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[实用新型]一种新型半导体托盘夹持装置-CN202223369804.8有效
发明人：康振;张志勇;赵珉;张仁勇;高胜清;苑浩;陈卫东 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体托盘夹持装置，包括托盘导向机构、运输机构和夹持机构，所述托盘导向机构上安装有运输机构，运输机构上安装有夹持机构，所述运输机构、夹持机构分别与PLC控制器电性连接；本实用新型通过设置有红外发射器和红外接收器，当托盘移动至红外发射器的一侧时，托盘将红外发射器发射的光遮挡，红外接收器接收不到红外发射器发射的信号，红外接收器将信号发送至PLC控制器，PLC控制器控制伺服电机停止工作，实现托盘高精度定位，便于准确对托盘以及芯片进行输送定位，有利于提高芯片输送精度；本实用新型通过设置有夹持机构，能够将托盘夹持固定在夹持机构上，从而提高了托盘输送的稳定性。
一种新型半导体托盘夹持装置

[实用新型]一种新型半导体框架抓取和水平双向移栽装置-CN202223260932.9有效
发明人： 高胜清;苑浩;陈卫东;康振;张志勇;赵珉;张仁勇 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体框架抓取和水平双向移栽装置，包括底板、输送机构和抓取机构，所述底板上安装有输送机构，输送机构上安装有抓取机构，所述抓取机构包括夹爪气缸、上部夹爪和下部夹爪，所述夹爪气缸的上表面和上部夹爪的下表面上均开设有让位槽，所述让位槽内部安装有限位凸块；本实用新型在磁铁的吸力作用下，磁铁吸住夹爪离合块，当钢质弹夹对金属框架移动阻力小于磁铁吸力时，金属框架未完全被推进钢质弹夹；当钢质弹夹对金属框架移动的阻力大于磁铁吸力时，金属框架完全被推进钢质弹夹并且被钢质弹夹一端阻挡，夹爪离合块与磁铁分离，从而可有效防止由于推力过大，导致的金属框架损坏。
一种新型半导体框架抓取水平双向移栽装置

[发明专利]一种用于半导体分选机的半导体转塔装置-CN202310392118.2在审
发明人：张志勇;陈伟康;张仁勇;高胜清;苑浩 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体分选机的半导体转塔装置，包括支撑架、安装盘、下压机构、旋转机构、转盘和吸取机构，所述支撑架上安装有安装盘，安装盘为圆形结构，安装盘的外周安装有多个下压机构，多个所述下压机构沿着安装盘外周均匀间隔布置，下压机构的下方设置有旋转机构，旋转机构上安装有转盘，转盘的外周安装有多个吸取机构，多个所述吸取机构沿着转盘外周均匀间隔布置；本发明通过多个下压机构、旋转机构和多个吸取机构的同时工作，可以有效提高芯片的上料效率。
一种用于半导体分选装置

[实用新型]一种RFID双通道信号切换装置-CN202223178135.6有效
发明人：张仁勇;高胜清;赵珉;苑浩;陈卫东;康振 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H04B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种RFID双通道信号切换装置，包括PCB底板与安装在所述PCB底板上的信号继电器、电阻、LED指示灯、控制端口插座以及USB插座，所述USB插座设置有四个，四个所述USB插座分别通过USB线缆与RFID读取器一、RFID读取器二、RFID信号处理器一以及RFID信号处理器二相连；本实用新型通过控制端口插座的电压，使RFID读取器一和RFID读取器二的信号输入不同的RFID信号处理器一和RFID信号处理器二；本实用新型通过控制端口插座的电压，能够使得双通道RFID读取器一和RFID读取器二的信号同时进行切换。
一种 rfid 双通道信号切换装置

[实用新型]一种新型半导体托盘托举装置-CN202223459442.1有效
发明人：张志勇;赵珉;张仁勇;高胜清;苑浩;陈卫东;康振 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体托盘托举装置，包括底板、驱动组件、升降组件和托盘组件，所述底板的底部垂直固定有四个支脚，所述底板上安装有驱动组件，驱动组件上连接有升降组件，升降组件上连接有托盘组件；本实用新型通过在托盘上设置有多个放置槽，芯片放置在放置槽内，使得芯片稳定的上下移动，不会出现散料的现象，提高了芯片托举的可靠性；本实用新型在升降板上安装有位移传感器，芯片的上升和下降过程中，位移传感器检测位移距离，通过位移距离与原始距离对比，即可得到芯片托举高度，可以检测芯片上升和下降是否到位，从而提高了托举精度，降低了工作强度。
一种新型半导体托盘托举装置

