于蓝宝石与氮化镓存在着较大的晶格失配，导致在蓝宝石上生长出的氮化镓外延层质量较差，严重影响半导体器件的性能的问题；提出如下技术方案：通过减薄光刻胶、在光刻胶和二氧化硅蓝宝石复合衬底上制作一层氮化铝薄膜，再去掉光刻胶，此时氮化铝薄膜一部分覆盖在二氧化硅蓝宝石复合衬底的二氧化硅上，原先覆盖在光刻胶上的氮化铝薄膜悬空。随后在氮化铝薄膜上生长氮化镓外延层，再使用BOE将衬底上部的二氧化硅层去除，最终将外延层与衬底剥离。本发明通过使用在二氧化硅蓝宝石复合衬底上上生长氮化铝层，再将二氧化硅去除的剥离方法，大大降低了剥离成本，降低了氮化镓衬底的价格，扩展了氮化镓外延层的应用领域，具有非常好的可行性和应用价值。
一种蓝宝石氮化衬底剥离方法

[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的制备方法-CN202010416961.6有效
发明人：侯想;刘杨;钟梦洁 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，AlN薄膜属于III‑V族化合物绝缘材料，具有很多优越的物理化学性质，如高硬度、很好的III导热性、低热膨胀系数、优良的化学稳定性。AlN和GaN的晶格常数比较接近，在蓝宝石上生长AlN层，可以减少蓝宝石和GaN之间因较大的晶格失配二导致的应变。本发明既保留了蓝宝石表明的光学面，也可解决由于PSS尺寸做大引起的外延雾化及位错问题，另一方面更有利于外延GaN的生长，缩短外延生长时间。
一种图形蓝宝石衬底制备方法

[发明专利]一种氮化镓基谐振腔发光二极管及其制备方法-CN202110692043.0有效
发明人：张保平;徐欢;梅洋;杨帅;应磊莹;侯想;罗荣煌;卢文瑞;陈锋;钟梦洁;刘熠新 -专利权人：厦门大学;福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化镓基谐振腔发光二极管及其制备方法，氮化镓基谐振腔发光二极管包括依序层叠设置的支撑基板、高对比度光栅、有源区、N型层，N型层远离有源区的端面上还设置有第一反射镜和N电极；其中，高对比度光栅由P型层和透明导电层组成，P型层的一端面与有源区贴合，P型层的另一端面上经刻蚀形成非平整的光栅结构，透明导电层设置在P型层的光栅结构间隙和表面；本方案直接使用部分P型层及透明导电层作为高对比度光栅结构以替代传统的底部反射镜结构，不仅减小了器件串联电阻，降低吸收损耗，还提高了输出光质量，且制备工艺简单，所有制备工艺与标准半导体制备工艺兼容，满足大规模光电集成的需要。
一种氮化谐振腔发光二极管及其制备方法

[实用新型]自动倒废光刻胶装置-CN202122410117.5有效
发明人：王友林;孔令滨;沈伟辉;卢建周;张坤珏;廖健 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B67C3/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻胶废液收集装置技术领域，尤其涉及一种自动倒废光刻胶装置。其技术方案包括：工作架与爬梯，工作架的顶部设置有两组进料口，工作架的顶部均匀设置有固定架，固定架中均设置有下料机构，进料口的底部设置有灌装漏斗，且进料口远离固定架的一端设置有导料板，下料机构包括有翻斗架，翻斗架的左右两端均固定设置有连接杆，连接杆均与固定架转动连接。通过锥齿轮、连接杆、弹簧、抵接件、翻斗架、灌装漏斗和滚轮的配合，实现能够代替工作人员对废液塑料桶中的废液倒出，使得倒液过程中液体流畅排出，且通过两组翻斗架相反旋转的配合，有效的提高了废液灌装的作业效率。
自动光刻装置

