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- [发明专利]一种嵌埋器件封装基板及其制作方法-CN202210945044.6有效
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陈先明;林文健;黄本霞;黄高
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珠海越亚半导体股份有限公司
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2022-08-08
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2023-10-20
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H01L21/48
- 本申请公开了一种嵌埋器件封装基板以及制作方法,其中方法包括:在临时载板上表面制作第三线路层以及靶标,在第三线路层上以及靶标上压合第三介质层;在第三介质层上放置待嵌埋器件并在待嵌埋器件上覆盖第二介质层;在第二介质层上表面压合第二铜箔,通过第二铜箔制作第二线路层、第二铜柱以及第三铜柱;在第二线路层、第二铜柱以及第三铜柱上压合覆盖第一介质层,在第一介质层上表面压合第一铜箔并去除临时载板;在第三线路层的下表面压合第四介质层;在第四介质层的下表面压合第四铜箔;通过第四铜箔制作第四线路层以及第四铜柱,以及通过第一铜箔制作第一线路层以及第一铜柱。本方法可以减少基板翘曲。本申请可应用于半导体制造技术领域内。
- 一种器件封装及其制作方法
- [实用新型]封装基板及集成模块-CN202320211400.1有效
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陈先明;徐小伟;黄聚尘;黄本霞;黄高;张东锋
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珠海越亚半导体股份有限公司
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2023-02-14
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2023-09-19
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H01L23/498
- 本实用新型公开了一种封装基板及集成模块,涉及半导体封装技术领域。封装基板包括基板、绝缘层、第一金属线路和第二金属线路;基板具有至少一个贯穿基板的第一通孔;绝缘层覆盖在基板的上表面和下表面,并填充第一通孔;第一金属线路设置于绝缘层的上表面,第二金属线路设置于绝缘层的下表面,第一金属线路与第二金属线路通过贯穿绝缘层的金属导通孔实现电性连接;其中,金属导通孔位于第一通孔内,且至少一个第一通孔的内部具有两个金属导通孔。根据本实用新型的封装基板,能够提升封装基板的刚性,避免封装基板在制作过程中发生翘曲现象,提升产品良率;同时,能够提升封装基板的金属过孔的密度,有利于实现产品的高集成化和小型化。
- 封装集成模块
- [实用新型]基板化学镀挂具-CN202223471933.8有效
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陈先明;李志丹;刘春祥;彭建
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珠海越亚半导体股份有限公司
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2022-12-22
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2023-08-11
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C23C18/16
- 本实用新型公开了一种基板化学镀挂具,顶架和底架分别覆盖方体挂篮的上下端口,顶架和底架分别并排设置顶杆和底杆,顶杆和底杆开设有多个沿轴向排列的穿线孔,相邻两顶杆之间形成插板口,分隔线穿过穿线孔,顶杆与对应的底杆之间形成分隔网,底卡槽连接方体挂篮和/或底架,由插板口置入的基板可插入底卡槽的对应卡口。分隔网防止封装基板在化学镀过程中相互摩擦、碰撞或贴覆,本挂具只需调节分隔线,即可完成不同图形的封装基板化学镀,无需分别设置对应的挂具,解决行业难题,为企业节省较大的治具开发及管理成本;采用分隔线进行基板隔离,提升了化学镀的均匀性、稳定性及生产效率;此外,充分利用挂具的存储空间。
- 化学镀挂具
- [发明专利]塞孔结构及其制作方法-CN202310198666.1在审
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陈先明;林文健;徐小伟;黄本霞;黄高
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珠海越亚半导体股份有限公司
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2023-03-03
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2023-07-14
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H05K3/00
- 本发明公开了一种塞孔结构及其制作方法,涉及半导体封装技术领域。塞孔结构的制作方法包括以下步骤:对双面覆铜板进行钻孔,形成贯穿双面覆铜板上下表面的层间导通孔;在层间导通孔的孔壁及双面覆铜板的表面制作第一种子层,并在第一种子层的表面电镀形成铜层;在层间导通孔的内部填充树脂,使树脂与铜层的表面齐平;保留层间导通孔周侧的预定区域内的铜层和第一种子层,形成孔环,将其余位置的铜层、第一种子层及双面覆铜板表面的铜箔蚀刻掉;在双面覆铜板的表面制作第一线路,使第一线路与孔环电性连接。根据本发明实施例的塞孔结构的制作方法,无需经过两次电镀后再制作线路,能够适用于更精细的线路的制作。
- 结构及其制作方法
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