[发明专利]晶圆级芯片封装结构、封装方法和电子设备有效

专利信息
申请号: 202210103622.1 申请日: 2022-01-28
公开(公告)号: CN114121898B 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 陈泽;张聪 申请(专利权)人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
主分类号: H01L23/544 分类号: H01L23/544;H01L23/498;H01L21/48
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 杨勋
地址: 315400 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 晶圆级 芯片 封装 结构 方法 电子设备
【权利要求书】:

1.一种晶圆级芯片封装结构,其特征在于,包括:

载具结构,所述载具结构具有相对的正面和背面,所述载具结构上设置有印字标识,所述印字标识为形成于所述载具结构的沟槽,所述载具结构为透明,所述印字标识在所述载具结构的背面一侧可视;

芯片,所述芯片贴设于所述载具结构的正面,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片上具有金属端子,所述金属端子背离所述载具结构;

包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;

铺设于所述塑封体的重新布线层,所述重新布线层与所述金属端子电连接;

电连接于所述重新布线层的金属凸块。

2.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识形成于所述载具结构的正面。

3.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识贯穿所述载具结构的正面和背面。

4.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述载具结构包括载板和贴片膜,所述贴片膜贴设于所述载板,所述芯片贴设于所述贴片膜的表面。

5.根据权利要求4所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述印字标识形成于所述载板,所述贴片膜覆盖所述印字标识。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于,所述载具结构的背面铺设有背胶膜。

7.一种晶圆级芯片封装方法,其特征在于,包括:

在载具结构上制作印字标识,所述印字标识为形成于所述载具结构的沟槽,所述载具结构为透明;

在所述载具结构的正面贴装芯片,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片具有金属端子的一侧背离所述载具结构;

制作包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;

在所述塑封体上制作连接于所述金属端子的重新布线层;

在所述重新布线层上设置金属凸块。

8.根据权利要求7所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述在载具结构上制作印字标识的步骤,包括:在透明的载具结构上制作印字标识,所述印字标识形成于所述载具结构的正面或内部。

9.根据权利要求8所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述在透明的载具结构上制作印字标识的步骤,包括:

在所述载具结构的正面刻槽以形成所述印字标识。

10.根据权利要求8所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,所述载具结构包括透明的载板和贴设于所述载板的贴片膜,所述贴片膜用于贴装所述芯片;所述在透明的载具结构上制作印字标识的步骤,包括:

在所述载板上刻槽以形成所述印字标识;

将所述贴片膜覆盖于所述载板上设置有所述印字标识的一面。

11.根据权利要求7所述的晶圆级芯片封装方法,其特征在于,

所述晶圆级芯片封装方法还包括:

在所述载具结构的背面贴设背胶膜。

12.一种晶圆级芯片封装方法,其特征在于,包括:

在载具结构的正面采用刻槽的方式制作印字标识,所述载具结构为透明;

在所述载具结构的正面贴装芯片,所述芯片覆盖所述印字标识,所述芯片具有金属端子的一侧背离所述载具结构;

制作包裹所述芯片的塑封体,并露出所述芯片的所述金属端子;

在所述塑封体上制作连接于所述金属端子的重新布线层;

在所述重新布线层上设置金属凸块;

从所述载具结构的背面削减所述载具结构的厚度,以使所述印字标识从所述载具结构的背面露出;

在所述载具结构的背面铺设背胶膜以覆盖所述印字标识。

13.一种电子设备,其特征在于,包括权利要求1-6中任一项所述的晶圆级芯片封装结构。

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