[发明专利]一种半导体功率模组及半导体功率模组的封装方法在审
申请号: | 202110038666.6 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112786567A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 王琇如;唐和明 | 申请(专利权)人: | 杰群电子科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768 |
代理公司: | 北京泽方誉航专利代理事务所(普通合伙) 11884 | 代理人: | 唐明磊 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 功率 模组 封装 方法 | ||
1.一种半导体功率模组,其特征在于,包括:
晶片载体(10);
第一晶片(20),其底面通过第一结合层(41)结合于所述晶片载体(10)的顶面;所述第一晶片(20)的底面设有第一底部电极(21),所述第一底部电极(21)与所述晶片载体(10)电连接;所述第一晶片(20)的内部设有导电柱,所述导电柱的一端与所述第一底部电极(21)电连接,另一端由所述第一晶片(20)的顶面露出;
第二晶片(30),其底面通过第二结合层(42)结合于所述第一晶片(20)的顶面;所述第二晶片(30)的底面设有第二底部电极(31);所述第二底部电极(31)通过所述导电柱与所述第一底部电极(21)电连接。
2.根据权利要求1所述的半导体功率模组,其特征在于,所述第一晶片(20)的底面设有第一源极(201)、第一栅极(202)和第一漏极(203);所述第一源极(201)、所述第一栅极(202)和所述第一漏极(203)均为所述第一底部电极(21);所述第二晶片(30)的底面设有第二源极(301)、第二栅极(302)和第二漏极(303);所述第二源极(301)、所述第二栅极(302)和所述第二漏极(303)均为所述第二底部电极(31);
所述半导体功率模组包括第一导电柱(51)、第二导电柱(52)和第三导电柱(53);所述第二源极(301)通过所述第一导电柱(51)与所述第一源极(201)电连接,所述第二栅极(302)通过所述第二导电柱(52)与所述第一栅极(202)电连接,所述第二漏极(303)通过所述第三导电柱(53)与所述第一漏极(203)电连接。
3.根据权利要求1所述的半导体功率模组,其特征在于,还包括金属连接片(70),所述金属连接片(70)通过第三结合层(43)结合于所述第二晶片(30)的顶面;所述第二晶片(30)的顶面设有第二顶部电极;所述第二顶部电极通过所述金属连接片(70)与所述晶片载体(10)电连接。
4.根据权利要求3所述的半导体功率模组,其特征在于,所述第一晶片(20)的底面设有第一源极(201)、第一栅极(202)和第一漏极(203);所述第一源极(201)、所述第一栅极(202)和所述第一漏极(203)均为所述第一底部电极(21);
所述第二晶片(30)的底面设有第二源极(301)、第二栅极(302)和第二漏极(303);所述第二源极(301)为所述第二顶部电极;所述第二栅极(302)和所述第二漏极(303)均为所述第二底部电极(31);
所述半导体功率模组包括第二导电柱(52)和第三导电柱(53),所述第二栅极(302)通过所述第二导电柱(52)与所述第一栅极(202)电连接,所述第二漏极(303)通过所述第三导电柱(53)与所述第一漏极(203)电连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的半导体功率模组,其特征在于,所述第一结合层(41)内设有电连接结构(60),所述第一底部电极(21)通过所述第一结合层(41)内的所述电连接结构(60)与所述晶片载体(10)电连接;
所述第二结合层(42)内设有电连接结构(60),所述第二底部电极(31)通过所述第二结合层(42)内的电连接结构(60)与所述导电柱电连接。
6.根据权利要求1-4任一项所述的半导体功率模组,其特征在于,所述第一结合层(41)为焊料层、或为包含若干银颗粒的焊料层、或为烧结银层;所述第二结合层(42)为锡层、或为包含若干银颗粒的锡层、或为烧结银层。
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