[实用新型]一种新型半导体框架加载装置-CN202223260924.4有效
发明人：张仁勇;高胜清;苑浩;陈卫东;康振;张志勇;赵珉 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体框架加载装置，包括底座，所述底座、X轴位移机构、Y轴位移机构、Z轴位移机构和吸盘机构，所述底座安装在机架上，所述底座上安装有X轴位移机构，X轴位移机构上安装有Y轴位移机构，Y轴位移机构上安装有Z轴位移机构，Z轴位移机构上安装有吸盘机构；本实用新型通过设置有X轴位移机构、Y轴位移机构以及Z轴位移机构与金属传感器、光电传感器配合的加载装置，能够自动加载金属框架，实现了机械代替人工，既可以减轻工人劳动强度，有可以提升工作效率。
一种新型半导体框架加载装置

[实用新型]一种新型半导体框架抓取和移栽装置-CN202223369821.1有效
发明人：苑浩;张仁勇;陈卫东;康振;张志勇;赵珉;高胜清 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体框架抓取和移栽装置，包括底板、驱动机构和抓取机构，所述底板上安装有驱动机构，所述抓取机构设置有三个，三个所述抓取机构间隔设置在驱动机构上，所述驱动机构包括直驱电机，所述直驱电机包括定子组件和动子组件，所述动子组件位于所述定子组件上且与所述定子组件相配合；本实用新型通过在底座的下表面安装有光栅尺读数头，配合底板上安装的光栅尺，对框架进行位移测量，保证框架移栽的精准度。
一种新型半导体框架抓取移栽装置

[实用新型]一种新型半导体芯片焊接焊头-CN202223445482.0有效
发明人：张仁勇;赵珉;高胜清;苑浩;陈卫东;康振;张志勇 -专利权人：华恒半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23K37/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体芯片焊接焊头，包括支撑架、驱动机构、拨叉机构和焊接头，所述支撑架的上端安装有拨叉机构，拨叉机构与滚珠花键轴的顶部传动连接，支撑架的下端安装有驱动机构，驱动机构与滚珠花键套的顶部传动连接，滚珠花键套的底部安装有连接座，连接座的底部安装有焊接头，滚珠花键套上设置有滚珠花键轴；本实用新型设置有拨叉机构，通过拨叉带动滚珠花键轴向下移动，滚珠花键轴带动焊接头下压，从而增加了焊接头焊接时的焊接力，降低了由于焊接头的焊接力不足造成半导体芯片虚焊的情况，有效保证了焊接效果。
一种新型半导体芯片焊接

[发明专利]制造半导体装置的方法和半导体基板的检验系统-CN202210173662.3在审
发明人：黄圣和;周崇斌;郭学明;高萱嘉;陈衍成;高胜清;刘俊秀 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种制造半导体装置的方法和半导体基板的检验系统，在半导体基板的检验的方法中，第一光束被分成两个或更多个第二光束。两个或更多个第二光束分别传输至半导体基板的顶部的第一集合的两个或更多个第一地点上。回应于传输的两个或更多个第二光束，接收来自第一集合的两个或更多个第一地点的两个或更多个反射光束。侦测接收到的两个或更多个反射光束以产生两个或更多个侦测信号。分析两个或更多个侦测信号以确定缺陷是否存在于该集合的两个或更多个第一地点处。
制造半导体装置方法检验系统

[发明专利]制程管装置、流体检查系统以及检测管内流体内的外部材料的方法-CN202210031633.3在审
发明人：杨祐任;周崇斌;庄凯麟;陈衍成;高胜清;刘俊秀 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种制程管装置、流体检查系统以及检测管内流体内的外部材料的方法，制程管装置可检测可存在于在管中流动的流体内的任何外部材料的存在。制程管装置现场检测外部材料，此举排除对用以在将流体施加在晶圆的表面上之后检查晶圆的表面的分离检查装置的需要。该制程管装置利用检测外部材料的存在的至少两个方法。第一为使用光检测感测器的直接量测方法。第二为使用利用多普勒频移的原理的感测器的间接量测方法。在此，与至少部分使用反射或折射光的第一方法相反，第二方法使用都卜勒频移感测器以通过量测在管中流动的流体的速度来检测外部材料的存在。
制程管装置流体检查系统以及检测内流体内外部材料方法

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