[实用新型]一种自来水硬度软化及废水再利用系统-CN202122644183.9有效
发明人：罗荣煌;钟梦洁;王友林;卢建周;沈伟辉;阙添龙 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬水处理及利用系统技术领域，尤其涉及一种自来水硬度软化及废水再利用系统。其技术方案包括硬水处理总成和废水利用总成，所述硬水处理总成包括活性炭过滤器，所述活性炭过滤器的输出端连接有全自动软水器，全自动软水器的输出端设置有软水箱，所述软水箱的输出端设置有洗涤塔，所述洗涤塔的的输出端连接有废水存储槽，所述废水存储槽的输出端连接有气浮槽，所述气浮槽的输出端连接有废水中继槽。本实用新型对硬水软化处理，提高水的处理效果，降低水结垢的概率，减低能耗，延长设备使用寿命，降低清洁维修成本，对废水过滤后使用，提高能源利用率，避免冷却机组结垢，提高车间成产效率，降低企业成本，适合推广使用。
一种自来水硬度软化废水再利用系统

[实用新型]冰机冷却循环水自动排污装置-CN202122410127.9有效
发明人：罗荣煌;王友林;阙添龙;卢文瑞;沈伟辉;谢星明 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： F25B43/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及排污设备技术领域，尤其涉及冰机冷却循环水自动排污装置。其技术方案包括：壳体、通孔板、斜块与电机，所述通孔板的上转动连接有旋转轴，旋转轴上设置有从动齿轮、旋转架与活动架，所述从动齿轮的侧边设有主动齿轮，所述活动架上固定连接有多个导向杆，所述斜块上设置有多个密封板。本实用新型通过各种结构的组合使得本装置对进入设备的冷却循环水以离心运动实现对水中垢片粉尘的高效分离，并定时实现对分离后含有垢片粉尘水资源的自动排放，从而不仅有效防止冰机机组冷凝器结垢，提高冷凝器换热面置换效果，达到节能降耗的作用，且减轻了工作人员对设备排污处理的负担。
冷却循环自动排污装置

[实用新型]水冷式制冷机冷凝器铜管洗管器-CN202122643652.5有效
发明人：王友林;罗荣煌;孔令滨;钟梦洁;沈伟辉;卢文瑞 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： F28G3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及洗管装置技术领域，尤其涉及水冷式制冷机冷凝器铜管洗管器。其技术方案为：包括套管和转动套接于套管内部的主轴，所述主轴的一端连接有用于与手电钻连接的手电钻六角批头，所述主轴的另一端连接有用于清理铜管内壁的毛刷，靠近手电钻六角批头的所述套管的端部设置有进水口，所述进水口通过进水阀与外部送水装置连接，靠近毛刷的所述套管的一端开设有出水口，靠近毛刷的所述主轴的一端连接有起支撑作用的支撑环，所述支撑环外环面分设有多个支撑杆。本申请在清洗铜管时由于毛刷与铜管壁接触，对铜管伤害较小，且通过清水以及毛刷的双重清洗可以有效清理铜管内部的污垢和粘泥，并通过水流以及毛刷将污垢和粘泥内送出管外。
水冷制冷机冷凝器铜管洗管器

[发明专利]一种LED外延用条状复合衬底及其制备方法和制备装置-CN202111562079.3在审
发明人：侯想;刘熠新;陈峰;钟梦洁;林赛;罗荣煌;卢文瑞;游庆勇;许珂 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种LED外延用条状复合衬底及其制备方法和制备装置，衬底为蓝宝石衬底，蓝宝石衬底上的图形呈条状，若干图形呈周期排列，且相邻的两个图形之间存在间隔；各图形的取向一致；图形底部宽度大于顶部宽度；图形的材料为Al2O3，图形侧壁覆盖有若干层SiO2层，SiO2层与蓝宝石衬底间存在间隙。本发明的复合衬底通过周期性排布的条状图形提高了LED的出光效率，并且能够控制出射光的偏振方向，使得LED的发光效率得到提升的同时获得偏振光。本发明的制备方法能够用于制备多层复合结构，增加偏振光提取效率的同时还能够控制复合结构的沉积位置，使其仅沉积在图形侧壁上，而无图形区域则没有沉积，目的是使得外延工艺无需改动。
一种 led 外延条状复合衬底及其制备方法装置

