[发明专利]芯片封装结构、制备方法和电子设备在审
| 申请号: | 202110436129.7 | 申请日: | 2021-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN114725027A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
| 发明(设计)人: | 邓抄军;魏潇赟;杨勇 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/15 | 分类号: | H01L23/15;H01L23/31;H01L23/498;H01L21/48;H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 颜晶 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 封装 结构 制备 方法 电子设备 | ||
1.一种芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构包括玻璃基板(1)、布线层(2)和至少一个裸芯片(3);
所述玻璃基板(1)的第一表面(11)具有焊点(12),所述玻璃基板(1)的第二表面(13)具有基板焊球(14),所述布线层(2)位于所述玻璃基板(1)中,所述焊点(12)和所述基板焊球(14)通过所述布线层(2)电连接;
每个裸芯片(3)具有芯片焊球(31),所述至少一个裸芯片(3)位于所述玻璃基板(1)的第一表面(11),且所述焊点(12)和所述芯片焊球(31)相接合。
2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述玻璃基板(1)包括多个玻璃层(15);
所述布线层(2)的数量为至少一个,每个所述布线层(2)位于相邻的两个所述玻璃层(15)之间。
3.根据权利要求1或2所述的芯片封装结构,其特征在于,所述玻璃基板(1)的第一表面(11)具有凹槽(16);
所述裸芯片(3)的数量为多个,一部分所述裸芯片(3)位于所述凹槽(16)中,另一部分所述裸芯片(3)位于所述凹槽(16)外。
4.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,所述凹槽(16)包括槽底(161)和n节台阶(162),所述n节台阶(162)位于所述槽底(161)的两侧,所述n为正整数;
所述凹槽(16)中的裸芯片(3)一部分位于所述槽底(161),另一部分位于所述n节台阶(162)的第i节台阶(162)的上表面,所述i在1至n中取值。
5.根据权利要求4所述的芯片封装结构,其特征在于,每个台阶(162)包括第一子台阶(162-1)和第二子台阶(162-2),所述第一子台阶(162-1)和所述第二子台阶(162-2)分别位于所述槽底(161)的位置相对的两侧;
所述第i节台阶(162)上表面的裸芯片(3)的一端位于所述第一子台阶(162-1)的上表面,另一端位于所述第二子台阶(162-2)的上表面。
6.根据权利要求3至5任一所述的芯片封装结构,其特征在于,所述凹槽(16)外的裸芯片(3)的一端位于所述凹槽(16)的第一侧,另一端位于所述凹槽(16)的第二侧,所述凹槽(16)的第一侧和第二侧的位置相对。
7.一种芯片封装结构的制备方法,其特征在于,所述方法应用于权利要求1至6任一所述的芯片封装结构,所述方法包括:
在玻璃基板(1)中铺设布线层(2),并在所述玻璃基板(1)的第一表面(11)设置焊点(12),在所述玻璃基板(1)的第二表面(13)设置基板焊球(14),其中,所述焊点(12)和所述基板焊球(14)通过所述布线层(2)电连接;
在至少一个裸芯片(3)中每个裸芯片(3)的表面设置芯片焊球(31);
将所述至少一个裸芯片(3)固定在所述玻璃基板(1)的第一表面(11),且所述焊点(12)和所述芯片焊球(31)相接合。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述玻璃基板(1)包括m个玻璃层(15),所述m为大于1的正整数;
所述在玻璃基板(1)中铺设布线层(2),包括:
在第k个玻璃层(15)的表面铺设铜层,并对所述铜层进行电路印刷,以在所述第k个玻璃层(15)的表面形成布线层(2);
将第k+1个玻璃层(15)固定在所述布线层(2)的表面,得到相邻的两个玻璃层(15)之间均铺设有布线层(2)的玻璃基板(1),所述k在1至m-1中取值。
9.根据权利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述玻璃基板(1)的第一表面(11)具有凹槽(16),所述裸芯片(3)的数量为多个;
将多个所述裸芯片(3)固定在所述玻璃基板(1)的第一表面(11),包括:
将多个所述裸芯片(3)中的一部分所述裸芯片(3)固定在所述凹槽(16)中,将另一部分所述裸芯片(3)固定在所述凹槽(16)外。
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