[发明专利]半导体封装装置和半导体封装装置制造方法在审

专利信息
申请号: 202111235820.5 申请日: 2021-10-22
公开(公告)号: CN116013874A 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 廖顺兴 申请(专利权)人: 讯芯电子科技(中山)有限公司
主分类号: H01L23/34 分类号: H01L23/34;H01L23/48;H01L21/48
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 钟良;严林
地址: 528437 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 半导体 封装 装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体封装装置,其特征在于,包括:

线路重布层,具有第一面、相对于上述第一面的第二面、以及线路层,其中上述第一面具有开口;

导热体,设置于上述开口;

电子装置,设置于上述第一面,且位于上述导热体上方;

电子组件,设置于上述第一面;

封胶层,形成于上述线路重布层,上述封胶层围绕并露出上述电子装置,且覆盖上述电子组件;以及

焊球,设置于上述第二面,且与上述线路层电性连接。

2.如权利要求1所述的半导体封装装置,其特征在于,上述导热体的材质为铜、铜合金、陶瓷、石墨烯、石墨、奈米碳管、或奈米碳球。

3.如权利要求1所述的半导体封装装置,其特征在于,上述导热体与上述电子装置接触。

4.如权利要求1所述的半导体封装装置,其特征在于,上述导热体超出上述第一面并与上述电子装置接触。

5.一种半导体封装装置制造方法,其特征在于,包括:

提供线路重布层,其中上述线路重布层具有第一面、相对于上述第一面的第二面、以及线路层;

于上述线路重布层的上述第一面形成开口;

设置导热体于上述开口;

设置电子装置于上述第一面,且位于上述导热体上方;

设置电子组件于上述第一面;

形成封胶层于上述线路重布层的上述第一面,并覆盖上述电子装置以及上述电子组件;

研磨上述封胶层以露出上述电子装置的顶部;以及

设置焊球于上述第二面,且与上述线路层电性连接。

6.如权利要求5所述的半导体封装装置制造方法,其特征在于,上述导热体的材质为铜、铜合金、陶瓷、石墨烯、石墨、奈米碳管、或奈米碳球。

7.如权利要求5所述的半导体封装装置制造方法,其特征在于,上述导热体与上述电子装置接触。

8.如权利要求5所述的半导体封装装置制造方法,其特征在于,上述导热体超出上述第一面并与上述电子装置接触。

9.如权利要求5所述的半导体封装装置制造方法,其特征在于,更包括使用机械钻孔、蚀刻或激光钻孔形成上述开口。

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