[发明专利]半导体装置在审
| 申请号: | 202210219607.3 | 申请日: | 2022-03-08 |
| 公开(公告)号: | CN115117002A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
| 发明(设计)人: | 舘毅 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L23/31 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 奚勇 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,具备:
开关器件,具有在厚度方向上彼此朝向相反侧的第1器件面及第2器件面、以及配置在所述第1器件面的漏极电极、源极电极及栅极电极;
第1引线,与所述漏极电极导通接合;
第2引线,与所述源极电极导通接合;
第3引线,与所述栅极电极导通接合;及
树脂部,覆盖所述开关器件与所述第1至所述第3引线各自的一部分,且具有与所述第1器件面朝向同一侧的第1树脂面及与所述第2器件面朝向同一侧的第2树脂面;且
所述第1至所述第3引线从所述第1树脂面露出。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中所述开关器件包含GaN-HEMT(HighElectron Mobility Transistor)。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中所述开关器件具有配置在所述第1器件面的源极感测电极,
所述半导体装置还具备与所述源极感测电极导通接合的第4引线,且
所述第4引线从所述第1树脂面露出。
4.根据权利要求3所述的半导体装置,其中在所述厚度方向上观察时,所述第1至所述第4引线分别全部与所述树脂部重叠。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中所述第1引线具有在所述厚度方向上与所述开关器件对向的第1主面、及朝向与该第1主面相反的一侧的第1背面,
所述第1背面从所述第1树脂面露出,
所述第2引线具有在所述厚度方向上与所述开关器件对向的第2主面、及朝向与该第2主面相反的一侧的第2背面,
所述第2背面从所述第1树脂面露出,
所述第3引线具有在所述厚度方向上与所述开关器件对向的第3主面、及朝向与该第3主面相反的一侧的第3背面,
所述第3背面从所述第1树脂面露出,
所述第4引线具有在所述厚度方向上与所述开关器件对向的第4主面、及朝向与该第4主面相反的一侧的第4背面,且
所述第4背面从所述第1树脂面露出。
6.根据权利要求5所述的半导体装置,其中所述第1引线与所述第2引线是在与所述厚度方向正交的第1方向上相互分离而配置。
7.根据权利要求6所述的半导体装置,其中所述漏极电极的所述第1方向上的尺寸比所述源极电极的所述第1方向上的尺寸小,且
所述第1主面的所述第1方向上的尺寸比所述第2主面的所述第1方向上的尺寸大。
8.根据权利要求7所述的半导体装置,其中所述第1引线具有在所述厚度方向上位于所述第1主面与所述第1背面之间的第1中间面,且
所述第1引线包含在所述厚度方向上观察时与所述第1主面及所述第1背面重叠的第1厚壁部、以及与所述第1主面及所述第1中间面重叠的第1薄壁部。
9.根据权利要求8所述的半导体装置,其中在所述厚度方向上观察时,所述漏极电极与所述第1厚壁部重叠。
10.根据权利要求9所述的半导体装置,其中所述第1薄壁部包含:延出部,从所述第1厚壁部朝沿所述厚度方向及所述第1方向正交的第2方向延出;及缘部,相对于所述延出部在所述第1方向上位于与所述第2引线相反的一侧。
11.根据权利要求10所述的半导体装置,其中所述延出部的所述第1方向的尺寸比所述缘部的所述第1方向的尺寸小。
12.根据权利要求11所述的半导体装置,其中所述第1引线与所述第2引线在所述第1方向上的距离比所述第1薄壁部的所述延出部的所述第1方向上的尺寸小。
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