[发明专利]吹扫喷嘴组件和包括该吹扫喷嘴组件的半导体处理组件

权利要求书

1.一种吹扫喷嘴组件(10)，包括：

-吹扫喷嘴主体(12)，其包括入口开口(14)和出口开口(16)，其中出口开口(16)通向吹扫喷嘴接触表面(18)；

-安装主体(20)，用于将吹扫喷嘴组件(10)连接到外部框架构件；

-机械联接机构，其可移动地将吹扫喷嘴主体(12)与安装主体(20)联接，并且构造成：

-允许吹扫喷嘴主体(12)相对于安装主体(20)倾斜；以及

-允许吹扫喷嘴主体(12)相对于安装主体(20)的显著横向运动，其中横向运动具有基本平行于接触表面(18)的运动分量。

2.根据权利要求1所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述机械联接机构包括：

-至少一个弹簧(22)，其连接到所述吹扫喷嘴主体(12)和安装主体(20)，并且构造为在基本垂直于所述吹扫喷嘴接触表面(18)并且指向远离吹扫喷嘴接触表面(18)的方向上相对于安装主体(20)偏压吹扫喷嘴主体(12)；

-与吹扫喷嘴主体(12)和安装主体(20)连接的多个拉动元件(24)，所述拉动元件(24)被至少一个弹簧(22)拉紧，以提供吹扫喷嘴主体(12)相对于安装主体(20)的限定的初始位置。

3.根据权利要求2所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述拉动元件(24)各自沿拉动方向施加拉力，其中多个拉动元件(24)的拉动方向的交叉点(P)基本在由所述吹扫喷嘴接触表面(18)限定的平面内。

4.根据权利要求3所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述交叉点(P)位于所述吹扫喷嘴主体(12)的中心轴线(L)上，该中心轴线(L)基本垂直于由吹扫喷嘴接触表面(18)限定的平面。

5.根据权利要求3或4所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述出口开口(16)限定出口轴线，该出口轴线与所述吹扫喷嘴主体(12)的中心轴线(L)共线。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述至少一个弹簧(22)包括至少一个推动弹簧。

7.根据权利要求2至5中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述至少一个弹簧(22)包括至少一个拉动弹簧。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，每个拉动元件(24、24)包括缆绳、绳索、链条。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，每个拉动元件(24)包括单个连杆，该连杆可滑动地且可枢转地与所述吹扫喷嘴主体(12)和安装主体(20)中的一个连接，并且该连杆至少可枢转地且可选地也可滑动地与吹扫喷嘴主体(12)和安装主体(20)中的另一个连接。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述多个拉动元件(24)包括三个拉动元件(24)。

11.根据权利要求2至10中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述至少一个弹簧(22)是单个弹簧。

12.根据权利要求2至10中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述至少一个弹簧(22)是多个弹簧，例如三个弹簧。

13.根据权利要求2至12中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述至少一个弹簧(22)是螺旋弹簧。

14.根据权利要求2至13中任一项所述的吹扫喷嘴组件，其中，所述吹扫喷嘴主体(12)在吹扫喷嘴主体(12)的圆周外表面中具有圆形凹槽，吹扫主体环(26)安装在所述圆形凹槽中，其中至少一个拉动元件(24)连接到吹扫主体环(26)，以在吹扫喷嘴主体(12)和至少一个拉动元件(24)之间建立连接。