[发明专利]嵌埋封装基板制作方法及封装基板在审

专利信息
申请号: 202210398121.0 申请日: 2022-04-08
公开(公告)号: CN114927427A 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 陈先明;洪业杰;黄高;黄本霞 申请(专利权)人: 珠海越亚半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/48;H01L23/31;H01L23/498
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 张志辉
地址: 519175 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 封装 制作方法
【权利要求书】:

1.一种嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,包括:

提供一底板(100),所述底板(100)的表面设置有成品次外层线路(110)以及设置在所述成品次外层线路(110)上的第一通孔柱(120);

提供一承载板(200),所述承载板(200)的表面贴装有电子元器件(210),所述电子元器件(210)有源面的连接端子与所述承载板(200)接触连接;

提供一封装材料(300),并将所述底板(100)、所述封装材料(300)和所述承载板(200)进行层叠压合,其中,所述封装材料(300)位于所述底板(100)和所述承载板(200)之间且覆盖于所述成品次外层线路(110)和所述第一通孔柱(120),所述电子元器件(210)位于所述封装材料(300)的一侧;

移除所述承载板(200),以露出所述电子元器件(210)有源面的连接端子,得到半成品。

2.根据权利要求1所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述提供一承载板(200)包括:

提供一承载板(200),所述承载板(200)具有至少一个平整面;

在所述承载板(200)的平整面上加工出黏性区;

将所述电子元器件(210)贴装在承载板(200)的所述黏性区内。

3.根据权利要求2所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述在所述承载板(200)的平整面上加工出黏性区,包括:

在所述承载板(200)的平整面上整面布置黏胶(201);

或者,在所述承载板(200)的平整面的局部区域布置黏胶(201),所述局部区域的位置与所述电子元器件(210)的待贴装位置相适配。

4.根据权利要求1所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述封装材料(300)采用纯树脂材料片,所述将所述底板(100)、封装材料(300)和所述承载板(200)进行层叠压合,包括:

将所述纯树脂材料片叠放在所述底板(100)上;

将所述承载板(200)叠放在所述纯树脂材料片上,其中,所述承载板(200)贴装有所述电子元器件(210)的一面朝向所述纯树脂材料片;

将层叠后的所述底板(100)、所述纯树脂材料片和所述承载板(200)进行压合。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述移除所述承载板(200)之后,所述方法还包括:

对所述半成品进行开孔处理,以露出所述第一通孔柱(120);

对所述半成品进行电镀处理,以得到成品最外层线路(130),所述成品最外层线路(130)连接于所述第一通孔柱(120)和所述电子元器件(210)有源面的连接端子。

6.根据权利要求5所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述对所述半成品进行电镀处理,包括:

在所述半成品上加工第一种子层;

在所述第一种子层上加工第一感光遮蔽膜,以得到对应于所述成品最外层线路(130)的线路图案;

对所述半成品进行电镀处理,以通过所述线路图案形成所述成品最外层线路(130);

去除所述第一感光遮蔽膜以及对所述第一种子层进行蚀刻处理。

7.根据权利要求5所述的嵌埋封装基板制作方法,其特征在于,所述对所述半成品进行电镀处理,包括:

在所述半成品上加工第一种子层;

对所述半成品进行整板电镀,以在所述第一种子层上形成电镀金属层;

在所述电镀金属层上加工第二感光遮蔽膜,以得到对应于所述成品最外层线路(130)的线路图案;

对所述电镀金属层进行蚀刻处理,以通过所述线路图案形成所述成品最外层线路(130);

去除所述第二感光遮蔽膜。

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