[发明专利]晶圆级芯片封装结构、封装方法和电子设备有效
申请号: | 202210103622.1 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN114121898B | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 陈泽;张聪 | 申请(专利权)人: | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨勋 |
地址: | 315400 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级 芯片 封装 结构 方法 电子设备 | ||
1.一种晶圆级芯片封装结构,其特征在于,包括:
载具结构,所述载具结构具有相对的正面和背面,所述载具结构上设置有印字标识,所述印字标识为形成于所述载具结构的沟槽,所述载具结构为透明,所述印字标识在所述载具结构的背面一侧可视;
芯片,所述芯片贴设于所述载具结构的正面,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片上具有金属端子,所述金属端子背离所述载具结构;
包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;
铺设于所述塑封体的重新布线层,所述重新布线层与所述金属端子电连接;
电连接于所述重新布线层的金属凸块。
2.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识形成于所述载具结构的正面。
3.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识贯穿所述载具结构的正面和背面。
4.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述载具结构包括载板和贴片膜,所述贴片膜贴设于所述载板,所述芯片贴设于所述贴片膜的表面。
5.根据权利要求4所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识形成于所述载板,所述贴片膜覆盖所述印字标识。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述载具结构的背面铺设有背胶膜。
7.一种晶圆级芯片封装方法,其特征在于,包括:
在载具结构上制作印字标识,所述印字标识为形成于所述载具结构的沟槽,所述载具结构为透明;
在所述载具结构的正面贴装芯片,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片具有金属端子的一侧背离所述载具结构;
制作包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;
在所述塑封体上制作连接于所述金属端子的重新布线层;
在所述重新布线层上设置金属凸块。
8.根据权利要求7所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述在载具结构上制作印字标识的步骤,包括:在透明的载具结构上制作印字标识,所述印字标识形成于所述载具结构的正面或内部。
9.根据权利要求8所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述在透明的载具结构上制作印字标识的步骤,包括:
在所述载具结构的正面刻槽以形成所述印字标识。
10.根据权利要求8所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述载具结构包括透明的载板和贴设于所述载板的贴片膜,所述贴片膜用于贴装所述芯片;所述在透明的载具结构上制作印字标识的步骤,包括:
在所述载板上刻槽以形成所述印字标识;
将所述贴片膜覆盖于所述载板上设置有所述印字标识的一面。
11.根据权利要求7所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,
所述晶圆级芯片封装方法还包括:
在所述载具结构的背面贴设背胶膜。
12.一种晶圆级芯片封装方法,其特征在于,包括:
在载具结构的正面采用刻槽的方式制作印字标识,所述载具结构为透明;
在所述载具结构的正面贴装芯片,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片具有金属端子的一侧背离所述载具结构;
制作包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;
在所述塑封体上制作连接于所述金属端子的重新布线层;
在所述重新布线层上设置金属凸块;
从所述载具结构的背面削减所述载具结构的厚度,以使所述印字标识从所述载具结构的背面露出;
在所述载具结构的背面铺设背胶膜以覆盖所述印字标识。
13.一种电子设备,其特征在于,包括权利要求1-6中任一项所述的晶圆级芯片封装结构。
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