[发明专利]一种用于结垢的冰机机组清洗保养方法-CN202111281746.0在审
发明人：王友林;罗荣煌;钟梦洁;卢文瑞;卢建周;谢星明 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23G1/10 文献下载
摘要：本发明涉及冰机机组清洗技术领域，尤其涉及一种用于结垢的冰机机组清洗保养方法。其技术方案以下步骤：将冰机机组的组件拆解，并将拆解后的组件放置在酸性溶液槽一中；组件在酸性溶液槽一内浸泡15‑35min，通过喷水头将组件水洗；水洗后的组件投放进酸性溶液槽二中，浸泡时间为10min；浸泡时间结束后通过高压喷淋件组件冲洗，冲洗后的组件经由风干机风干；通过电镀槽对各组件电镀处理加工。本发明清洗步骤简单，组件多次酸洗、水洗，间歇清洁避免组件外表面损伤，高压喷淋提高泥垢去除效果，并对金属组件表面电镀处理，形成镀膜有效的养护组件，且光滑镀膜减少污垢粘附，清理后的泥垢集中处理，有效提高清洁养护效率，适合推广使用。
一种用于结垢机组清洗保养方法

[发明专利]水冷式制冷机冷凝器铜管洗管器-CN202111281749.4在审
发明人：王友林;罗荣煌;孔令滨;钟梦洁;沈伟辉;卢文瑞 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： F28G3/04 文献下载
摘要：本发明涉及洗管装置技术领域，尤其涉及水冷式制冷机冷凝器铜管洗管器。其技术方案为：包括套管和转动套接于套管内部的主轴，所述主轴的一端连接有用于与手电钻连接的手电钻六角批头，所述主轴的另一端连接有用于清理铜管内壁的毛刷，靠近手电钻六角批头的所述套管的端部设置有进水口，所述进水口通过进水阀与外部送水装置连接，靠近毛刷的所述套管的一端开设有出水口，靠近毛刷的所述主轴的一端连接有起支撑作用的支撑环，所述支撑环外环面分设有多个支撑杆。本申请在清洗铜管时由于毛刷与铜管壁接触，对铜管伤害较小，且通过清水以及毛刷的双重清洗可以有效清理铜管内部的污垢和粘泥，并通过水流以及毛刷将污垢和粘泥内送出管外。
水冷制冷机冷凝器铜管洗管器

[发明专利]一种低折射率疏水性SiO2-CN202111052745.9在审
发明人：刘熠新;张飒;侯想;钟梦洁;陈峰;孔令滨;卢文瑞;罗荣煌 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L33/46 文献下载
摘要：一种低折射率疏水性SiO2图形化蓝宝石衬底的制备方法，利用溶胶凝胶法制备SiO2溶胶，在蓝宝石衬底上旋涂溶胶后热处理使其形成低折射率疏水性SiO2薄膜，接着在其上均匀涂布一层紫外正向光刻胶，然后进行曝光和显影工艺，最后通过ICP干法刻蚀工艺得到低折射率疏水性SiO2图形化蓝宝石衬底，其光输出功率和亮度均有显著提高。相较于常规SiO2‑PSS衬底和常规PSS衬底，低折射率疏水性SiO2图形化蓝宝石衬底的LEE分别提高15％和45％。此外，具有很好的疏水性能，能够避免光刻胶出现脱胶现象，可省去涂胶前的增粘工艺，具有工艺简单、成本更低的优点，具有广阔的应用前景。
一种折射率疏水 sio base sub

[发明专利]一种自来水硬度软化及废水再利用系统-CN202111281741.8在审
发明人：罗荣煌;钟梦洁;王友林;卢建周;沈伟辉;阙添龙 -专利权人： 福建中晶科技有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本发明涉及硬水处理及利用系统技术领域，尤其涉及一种自来水硬度软化及废水再利用系统。其技术方案包括硬水处理总成和废水利用总成，所述硬水处理总成包括活性炭过滤器，所述活性炭过滤器的输出端连接有全自动软水器，全自动软水器的输出端设置有软水箱，所述软水箱的输出端设置有洗涤塔，所述洗涤塔的的输出端连接有废水存储槽，所述废水存储槽的输出端连接有气浮槽，所述气浮槽的输出端连接有废水中继槽。本发明对硬水软化处理，提高水的处理效果，降低水结垢的概率，减低能耗，延长设备使用寿命，降低清洁维修成本，对废水过滤后使用，提高能源利用率，避免冷却机组结垢，提高车间成产效率，降低企业成本，适合推广使用。
一种自来水硬度软化废水再利用系统

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