[发明专利]多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接结构及方法有效

专利信息
申请号: 202110837143.8 申请日: 2021-07-23
公开(公告)号: CN113745169B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 卢茜;张剑;董东;陆吟泉;文泽海;季兴桥;徐榕青;向伟玮 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十九研究所
主分类号: H01L23/10 分类号: H01L23/10;H01L23/04;H01L21/48;B23K31/02
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 刘世权
地址: 610036 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 多腔槽 ltcc 封装 焊接 结构 方法
【说明书】:

发明公开了多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接结构及方法,该结构包括多腔槽LTCC基板、封装盒体和连接多腔槽LTCC基板与封装盒体的过渡金属片,所述过渡金属片设有若干不相连的通孔。本发明通过增加图形化的过渡金属片,有效缓解LTCC基板与金属盒体之间的热失配,提升了整个焊接结构的焊接可靠性。通过过渡金属片不同区域的开孔设计,在提升焊接可靠性的同时,保证整个焊接结构的接地性能与焊接气密性。通过焊接面活化、印刷焊膏焊接过渡金属片、清洗之后再使用焊料片真空焊接的方法解决了AuPtPd焊接层浸润性差,助焊剂难以清洗的问题。

技术领域

本发明属于微波组件微组装技术领域,尤其涉及多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接结构及方法。

背景技术

电子信息系统向着多功能、高性能、小型化的方向发展,微波组件的集成度越来越高,低温共烧陶瓷(LTCC)基板由于具有多层布线能力以及良好的射频信号传输特性,在微波组件中获得广泛应用。

微波组件中为保证射频信号的低损高隔离传输,芯片一般安装在腔槽内。随着组件功能密度的上升,集成芯片的数量激增,LTCC电路表面的腔槽数量与面积也随之增加。多腔槽大面积的LTCC基板与封装盒体焊接存在以下技术难点:

a)LTCC基板与轻质封装盒体(Al、SiAl等材料)之间存在严重热失配(热膨胀系数相差一至三倍),在钎焊以及后续使用过程中,LTCC基板易发生开裂,造成组件失效。实用新型CN206200376U通过在陶瓷与金属的接触面设置释放空隙,缓解陶瓷与金属之间的热失配应力。但是,在LTCC的焊接面加工释放应力的腔槽结构,将进一步增大多腔槽LTCC电路片的加工难度,引起电路片翘曲变形;而在封装盒体焊接面加工腔槽结构,将降低盒体底板强度。

b)为了满足钎焊需求,LTCC工艺采用烧结浆料体系,最常用的焊接层为金铂钯金属与玻璃相的混合物,这一材料在没有助焊剂的情况下与焊料之间浸润非常差,难以实现焊接;若使用助焊剂,提升浸润性则由于焊接面积大,残余在焊接层内部的助焊剂难以清洗,将影响焊接界面的长期可靠性。

c)随着系统集成密度的提升,LTCC成为封装的一部分,与盒体的焊接需具有气密性并保证良好的接地特性。因此,如何解决多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接过程的热失配、浸润性问题,同时保证焊接的强度、气密性与微波电路的接地特性,现有技术尚未给出解决方案。

发明内容

本发明的目的在于,为克服现有技术缺陷,提供了多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接结构及方法,通过增加图形化的过渡金属片,有效缓解LTCC基板与金属盒体之间的热失配,提升了整个焊接结构的焊接可靠性。通过过渡金属片不同区域的开孔设计,在提升焊接可靠性的同时,保证整个焊接结构的接地性能与焊接气密性。通过焊接面活化、印刷焊膏焊接过渡金属片、清洗之后再使用焊料片真空焊接的方法解决了AuPtPd焊接层浸润性差,助焊剂难以清洗的问题。

本发明目的通过下述技术方案来实现:

多腔槽LTCC基板与封装盒体焊接结构,包括多腔槽LTCC基板、封装盒体和连接多腔槽LTCC基板与封装盒体的过渡金属片,所述过渡金属片设有若干不相连的通孔,多腔槽LTCC基板不同区域上连接的过渡金属片的通孔占过渡金属片的面积不同,多腔槽LTCC基板与封装盒体间设有一层应力缓冲层,应力缓冲层包括若干结构完整的应力释放孔。

进一步的,所述过渡金属片通过含有少量助焊剂的辅料与多腔槽LTCC基板焊接;所述过渡金属片通过不含助焊剂的辅料与封装盒体焊接。

进一步的,所述过渡金属片与多腔槽LTCC基板连接的区域包括结构薄弱区、接地敏感区和重合区,重合区为结构薄弱区与接地敏感区重合部分;

在多腔槽LTCC基板的结构薄弱区,过渡金属片的通孔面积占多腔槽LTCC基板的结构薄弱区投影区域面积的至少60%;

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