[发明专利]嵌埋封装基板制作方法及封装基板在审
申请号: | 202210398121.0 | 申请日: | 2022-04-08 |
公开(公告)号: | CN114927427A | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 陈先明;洪业杰;黄高;黄本霞 | 申请(专利权)人: | 珠海越亚半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/48;H01L23/31;H01L23/498 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 张志辉 |
地址: | 519175 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 制作方法 | ||
1.一种嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,包括:
提供一底板(100),所述底板(100)的表面设置有成品次外层线路(110)以及设置在所述成品次外层线路(110)上的第一通孔柱(120);
提供一承载板(200),所述承载板(200)的表面贴装有电子元器件(210),所述电子元器件(210)有源面的连接端子与所述承载板(200)接触连接;
提供一封装材料(300),并将所述底板(100)、所述封装材料(300)和所述承载板(200)进行层叠压合,其中,所述封装材料(300)位于所述底板(100)和所述承载板(200)之间且覆盖于所述成品次外层线路(110)和所述第一通孔柱(120),所述电子元器件(210)位于所述封装材料(300)的一侧;
移除所述承载板(200),以露出所述电子元器件(210)有源面的连接端子,得到半成品。
2.根据权利要求1所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述提供一承载板(200)包括:
提供一承载板(200),所述承载板(200)具有至少一个平整面;
在所述承载板(200)的平整面上加工出黏性区;
将所述电子元器件(210)贴装在承载板(200)的所述黏性区内。
3.根据权利要求2所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述在所述承载板(200)的平整面上加工出黏性区,包括:
在所述承载板(200)的平整面上整面布置黏胶(201);
或者,在所述承载板(200)的平整面的局部区域布置黏胶(201),所述局部区域的位置与所述电子元器件(210)的待贴装位置相适配。
4.根据权利要求1所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述封装材料(300)采用纯树脂材料片,所述将所述底板(100)、封装材料(300)和所述承载板(200)进行层叠压合,包括:
将所述纯树脂材料片叠放在所述底板(100)上;
将所述承载板(200)叠放在所述纯树脂材料片上,其中,所述承载板(200)贴装有所述电子元器件(210)的一面朝向所述纯树脂材料片;
将层叠后的所述底板(100)、所述纯树脂材料片和所述承载板(200)进行压合。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述移除所述承载板(200)之后,所述方法还包括:
对所述半成品进行开孔处理,以露出所述第一通孔柱(120);
对所述半成品进行电镀处理,以得到成品最外层线路(130),所述成品最外层线路(130)连接于所述第一通孔柱(120)和所述电子元器件(210)有源面的连接端子。
6.根据权利要求5所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述对所述半成品进行电镀处理,包括:
在所述半成品上加工第一种子层;
在所述第一种子层上加工第一感光遮蔽膜,以得到对应于所述成品最外层线路(130)的线路图案;
对所述半成品进行电镀处理,以通过所述线路图案形成所述成品最外层线路(130);
去除所述第一感光遮蔽膜以及对所述第一种子层进行蚀刻处理。
7.根据权利要求5所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述对所述半成品进行电镀处理,包括:
在所述半成品上加工第一种子层;
对所述半成品进行整板电镀,以在所述第一种子层上形成电镀金属层;
在所述电镀金属层上加工第二感光遮蔽膜,以得到对应于所述成品最外层线路(130)的线路图案;
对所述电镀金属层进行蚀刻处理,以通过所述线路图案形成所述成品最外层线路(130);
去除所述第二感光遮蔽膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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